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Crescimento epitaxial de Perovskita titanato de estrôncio em Germânio via deposição de camadas Atomic
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Crescimento epitaxial de Perovskita titanato de estrôncio em Germânio via deposição de camadas Atomic

Article DOI: 10.3791/54268-v • 09:45 min • July 26th, 2016
July 26th, 2016 •
1, 1, 1, 1
1McKetta Department of Chemical Engineering, The University of Texas at Austin

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Este trabalho detalha os procedimentos para o crescimento e caracterização de SrTiO cristalina 3 diretamente sobre substratos de germânio por deposição de camadas atômicas. O procedimento ilustra a capacidade de um método de crescimento de todos os produtos químicos para integrar monoliticamente em óxidos semicondutores para dispositivos semicondutores de óxido de metal.

Tags

Química Edição 113 a deposição de camadas atômicas perovskita titanato de estrôncio SrTiO Germânio epitaxia óxido cristalino
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