في هذا الفيديو وصفنا الأول إجراءات تصنيع وتشغيل سطح الموجة الصوتية (SAW) جهاز معاكس الصوتية. نحن ثم إثبات وجود الإعداد التجريبية التي تسمح لكلا التصور تدفق النوعي والتحليل الكمي من التدفقات المعقدة داخل الجهاز ضخ SAW.
Method Article
Access restricted. Please log in or start a trial to view this content.
Access restricted. Please log in or start a trial to view this content.
Access restricted. Please log in or start a trial to view this content.
Access restricted. Please log in or start a trial to view this content.
Access restricted. Please log in or start a trial to view this content.
| Name | Company | Catalog Number | Comments |
|---|---|---|---|
| جانب مزدوج مصقول 128 درجة ؛ YX رقاقة الليثيوم نيوبات | كريستال تكنولوجي ، ذ م م & | nbsp ؛ | |
| رقاقة السيليكون | Siegert Wafers | التي نستخدمها < 100> | |
| IDT قناع الطباعة الحجرية البصرية مع علامات المحاذاة (الإيجابية) | أي بائع | ||
| قناع الطباعة الحجرية البصرية للقناة (سلبي) أي | بائع | ؛ | |
| للضوء الإيجابية | Shipley | S1818 | ؛ |
| مطور مقاوم للضوء الإيجابي | Microposit | MF319 | ؛ |
| نغمة سلبية مقاومة للضوء | Allresist | AR-N-4340 | & nbsp ؛ |
| مطور المقاومة للضوء السلبي | Allresist | AR 300-475 | |
| SU8 سميكة لهجة سلبية مقاومة للضوء | Microchem | SU-8 2000 Series | |
| SU8 سميكة لهجة سلبية مطور مقاوم للضوء | Microchem | SU-8 مطور | |
| سداسي ديكان | سيجما ألدريتش | H6703 | ؛ |
| رابع كلوريد الكربون (CCl4) | Sigma-Aldrich | 107344 | |
| Octadecyltrichlorosilane (OTS) | Sigma-Aldrich | 104817 | |
| الأسيتون CMOS الصف | سيجما ألدريتش | 40289 | |
| 2-بروبانول CMOS الصف | سيجما ألدريتش | 40301 | ؛ |
| التيتانيوم | أي بائع | 99.9٪ نقاء | |
| الذهب | أي بائع | 99.9٪ نقاء | |
| PDMS | Dow Corning | Sylgard 184 مجموعة المطاط الصناعي السيليكون مع عامل المعالجة | ؛ |
| طبق بتري | أي بائع | ||
| 5 مم معرف Harris أحادي النواة أداة حفر متعددة الأغراض | Sigma-Aldrich | Z708895 | أي قطر أكبر من 2 مم مناسب |
| امتصاص الصوت | تقنيات التنظيف الضوئية | أول اتصال مجموعة عادية | ؛ |
| RF-PCB | أي بائع | ||
| Spinner | Laurell technologies Corporation | WS-400-6NPP | يمكن استخدام أي دوار |
| مقصف قناع الأشعة فوق البنفسجية | Karl Suss | MJB 4 | يمكن استخدام أي تقويم |
| للمبخر الحراري | Kurt J. Lesker | Nano 38 | يمكن استخدام أي مبخر حراري أو شعاع إلكتروني أو نظام اخرق |
| Oxygen plasma asher | Gambetti Kenologia Srl | Colibr & igrave ؛ | يمكن استخدام أي آلة بلازما أو RIE |
| جهاز طرد مركزي | Eppendorf | 5810 R | يمكن استخدام أي جهاز طرد مركزي |
| Wire | bonder Kulicke Soffa | 4523AD | يمكن استخدام أي رابط سلكي إذا تم استخدام ثنائي الفينيل متعدد الكلور بدون موصلات pogo زاوية |
| الاتصال متر | KSV | CAM 101 | يمكن استخدام أي مقياس زاوية تلامس |
| محلل الطيف | Anristu | 56100A | استخدام أي محلل طيف أو شبكة |
| RF مولد | Anristu | MG3694A | يمكن استخدام أي مولد إشارة RF |
| مكبر للصوت عالي الطاقة RF | دوائر صغيرة | ZHL-5W-1 | يمكن استخدام أي مكبر للصوت RF عالي |
| Microbeads | Sigma-Aldrich | L3280 | اعتمادا على الغرض التجريبي ، يمكن استخدام تعليق مختلف من قطر مختلف وخصائص مواد مختلفة |
| مجهر | بصري نيكون | يمكن | أي مجهر بصري ذو دقة مكانية مرضية للأغراض التجريبية |
| كاميرا فيديو | Basler | A602-f | يمكن استخدام أي كاميرا فيديو لديها ما يكفي من معدل الإطارات والحساسية التي ترضي الأغراض التجريبية يمكن استخدام |
| برامج الحصول على الكاميرا | التقنيات المتقدمة | صندوق الحركة | يمكن استخدام أي برنامج يتيح الحصول على معدل إطارات مرتفع ومتحكم فيه |
Access restricted. Please log in or start a trial to view this content.
Request permission to reuse the text or figures of this JoVE article
Request Permission