JoVE Journal
Engineering
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यह काम फोटोलिथोग्राफी और सूखी नक़्क़ाशी का उपयोग करके एसआईओ2/एसआईवेफर्स पर पुनः प्रवेशक और दोगुना पुनः प्रवेशित प्रोफाइल के साथ गुहाओं और स्तंभों को प्राप्त करने के लिए माइक्रोफैब्रिकेशन प्रोटोकॉल प्रस्तुत करता है। जिसके परिणामस्वरूप माइक्रोटेक्सचर सतहों उल्लेखनीय तरल प्रतिपेलेंस, गीला तरल पदार्थ के तहत हवा के मजबूत दीर्घकालिक फंसाने की विशेषता का प्रदर्शन, सिलिका की आंतरिक गीलाता के बावजूद ।