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Fabrication de systèmes microélectromécaniques en carbone 3D (C-MEMS)
 
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Fabrication de systèmes microélectromécaniques en carbone 3D (C-MEMS)

Article DOI: 10.3791/55649-v 08:01 min June 17th, 2017
June 17th, 2017

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Des microfibres de carbone vitreuses longues et creuses ont été fabriquées sur la base de la pyrolyse d'un produit naturel, les cheveux humains. Les deux étapes de fabrication des systèmes microélectromécaniques de carbone et des systèmes nanoélectromécaniques de carbone, ou C-MEMS et C-NEMS sont: (i) la photolithographie d'un précurseur de polymère riche en carbone et (ii) la pyrolyse du précurseur de polymère à motifs.

Tags

Engineering Carbon-MEMS / NEMS carbone vitreux fabrication lithographie pyrolyse SU8 photoresist cheveux humains.
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