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Síntese e Caracterização de alta c-eixo ZnO Thin Film por Plasma aprimorado Chemical Vapor Deposition Sistema e sua Aplicação Photodetector UV
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Síntese e Caracterização de alta c-eixo ZnO Thin Film por Plasma aprimorado Chemical Vapor Deposition Sistema e sua Aplicação Photodetector UV

Article DOI: 10.3791/53097-v • 08:18 min • October 3rd, 2015
October 3rd, 2015 •
1, 1
1Institute of Manufacturing Technology and Department of Mechanical Engineering, National Taipei University of Technology (TAIPEI TECH)

Capítulos

Tags

Engenharia Edição 104 ZnO filme fino, deposição de vapor químico de plasma reforçada dietilzinco (DEZn) sensor Pt eletrodo interdigitada Conexão condutora fotodetector UV
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