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एकल अंक नैनोमीटर इलेक्ट्रॉन-बीम एक वाकया के साथ लिथोग्राफी-सही स्कैनिंग संचरण इलेक्ट्रॉन माइक्रोस्कोप
 
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एकल अंक नैनोमीटर इलेक्ट्रॉन-बीम एक वाकया के साथ लिथोग्राफी-सही स्कैनिंग संचरण इलेक्ट्रॉन माइक्रोस्कोप

Article DOI: 10.3791/58272-v 10:25 min September 14th, 2018
September 14th, 2018

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हम एक वाकया-सही स्कैनिंग संचरण इलेक्ट्रॉन माइक्रोस्कोप का उपयोग करने के लिए एकल अंक नैनोमीटर पैटर्न को परिभाषित करने के लिए दो व्यापक रूप से इस्तेमाल किया इलेक्ट्रॉन बीम में विरोध: पाली (मिथाइल methacrylate) और हाइड्रोजन silsesquioxane । पैटर्न का विरोध liftoff, प्लाज्मा नक़्क़ाशी का उपयोग कर एकल अंक नैनोमीटर निष्ठा के साथ पसंद की लक्ष्य सामग्री में दोहराया जा सकता है, और organometallics द्वारा घुसपैठ का विरोध ।

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अभियांत्रिकी अंक १३९ Nanofabrication इलेक्ट्रॉन-बीम लिथोग्राफी वाकया सुधार इलेक्ट्रॉन माइक्रोस्कोपी मैटीरियल्स पैटर्न अंतरण ई-बीम का विरोध पाली (मिथाइल methacrylate) हाइड्रोजन silsesquioxane
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