33.12
المجهر الإلكتروني الماسح أو SEM بمسح عينة بشعاع إلكتروني لتوفير معلومات حول تضاريس وتكوين سطح العينة.
يستخدم SEM مسدس إلكتروني لتوليد شعاع إلكتروني سالب الشحنة ينجذب إلى أسفل بواسطة أنود موجب الشحنة. ثم تركز العدسات الكهرومغناطيسية شعاع الإلكترون وتقلل قطره.
بعد ذلك ، تقوم ملفات المسح بتحويل شعاع الإلكترون المركز هذا على طول المحورين x و y وتسمح له بمسح منطقة مستطيلة من سطح العينة.
يثير شعاع الإلكترون الأولي عالي الطاقة الإلكترونات في ذرات العينة ، مما يؤدي إلى إطلاق إلكترونات ثانوية منخفضة الطاقة. تتم قراءة هذه الإلكترونات الثانوية بواسطة الكاشف واستخدامها لإنشاء صورة ثلاثية الأبعاد لسطح العينة.
ينتجعن تفاعل عينة شعاع الإلكترون أيضا أشعة سينية مميزة ، والتي توفر معلومات حول عناصر مختلفة ، مثل الحديد والنيكل ، الموجودة في العينة.
يستخدم المجهر الإلكتروني الماسح (SEM) لدراسة الخصائص السطحية للعينة باستخدام شعاع إلكتروني يقوم بمسح سطح العينة بطريقة ثنائية الأبعاد. عادةً، يمكن تصو…
حقوق الطبع والنشر © 2026 MyJoVE Corporation. جميع الحقوق محفوظة.