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Fabrication d'oxydes complexes spatialement confinés
 
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Fabrication d'oxydes complexes spatialement confinés

Article DOI: 10.3791/50573-v 08:45 min July 1st, 2013
July 1st, 2013

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Nous décrivons l'utilisation de dépôt laser pulsé (PLD), techniques de photolithographie et de fil-liaison pour créer une échelle micrométrique dispositifs d'oxydes complexes. Le PLD est utilisée pour faire pousser des couches minces épitaxiales. techniques de photolithographie et wire-bonding sont introduits pour créer des dispositifs pratiques à des fins de mesure.

Tags

Science des matériaux numéro 77 physique chimie génie chimique génie mécanique propriétés électriques de transport dans les solides la physique de la matière condensée des films minces (théorie le dépôt et la croissance) la conductivité (état solide) dépôt par laser pulsé les oxydes de films minces photolithographie wire-bonding
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