Waiting
Login processing...

Trial ends in Request Full Access Tell Your Colleague About Jove
JoVE Journal
Engineering

A subscription to JoVE is required to view this content.

Fabricage van 3D Koolstof Micro-Elektromechanische Systemen (C-MEMS)
 
Click here for the English version

Fabricage van 3D Koolstof Micro-Elektromechanische Systemen (C-MEMS)

Article DOI: 10.3791/55649-v 08:01 min June 17th, 2017
June 17th, 2017

Chapters

Summary

Please note that all translations are automatically generated.

Click here for the English version.

Lange en holle glasachtige koolstofmicrofibers werden vervaardigd op basis van de pyrolyse van een natuurlijk product, menselijk haar. De twee fabricage stappen van koolstofmicro-elektromechanische en koolstofnanoelectromechanische systemen, of C-MEMS en C-NEMS, zijn: (i) fotolithografie van een koolstofrijke polymeervoorloper en (ii) pyrolyse van de gevormde polymeervoorloper.

Tags

Engineering Carbon-MEMS / NEMS glasachtige koolstof fabricage lithografie pyrolyse SU8 fotoresist menselijk haar.
Read Article

Get cutting-edge science videos from JoVE sent straight to your inbox every month.

Waiting X
Simple Hit Counter