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空間的に閉じ込められた複合酸化物の作製
 
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空間的に閉じ込められた複合酸化物の作製

Article DOI: 10.3791/50573-v 08:45 min July 1st, 2013
July 1st, 2013

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我々は、パルスレーザー堆積(PLD)、フォトリソグラフィ及びマイクロメートルスケールの複合酸化物デバイスを作成するためのワイヤボンディング技術の使用を記載している。 PLDは、エピタキシャル薄膜を成長させるために利用される。フォトリソグラフィとワイヤボンディング技術は、測定目的のための実用的なデバイスを作成するために導入される。

Tags

材料科学、発行77、物理学、化学、化学工学、機械工学、固体物性物理、薄膜(理論、堆積と成長)の電気輸送特性、導電率(ソリッドステート)、パルスレーザー蒸着、薄膜、酸化物、フォトリソグラフィー、ワイヤボンディング
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