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Deposición de capa atómica de dióxido de vanadio y un modelo óptico dependiente de la temperatura
 
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Deposición de capa atómica de dióxido de vanadio y un modelo óptico dependiente de la temperatura

Article DOI: 10.3791/57103-v 11:10 min May 23rd, 2018
May 23rd, 2018

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Películas delgadas (100-1000 Å) de dióxido de vanadio (VO2) fueron creadas por la deposición de capa atómica (ALD) sobre sustratos de zafiro. Después de esto, las propiedades ópticas fueron caracterizadas a través de la transición metal aislante de VO2. De las propiedades ópticas de medida, un modelo fue creado para describir el índice de refracción ajustable de VO2.

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Ingeniería número 135 deposición de capa atómica fina película crecimiento baja temperatura transición Metal aislante caracterización óptica índice de refracción óptico
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