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Proof-of-Concept für Gas-Entrapping Membranen abgeleitet von wasserliebenden SiO2/Si/SiO2 Wafern für grüne Entsalzung
 
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Proof-of-Concept für Gas-Entrapping Membranen abgeleitet von wasserliebenden SiO2/Si/SiO2 Wafern für grüne Entsalzung

Article DOI: 10.3791/60583-v 09:39 min March 1st, 2020
March 1st, 2020

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Hier wird ein schrittweises Protokoll zur Realisierung von Gas-Entrapping-Membranen (GEMs) von SiO2/Si-Wafern mit integrierter Schaltungs-Mikrofabricationstechnologie vorgestellt. Wenn Kieselsäure-GEMs in Wasser getaucht werden, wird das Eindringen von Wasser trotz der wasserliebenden Zusammensetzung von Kieselsäure verhindert.

Tags

Engineering Ausgabe 157 Wasserentsalzung Direktkontaktmembrandestillation perfluorkohlenstofffreie Membranen Photolithographie Reaktiv-Ionen-Ätzen Benetzung Reentrant-Eigenschaften Chrommaske Rückenausrichtung anisotrope Ätzung Dampftransport
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