Waiting
Login processing...

Trial ends in Request Full Access Tell Your Colleague About Jove
Journal / Chemistry / Epitaxie Perowskit Strontiumtitanat auf Germanium …
JoVE Journal
Chemistry

A subscription to JoVE is required to view this content.

JoVE Journal Chemistry
Epitaxie Perowskit Strontiumtitanat auf Germanium über Atomic Layer Deposition
In Situ Characterization of Hydrated Proteins in Water by SALVI and ToF-SIMS
Journal (Chemistry)
In Situ Characterization of Hydrated Proteins in Water by SALVI and ToF-SIMS
Gap-Mode Surface-Enhanced Raman Scattering (SERS) Substrate Preparation (Video) | JoVE
Journal (Chemistry)
Gap-Mode Surface-Enhanced Raman Scattering (SERS) Substrate Preparation (Video) | JoVE
 
Click here for the English version

Epitaxie Perowskit Strontiumtitanat auf Germanium über Atomic Layer Deposition

Article DOI: 10.3791/54268-v • 09:45 min • July 26th, 2016
July 26th, 2016 •
1, 1, 1, 1
1McKetta Department of Chemical Engineering, The University of Texas at Austin

Chapters

Summary
Automatic Translation

Please note that all translations are automatically generated.

Click here for the English version.

Diese Arbeit beschreibt die Verfahren für das Wachstum und die Charakterisierung von kristallinen SrTiO 3 direkt auf Germaniumsubstrate durch Atomlagenabscheidung. Das Verfahren veranschaulicht die Fähigkeit eines all-chemischen Wachstumsverfahren zu Oxiden monolithisch auf Halbleitern für die Metalloxid-Halbleitervorrichtungen integriert werden.

Tags

Chemie Heft 113 atomic layer deposition Perowskit Strontiumtitanat SrTiO Germanium Epitaxie kristallines Oxid
Read Article

Get cutting-edge science videos from JoVE sent straight to your inbox every month.

Waiting X
Simple Hit Counter