二酸化バナジウムと温度依存性の光学モデルの原子層堆積法

二酸化バナジウム (VO₂) の薄膜 (100-1000 Å) は、サファイア基板上の原子層堆積法 (ALD) によって作成されました。次に、光学特性は VO₂の金属-絶縁体転移によって特徴付けられました。測定の光学特性から VO₂の可変の屈折を記述するモデルを作成しました。