1. الزخرفة حافزا للنمو SWNT
- تبدأ مع رقاقة السيليكون بمادة كيميائية ضغط منخفض بخار ترسب والأوعية الدموية نمت 500 نانومتر سي 3 N 4/500 نانومتر شافي 2 فيلم على القمة.
- تدور معطف طبقة من مقاوم الضوء (PR) في 500 دورة في الدقيقة لمدة 5 ثوانى ثم 4،000 دورة في الدقيقة لمدة 40 ثانية.
- خبز الرقاقة عند 115 درجة مئوية لمدة 90 ثانية.
- استخدام الضوئية مع حفر مستطيلة عن المواد الحفازة (الشكل 1)، وفضح الرقاقة في الأشعة فوق البنفسجية (365 نانومتر) الإشعاع من 300 ميغا جول / سم 2 ل0.3 ثانية. بعد التعرض خبز الرقاقة عند 115 درجة مئوية لمدة 90 ثانية.
تلميح: حفر تصميم من مختلف الأحجام على سبيل المثال 5 ميكرون × 5 ميكرون، 10 ميكرون × 5 ميكرون وما إلى ذلك لمراعاة التغيرات في SWNT ترسيب الأبخرة الكيميائية (الأمراض القلبية الوعائية) عملية النمو.
- تطوير رقاقة في مطور لمدة 70 ثانية تهز بلطف الرقاقة من خلال هذه العملية.
- شطف الرقاقة مع DI WATER لمدة 2 دقيقة ثم ضربة الجافة مع النيتروجين (N 2) بندقية.
- تحميل رقاقة وضعت في البريد شعاع المبخر غرفة والودائع 0.5 نانومتر الحديد (الحديد) عند ضغط الدائرة من 10 -6 عربة.
- الزهر ويفر إلى وفاة أصغر 1.5 سم × 1.5 سم.
- إزالة مقاومة للضوء عن طريق غمس في الأسيتون دافئة والأيزوبروبانول (IPA) لمدة 10 دقيقة لكل منهما. هذا يترك وراءه حافزا الحديد في حفر مستطيلة للنمو الأنابيب النانوية.
2. الأمراض القلبية الوعائية نمو أنابيب الكربون النانوية
- ضع يموت المغلفة حافزا في أنبوب الكوارتز من الفرن نمو الأمراض القلبية الوعائية.
تلميح: تحديد بقعة الحلو للنمو الأنابيب النانوية. النمو هو موحد على مساحة 2inch وX المصب 2inch وللفرن لدينا (الشكل 2C).
- يصلب الركيزة في الهواء عند 880 درجة مئوية لمدة ساعة واحدة لإزالة بقايا مقاومة للضوء (الشكل 2A). السماح ليبرد.
- تطهير الغرفة مع سورةغون لمدة 5 دقائق في 3 حركة تحرير السودان (لتر القياسية في الدقيقة الواحدة).
- تكثيف الفرن إلى 800 درجة مئوية في وسط الأنبوب، مع الحفاظ على تدفق حركة تحرير السودان 1 من الأرجون (الشكل 2B).
- تدفق حركة تحرير السودان 0.2 من الهيدروجين لمدة 5 دقائق للحد من الجسيمات محفز أي تحويل أكسيد الحديد إلى الحديد.
- إدخال 5.5 SCCM (سنتيمتر مكعب قياسي في الدقيقة) من الإيثيلين (C 2 H 4) لمدة 35 دقيقة لتنمو SWNTs. الحفاظ على H 2 تدفق 0.2 حركة تحرير السودان في جميع مراحل العملية. طول SWNTs الحصول عليها من هذا هو وصفة> 20 ميكرون (ميكرومتر).
- السماح الفرن ليبرد إلى درجة حرارة الغرفة مع تدفق الأرجون صغيرة.
3. SWNT FET تصنيع الترانزستور
- تصميم الضوئية (الشكل 1) لتحديد أقطاب مصدر استنزاف للتيار الجهد (IV) توصيف أنابيب الكربون النانوية.
تلميح: توسيع القطب منصات الاتصال APAR الآنر على الموت بحيث أنها لا تزال متاحة حتى بعد اخماد الطوابع فلويديك الصغرى على المنطقة أنابيب بالموقع.
- اتبع الخطوات من 1.2 -1.6 لتحديد منطقة لترسب المعادن للاتصالات.
- الودائع تي / الاتحاد الافريقي 0.5 نانومتر للاتصالات nm/50 مصدر استنزاف في غرفة المبخر البريد شعاع في 10 -6 عربة.
- مغادرة يموت في الأسيتون بين عشية وضحاها لانطلاقه المعادن. بعد الاقلاع، وتراجع يموت في IPA لمدة 10 دقيقة ثم ضربة الجافة باستخدام N 2 بندقية.
- لا ترسب بطانية من 500 نانومتر البريد شعاع تبخر شافي 2 لبوابة عازلة في 10 -6 عربة.
- تصميم الضوئية (الشكل 1) لتحديد القطب البوابة.
- اتبع الخطوات من 1،2-1،6 لتحديد المنطقة لبوابة ترسب المعادن.
- تتبخر 50 نانومتر nm/50 الكروم / الاتحاد الافريقي والقطب بوابة الأعلى في المبخر البريد شعاع. اتبع الخطوة 3.4 لانطلاقه المعادن.
نصيحة: استخدم طبقة سميكة من الكروم لزيادة القوة سعلقت و بوابة الأعلى. أبعاد بوابة بالغة الأهمية بالنسبة لتعليق ناجحة أيضا.
- إيداع طبقة رقيقة (20 نانومتر) من شافي 2 لأعلى التخميل الكهربائي بطانية.
- تصميم الضوئية (الشكل 1) لفتح خندق في شافي 2 للوصول إلى قناة أنابيب الكربون. تصميم منطقة سادة حفر في نفس قناع لفتح المنطقة للوصول إلى مصدر، واستنزاف وأقطاب البوابة بعيدا عن قناة SWNT.
- اتبع الخطوات من 1،2-1،6 إلى نمط من العلاقات العامة لفتح خندق لحفر الرطب من شافي 2.
- الرطب حفر وتبخرت شافي 2 باستخدام 01:20 حل فتقول لمدة 3 دقائق و 30 ثانية. سي 3 N 4 يوفر طبقة وقف حفر لمنع المزيد من انتشار فتقول.
تلميح: إحفر معايرة الوقت ويوصى.
- شطف جيدا الجهاز في الماء DI، ثم تراجع في IPA لمدة 5 دقائق. ضربة الجافة باستخدام N 2 بندقية. سانت الجهازيبقى ructure سليمة نظرا لطبقة سميكة من الكروم.
4. Functionalization الكيميائية الجدران الجانبية الأنابيب الجزيئية الكربونية
- يعد حل من 6 ملم حمض 1-pyrenebutanoic succinimidyl استر (PBSE) في ثنائي ميثيل (DMF).
- احتضان يموت FET SWNT في هذا الحل الجزيئية رابط لمدة 1 ساعة في درجة حرارة الغرفة.
- شطف جيدا يموت في DMF ليغسل كاشف الزائدة. مجففا الجهاز.
- يعد حل 20mg/ml من biotinyl-3، 6 dioxaoctanediamine (البيوتين PEO AMINE-BPA) في الماء DI للbiotinylation من SWNTs.
- احتضان يموت في هذا الحل لمدة 18 ساعة وبعد ذلك يشطف جيدا ويموت في الماء DI وضربة الجافة. BPA يعلقها على جزيء رابط PBSE.
- يعد حل 1mg/ml streptavidin في 7.2 درجة الحموضة PBS حل لstreptavidin ملزم.
- للمقاييس ثابتة، احتضان يموت في حل streptavidin لمدة 20 دقيقة إلى functionalize تماما SWNT البيروكسيديز. Thoroشطف ughly وضربة تجفيف يموت. للاستشعار عن الوقت الحقيقي، وختم قناة تدفق PDMS (الخطوة 6) أولا ثم تتدفق الحل streptavidin في ارتفاع الأيونية خلفية قوة لstreptavidin ملزم (الشكل 3).
ملاحظة: نحن شطف يموت قبل الاستغناء DI المياه (~ 50 مل) على مدى يموت باستخدام زجاجة الضغط. ثم ننتقل يموت إلى طبق بتري أخرى تحتوي على الماء DI ونقل يموت حوالي لمدة 1 دقيقة. نكرر الخطوات اثنين ما مجموعه 8-10 مرات.
5. مقلب إعداد Polydimethylsiloxane (PDMS) لغرفة الموائع
- في كوب وزنها، صب 9 أجزاء وزنا من PDMS مونومر وإضافة 1 جزء وزنا من وكيل علاج وتخلط جيدا البلدين.
- ديغا الخليط في مجفف لمدة 25 دقيقة. وسوف فقاعات ترتفع من خلال الخليط ويترك.
تلميح: إذا كان يبدأ الخليط رغوة، وتنفيس للغرفة والسماح لها يستقر لبضعثانية قبل التفريغ مرة أخرى.
- وضع رقاقة السيليكون الجديدة في طبق بيتري. صب الخليط PDMS degassed على أعلى من ذلك لديها طبقة PDMS من 5 مم فوق الرقاقة.
- وضع طبق بتري في الفرن على 70 درجة مئوية لمدة 1 ساعة.
- إزالة طبق بيتري والسماح لها يبرد. استخدام مشرط لقطع قطعة مستطيلة من PDMS وتخلعها باستخدام الملقط.
نصيحة: إن الجانب PDMS على اتصال مباشر مع رقاقة السيليكون نظيفة ومسطحة للغاية. وسوف يكون هذا الجانب في اتصال مع يموت FET SWNT. يجب الحرص على عدم تلويث ذلك.
- ضع يموت مستطيلة رأسا على عقب وحفر حفرة في ذلك باستخدام لكمة خزعة (3 مم) من الجانب المسطح إلى أخرى. وهذا يضمن عدم وجود حواف خشنة على الجانب المسطح من PDMS (الشكل 4A).
- وضع غرفة PDMS على رأس الجهاز بعناية عن طريق مواءمة ذلك على الجزء العلوي من المنطقة النشطة من يموت FET SWNT ملفقة ( الشكل 4A، ب). اضغط عليها بلطف لضمان الطابع على الموت. السندات الجانب المسطح ليموت لتوفير غرفة للتسرب ضيق.
نصيحة: يمكن القيام بذلك مع بالعين المجردة أو باستخدام المجهر الضوئي مع مساحة العمل بما فيه الكفاية. إذا كان PDMS لا عصا جيدا (عموما إذا كان يموت و / أو الطابع PDMS ليست نظيفة)، قم البلازما الأكسجين (20 واط، 15 ثانية) على PDMS لمساعدة الترابط. باستخدام القوى البلازما أعلى من ذلك يؤدي إلى الترابط أقوى، ومع ذلك، فقد شهدنا تمزيق من الأقطاب الكهربائية أثناء إزالة PDMS في مثل هذه الحالة.
- إزالة الطابع PDMS بعد اختبارات كهربائية وقبل الخطوة التالية functionalization الكيميائية عن طريق غمس يموت في الماء DI ورفع بلطف الطابع.
6. إعداد قناة تدفق ميكروفلويديك
- نلقي رقاقة السيليكون نظيفة ووضعه على طبق ساخن على حرارة 200 درجة مئوية لمدة 5 دقائق لإزالة أي الرطوبة.
- تدور معطف SU-8 عام 2015 على 500 دورة في الدقيقة(100 دورة في الدقيقة / ثانية معدل المنحدر) لمدة 5 ثوانى ثم 1،250 دورة في الدقيقة لمدة 30 ثانية في 300 دورة في الدقيقة / ثانية معدل المنحدر. هذا يعطي ميكرون سميكة SU-8 طبقة 30 على رقاقة السيليكون.
- لينة خبز الرقاقة عند 95 درجة مئوية لمدة 5 دقائق.
- تصميم الضوئية (الشكل 4C) لتحديد نمط واسع ميكرومتر قناة تدفق 300 على الجزء العلوي من منطقة SWNT.
تلميح: لتجنب انهيار الهيكل على عرض القناة: نسبة الارتفاع 10:1 كافية (300 ميكرون: 30 ميكرون في هذه الحالة).
- باستخدام 365 نانومتر الأشعة فوق البنفسجية ضوئيه تحديد قناة تدفق مع زمن التعرض للأشعة فوق البنفسجية من 0.9 ثانية.
- أضف خبز يموت في 95 درجة مئوية لمدة 5 دقائق.
- تطوير نمط في SU-8 المطور لمدة 5 دقائق يرافقه اهتزاز لطيف.
- شطف الرقاقة في IPA وضربة الجافة مع N 2 بندقية.
- اتبع الخطوات من 5،1-5،2 لإعداد خليط PDMS.
- وضع رقاقة مع SU-8 العفن في مجفف جنبا إلى جنب مع انخفاض 2-3 من silanizing TRIC وكيلhloro (3، 3، 3 trifluoropropyl) سيلاني في طبق بيتري. بدوره على مضخة فراغ السماح للرقاقة الجلوس في فراغ لمدة 1 ساعة.
- صب الخليط PDMS degassed على الرقاقة وتسخينها في الفرن على 70 درجة مئوية لمدة 1 ساعة.
- قطع قالب PDMS (سلبي من SU-8) باستخدام مشرط.
- وضع ختم PDMS رأسا على عقب، واستخدام لكمة خزعة (0.75 مم) لحفر حفرة في نهاية كل من قناة التدفق. تأكد من حفر حفرة من الجانب المسطح (الجانب في اتصال مع رقاقة السيليكون) إلى أخرى لتجنب حواف خشنة (4E الشكل).
- وضع غرفة تدفق PDMS على رأس الجهاز بعناية عن طريق مواءمة ذلك على الجزء العلوي من المنطقة النشطة من يموت FET SWNT ملفقة تحت المجهر. اضغط عليها بلطف لضمان الطابع على الموت. السندات الجانب المسطح ليموت لتوفير غرفة للتسرب ضيق. (الشكل 4C و 4D)
- دفع أنبوب البولي ايثيلين في الثقوب وربط الطرف الآخر إلى مصدر استنزاف السوائل وحقنة (Figure 4E).
- نعلق المحقنة إلى نظام ضخ حقنة للحفاظ على تدفق للرقابة من السائل من خلال قناة (الشكل 6).
7. DC الإعداد القياس الكهربائية
- ربط مصدر واتصالات بوابة SWNT FET إلى الموانئ الجهد من بطاقة دق.
- ربط الاتصال هجرة إلى مدخل الميناء من بطاقة دق من خلال مكبر للصوت قبل الحالية.
- تطبيق 30 الميليفولت (بالسيارات) إلى الاتصال المصدر، اكتساح بوابة الجهد وتسجيل الحالية من استنزاف (الشكل 5A).
نصيحة: للحصول على القياسات في حل، والحفاظ على الجهد بوابة المعلمة اكتساح داخل | 0.7 فولت | لتجنب تسرب والتفاعل بين القطب البوابة المعدنية والحل.
8. إعداد القياس الكهربائية AC
- قم بتوصيل إشارة المرجع المغادرة من القفل في مكبر للصوت الى ميناء إشارة التشكيل الخارجي على مولد تردد لإعداد AM freque التضمينخرج NCY.
- ربط الاتصال مصدر SWNT FET إلى AM-التضمين منفذ إخراج RF من مولد التردد والجهد DC من بطاقة دق باستخدام نقطة الإنطلاق التحيز (الشكل 5B و 5C).
- ربط الاتصال البوابة إلى ميناء الجهد من بطاقة دق.
- ربط الاتصال هجرة إلى قفل في مكبر للصوت لقراءة ميلان الحالي من خلال أنابيب. قراءة السعة والمرحلة الحالية من خلال منافذ الإدخال دق.
- عقد مصدر في العاصمة الجهد 0 فولت وAM تردد إشارة عند 200 كيلوهيرتز (كيلو هرتز).
- اكتساح بوابة الجهد وقياس الحالية من استنزاف.
- زيادة تواتر وتكرار الخطوة 8.6 لأني مزيج-V ز الاحتلالات على ترددات مختلفة.
9. القياسات الكهربائية في الحل (أي تدفق)
- إعداد 1 ملي مول كلوريد الصوديوم، كلوريد الصوديوم 10 ملي و 100 ملي حلول الملح كلوريد الصوديوم بدءا من 5M محلول المخزون كلوريد الصوديوم.
- يستغرق الجهاز SWNT من الخطوة 3.13. تنفيذ الخطوات 4،1-4،5 للحصول على biotinylateالجهاز د.
- اتبع الخطوة 5 لوضع غرفة PDMS على رأس الجهاز.
- ملء الغرفة مع الماء DI باستخدام ماصة.
- اتبع الخطوة 8 لقياسات خلط تردد عن ترددات مختلفة.
- كرر 9.4 لثلاثة حلول مختلفة الملح 1 ملي مول كلوريد الصوديوم، كلوريد الصوديوم 10 ملي و 100 ملي مول كلوريد الصوديوم.
نصيحة: استخدم ماصة لسحب الحل السابق وثم بمسح الدائرة عدة مرات مع الحل الجديد. قم دائما من الأقل إلى حلول تركيز عال.
- إزالة الطابع PDMS من خلال رفع بلطف الطابع مع الملقط.
- شطف جيدا الجهاز مع الماء DI.
- تنفيذ streptavidin ملزم كما هو موضح في 4،6-4،7.
- كرر الخطوات من 9،3-9،6.
10. القياس الكهربائية في الحل (في الوقت الحقيقي تدفق)
- إعداد 100 ملي مول كلوريد الصوديوم محلول الملح بدءا من 5 M كلوريد الصوديوم محلول المخزون.
- يستغرق الجهاز SWNT من الظريفP 3.13. تنفيذ الخطوات 4،1-4،5 للحصول على جهاز البيروكسيديز.
- وضع قناة التدفق فلويديك الصغرى على الجهاز بعد الخطوة 6 .. ربط حقنة فارغة إلى واحدة من نهاية قناة فلويديك الدقيقة لعملية وضع الانسحاب. في الطرف الآخر إرفاق المحاقن مع حل خلفية 100 مم كلوريد الصوديوم.
- إعداد القياس الكهربائية كما هو مفصل في الخطوة 8. إصلاح التردد (F = 10 ميغاهيرتز) وبوابة الجهد التحيز (V = 0).
- بدء ضخ حقنة في وضع انسحاب (معدل التدفق = 0.4 مل ساعة -1) ورصد إشارة الحالي مع مرور الوقت. تبديل الحل ل1mg/ml streptavidin في 100 ملي مول كلوريد الصوديوم ورصد التغير إشارة لstreptavidin-البيوتين ملزم (الشكل 6).