Solo dígito nanómetros litografía de haz de electrones con una aberración-corregido exploración microscopio electrónico de transmisión

Utilizamos un aberración-corregido exploración microscopio electrónico de transmisión para definir patrones de dígito nanómetro en dos rayos catódicos utilizado resiste: poli (metacrilato de metilo) y silsesquioxane de hidrógeno. Resistir los patrones pueden ser replicados en materiales de la blanco de la opción con fidelidad dígito nanómetro usando despegue, plasma de la aguafuerte y resisten la infiltración por compuestos organometálicos.