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Fabricação de óxidos complexos espacialmente confinados
 
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Fabricação de óxidos complexos espacialmente confinados

Article DOI: 10.3791/50573-v 08:45 min July 1st, 2013
July 1st, 2013

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Descreve-se a utilização de deposição de laser pulsado (PLD), e as técnicas de fotolitografia fio de ligação para criar dispositivos de óxidos complexos escala micrométrica. A PLD é utilizado para crescer finas películas epitaxiais. Técnicas de fotolitografia e fios de ligação são introduzidos para criar dispositivos práticos para fins de medição.

Tags

Ciência dos Materiais Física Química Engenharia Química Engenharia Mecânica propriedades elétricas de transporte em sólidos física da matéria condensada filmes finos (teoria deposição e crescimento) condutividade (estado sólido) deposição por laser pulsado óxidos de filmes finos fotolitografia fio de ligação
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