Waiting
Login processing...

Trial ends in Request Full Access Tell Your Colleague About Jove
JoVE Journal
Chemistry

A subscription to JoVE is required to view this content.

Эпитаксиального роста перовскита титаната стронция на германии с помощью атомного слоя осаждения
 
Click here for the English version

Эпитаксиального роста перовскита титаната стронция на германии с помощью атомного слоя осаждения

Article DOI: 10.3791/54268-v 09:45 min July 26th, 2016
July 26th, 2016

Chapters

Summary

Please note that all translations are automatically generated.

Click here for the English version.

Эта работа подробно описываются процедуры для роста и характеристики кристаллического SrTiO 3 непосредственно на германиевых подложках путем осаждения атомных слоев. Процедура иллюстрирует способность все-химическим методом роста интеграции оксидов на монолитно полупроводников для полупроводниковых приборов металлооксидных.

Tags

Химия выпуск 113 осаждение атомного слоя перовскита титанат стронция SrTiO Германий эпитаксии кристаллический оксид
Read Article

Get cutting-edge science videos from JoVE sent straight to your inbox every month.

Waiting X
Simple Hit Counter