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음향 나노 유체학용 리튬 니오바테를 통한 표면 음향파 작동을 통합한 나노높이 채널 제조
Magnet Assisted Composite Manufacturing: A Flexible New Technique for Achieving High Consolidation Pressure in Vacuum Bag/Lay-Up Processes
Journal (Engineering)
Magnet Assisted Composite Manufacturing: A Flexible New Technique for Achieving High Consolidation Pressure in Vacuum Bag/Lay-Up Processes
Fabrication and Testing of Microfluidic Optomechanical Oscillators
Journal (Engineering)
Fabrication and Testing of Microfluidic Optomechanical Oscillators
 
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음향 나노 유체학용 리튬 니오바테를 통한 표면 음향파 작동을 통합한 나노높이 채널 제조

Article DOI: 10.3791/60648-v • 07:23 min • February 5th, 2020
February 5th, 2020 •
1, 1
1Medically Advanced Devices Laboratory, Center for Medical Devices, Department of Mechanical and Aerospace Engineering, Jacobs School of Engineering, and the Department of Surgery, School of Medicine, University of California San Diego

Chapters

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리프오프 포토리소그래피, 나노 깊이 반응성 이온 에칭 및 실온 플라즈마를 통해 음향 나노 유체학용 리튬 니오베이트에 표면 음향파 작동 장치를 통합하여 나노 높이 채널의 제조를 시연합니다. 단결정 리튬 niobate의 표면 활성화 다층 결합, 산화물에 리튬 niobate 결합에 유사하게 유용한 공정.

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엔지니어링 문제 156 항유체학 나노 유체학 나노 제조 표면 음향파 실내 온도 본딩 리튬 니오베이트 플라즈마 활성화 본딩
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