Waiting
Login processing...

Trial ends in Request Full Access Tell Your Colleague About Jove
JoVE Journal
Engineering
Author Produced

A subscription to JoVE is required to view this content.

Design og karakterisering metode til effektiv Wide Range afstemmelige MEMS filtre
 
Click here for the English version

Design og karakterisering metode til effektiv Wide Range afstemmelige MEMS filtre

Article DOI: 10.3791/56371-v 15:25 min February 4th, 2018
February 4th, 2018

Chapters

Summary

Please note that all translations are automatically generated.

Click here for the English version.

En protokol til en fast-fast beam design ved hjælp af en laser Doppler vibrometer (LDV), herunder måling af frekvens tuning, ændring af tuning kapacitet, og undgåelse af enhed fejl og stiction, præsenteres. Overlegenhed af metoden LDV over network analyzer er påvist på grund af dets højere tilstand kapacitet.

Tags

Engineering sag 132 Microelectromechanical systemer (MEMS) filtre komplementær metal-oxid halvleder (CMOS)-MEMS microresonator bred vifte aktive frekvens tuning høj-mode resonans Joule varme stiction laser Doppler vibrometer ( LDV)
Read Article

Get cutting-edge science videos from JoVE sent straight to your inbox every month.

Waiting X
Simple Hit Counter