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Diseño y metodología de caracterización para filtros de MEMS Tunable eficiente toda la gama
 
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Diseño y metodología de caracterización para filtros de MEMS Tunable eficiente toda la gama

Article DOI: 10.3791/56371-v 15:25 min February 4th, 2018
February 4th, 2018

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Se presenta un protocolo para un diseño de viga fija fija usando un Vibrómetro Doppler láser (LDV), incluyendo la medición de la frecuencia de sintonización, modificación de ajuste de capacidad y ausencia de fallo del dispositivo y cohesión. Se demuestra la superioridad del método LDV sobre el analizador de red debido a su mayor capacidad de modo.

Tags

Ingeniería edición 132 microelectromecánicos (MEMS) los sistemas los filtros semiconductor de óxido metálico complementario (CMOS)-MEMS microresonator amplia gama sintonización de frecuencia activa modo de alta resonancia Joule calefacción cohesión láser (Vibrómetro Doppler LDV)
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