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Echtzeit-DC-Vorspannung dynamische Verfahren zur Verbesserung Schaltzeit in stark unterdämpft Fransen-Bereich Elektroantriebe MEMS
Fabrication and Testing of Microfluidic Optomechanical Oscillators
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Fabrication and Testing of Microfluidic Optomechanical Oscillators
Author Spotlight: Optimization of Airflow Velocities in Battery Cooling Systems for Enhanced Thermal Performance and Reduced Energy Consumption (Video) | JoVE
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Author Spotlight: Optimization of Airflow Velocities in Battery Cooling Systems for Enhanced Thermal Performance and Reduced Energy Consumption (Video) | JoVE
 
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Echtzeit-DC-Vorspannung dynamische Verfahren zur Verbesserung Schaltzeit in stark unterdämpft Fransen-Bereich Elektroantriebe MEMS

Article DOI: 10.3791/51251-v • 11:44 min • August 15th, 2014
August 15th, 2014 •
1, 2, 3, 1, 3
1Department of Electrical and Computer Engineering, University of California, Davis, 2Digital Light Projection (DLP) Technology Development, Texas Instruments, 3Birck Nanotechnology Center and the Department of Electrical and Computer Engineering, Purdue University

Chapters

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Das robuste Design des Geräts streufeldelektrostatische MEMS Aktoren Ergebnisse in inhärent niedrigen Squeeze-Film-Dämpfung Bedingungen und lange Einschwingzeiten bei der Durchführung von Schaltvorgängen mit herkömmlichen Schritt Vorspannung. Echtzeit-Schaltzeitverbesserung mit DC-dynamischen Wellenformen reduziert die Einschwingzeit des streufeld MEMS-Aktoren, wenn zwischen up-to-down und down-to-up-Staaten.

Tags

Physik Ausgabe 90 mikroelektromechanische Systeme Aktoren Schaltzeit Einschwingzeit elektrostatische Geräte Mikrobearbeitung Dünnschicht-Geräte
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