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Compacto holográfica microscopio digital Lente menos por MEMS Inspección y Caracterización
Additive Manufacturing-Enabled Low-Cost Particle Detector
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Quantum State Engineering of Light with Continuous-wave Optical Parametric Oscillators
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Compacto holográfica microscopio digital Lente menos por MEMS Inspección y Caracterización

Article DOI: 10.3791/53630-v • 10:28 min • July 5th, 2016
July 5th, 2016 •
1, 1, 1, 2, 1,2
1School of Mechanical and Aerospace Engineering, Center of Laser and Optical Engineering, Nanyang Technological University, 2d'Optron Pte Ltd

Chapters

Summary
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Presentamos un sistema holográfico digital de reflexión compacto (CDHM) para la inspección y caracterización de dispositivos MEMS. Un diseño de lente de menor a través de una onda de entrada divergente proporciona magnificación geométrica natural se demostró. Ambos se presentan los estudios estáticos y dinámicos.

Tags

Ingeniería No. 113 la holografía digital sistema de imágenes medición de fase cuantitativa microscopía pruebas no destructivas MEMS
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