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녹색 담수화용 수중 SiO 2/Si/SiO2 웨이퍼에서 파생된 가스 포획 멤브레인에 대한 개념 증명
 
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녹색 담수화용 수중 SiO 2/Si/SiO2 웨이퍼에서 파생된 가스 포획 멤브레인에 대한 개념 증명

Article DOI: 10.3791/60583-v 09:39 min March 1st, 2020
March 1st, 2020

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여기에 제시된 단계별 프로토콜은 집적 회로 미세 제조 기술을 사용하여SiO 2/Si 웨이퍼의 가스-포획 멤브레인 멤브레인(GEM)을 실현하기 위한 단계별 프로토콜입니다. 실리카-GEM이 물에 잠기면 물을 사랑하는 실리카의 조성에도 불구하고 물의 침입을 방지합니다.

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엔지니어링 문제 157 물 담수화 직접 접촉 막 증류 퍼플루오로 카본이없는 멤브레인 포토리소그래피 반응성 이온 에칭 습윤 재엔터 피처 크롬 마스크 백 정렬 이소트로픽 에칭 증기 수송
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