JoVE Journal
Engineering
Engineering
This content is Open Access.
Chapters
Summary
Please note that all translations are automatically generated.
Præsenteret her er en trinvis protokol for realisere gas-omsnøring membraner (GEMs) fra SiO2/ Si wafers ved hjælp af integreret kredsløb mikrofabrikation teknologi. Når silica-GEMs er nedsænket i vand, indtrængen af vand er forhindret, på trods af den vand-elskende sammensætning af silica.