مقالة منهجية

الدقة طحن الأنابيب الجزيئية الكربونية الغابات عن طريق انخفاض الضغط الضوئي المجهر الإلكتروني

6.8K مشاهدات

⸱

DOI:

10.3791/55149

⸱

فبراير 5, 2017

 ,  , 
1Department of Mechanical & Aerospace Engineering, University of Missouri

في هذه المقالة

ملخص

يستخدم المجهر الإلكتروني الماسح بالضغط المنخفض في محيط بخار الماء لتصنيع ميزات النانو إلى المصغر في غابات الأنابيب النانوية الكربونية.

الملخص

< p class = 'jove_content'> تم وصف تقنية تصنيع نانوية مناسبة لطحن غابات الأنابيب النانوية الكربونية (CNT). تستخدم هذه التقنية مجهر إلكتروني ماسح بيئي (ESEM) يعمل مع محيط بخار ماء منخفض الضغط. في هذه التقنية ، يتفاعل جزء من شعاع الإلكترون مع بخار الماء بالقرب من عينة CNT ، مما يؤدي إلى تفكيك جزيئات الماء إلى جذور هيدروكسيل وأنواع أخرى عن طريق التحلل الإشعاعي. يتفاعل ما تبقى من شعاع الإلكترون مع عينة غابة CNT ، مما يجعلها عرضة للأكسدة من المنتجات الكيميائية للتحلل الإشعاعي. يمكن استخدام هذه التقنية لتقليم منطقة محددة من النانوية الكربونية الفردية ، أو يمكن استخدامها لإزالة مئات الميكرونات المكعبة من المواد عن طريق ضبط معلمات ESEM. تشبه دقة المعالجة دقة التصوير ل ESEM نفسها. تنتج هذه التقنية كميات صغيرة فقط من بقايا الكربون على طول حدود منطقة القطع ، مع تأثير ضئيل على التشكل الهيكلي الأصلي لغابة CNT.

المقدمة

أنابيب الكربون النانوية (الأنابيب النانوية الكربونية) والجرافين هي المواد النانوية الكربونية التي جذبت اهتماما كبيرا بسبب قوتها العالية والمتانة والحرارية، والخواص الكهربائية. أصبحت الآلات الدقيقة للمواد النانوية الكربونية موضوعا الناشئة من الأبحاث ويوفر القدرة على مهندس والتعامل مع هذه المواد نحو مجموعة متنوعة من التطبيقات الهندسية. الأنابيب النانوية الكربونية وتصنيع الآلات والجرافين تتطلب الدقة المكانية النانو لتحديد أول منطقة النانو ذات الاهتمام ومن ثم لإزالة انتقائي فقط المواد داخل المنطقة من الفائدة. وكمثال على ذلك، والنظر في تشكيل الغابات المركز الوطني للاستشعار موجه عموديا (المعروف أيضا باسم صفائف CNT). المقطع العرضي من الغابات المركز الوطني للاستشعار يمكن محددة بدقة من قبل الزخرفة الحجرية من الأفلام محفز. السطح العلوي للغابات موجه عموديا، ومع ذلك، في كثير من الأحيان سيئة أمرت مع ارتفاع غير موحدة. للتطبيقات الحساسة للسطح مثل مواد واجهة الحرارية، ركان السطح غير المنتظم يمكن أن تعرقل الأمثل اتصال سطح والحد من أداء الجهاز. تقليم الدقة لسطح غير منتظم لخلق سطح مستو موحد يحتمل أن تقدم أفضل، وأداء أكثر للتكرار من خلال تعظيم مجال الاتصال المتاحة.

تقنيات الآلات الدقيقة للمواد النانوية في كثير من الأحيان لا تشبه التقنيات الميكانيكية macroscale التقليدية بالقطع مثل الحفر والطحن، وتلميع عن طريق الأدوات صلابة. حتى الآن، وقد تم استخدام تقنيات الحزم حيوية أنجح في طحن انتقائية الموقع للمواد النانوية الكربونية. وتشمل هذه التقنيات ليزر، شعاع الإلكترون، وركزت شعاع ايون (FIB) التشعيع. من هذه، توفر تقنيات بالقطع ليزر معظم المواد السريعة معدل إزالة 1، 2، ومع ذلك، فإن حجم البقعة من أنظمة الليزر هو بناء على أمر من العديد من ميكرون وكبير جدا لعزل الكيانات نانومتر النطاق مثل ن الكربون واحد قطاع anotube داخل غابة كثيفة السكان. على النقيض من ذلك، والإلكترون وأيون أنظمة شعاع تنتج شعاع التي يمكن أن تركز على نقطة وهذا هو عدة نانومتر أو أقل في القطر.

تم تصميم أنظمة الاكذوبه خصيصا لطحن النانو وترسب المواد. هذه الأنظمة تستخدم شعاع حيوية من ايونات المعادن الغازية (عادة الغاليوم) لتفل المواد من المنطقة المحددة. الاكذوبه طحن الأنابيب النانوية الكربونية يمكن تحقيقه، ولكن كثير من الأحيان مع المنتجات الثانوية غير مقصودة بما في ذلك الغاليوم وإعادة الترسب الكربون في المناطق المحيطة بها من الغابة 3 و 4. عند استخدام هذه التقنية للغابات CNT، أقنعة المواد redeposited و / أو يغير مورفولوجيا المنطقة طحن المحدد، تغيير المظهر الأصلي وسلوك الغابة المركز الوطني للاستشعار. الغاليوم قد زرع أيضا في المجلس الوطني الانتقالي، وتوفير المنشطات الإلكترونية. هذه النتائج غالبا ما تجعل طحن أساس FIB-باهظة من أجل الغابات المركز الوطني للاستشعار.

"jove_content"> المجاهر نقل الإلكترون (إحساس الغانيين) الاستفادة من شعاع ناعما تركيزا من الإلكترونات لفحص التركيب الداخلي للمواد. الفولتية تسريع لعملية تيم عادة ما تتراوح 80-300 كيلو فولت. لأن الطاقة المغلوب على من الأنابيب النانوية الكربونية 86.4 كيلو 5، والطاقة التي تنتجها الالكترونات TEM كافية لإزالة مباشرة ذرات من شعرية المركز الوطني للاستشعار وحمل طحن محلية شديدة. مطاحن تقنية الأنابيب النانوية الكربونية مع يحتمل نانومتر الفرعي الدقة 5، 6، 7؛ ومع ذلك، فإن عملية بطيئة جدا - التي تتطلب في كثير من الأحيان دقيقة لمطحنة المركز الوطني للاستشعار واحد. الأهم من ذلك، تتطلب نهجا طحن القائم تيم الأنابيب النانوية الكربونية إلى إزالة أول من ركيزة النمو وفرقت على شبكة تيم للمعالجة. ونتيجة لذلك، أساليب تعتمد على تيم عادة ما تكون غير متوافقة مع الطحن الغابات المركز الوطني للاستشعار فيها الأنابيب النانوية الكربونية يجب أن تبقى على ركيزة صلبة.

طحن CN تلقت تي الغابات عن طريق المسح الضوئي المجاهر الإلكترونية (محترفو التسويق عبر محركات) أيضا الاهتمام. وعلى النقيض من تقنيات تيم المستندة إلى أدوات ووزارة شؤون المرأة غير قادرة عادة لتسريع الإلكترونات مع ما يكفي من الطاقة لنقل الطاقة المغلوب على المطلوب لإزالة مباشرة ذرات الكربون. بدلا من ذلك، التقنيات التي تعتمد SEM-تستخدم شعاع الالكترون في وجود مادة مؤكسدة الغازي الضغط المنخفض. شعاع الالكترون انتقائي الأضرار شعرية المركز الوطني للاستشعار وقد تنأى في المحيط الغازية إلى أنواع أكثر تفاعلية مثل H 2 O 2 والهيدروكسيل. بخار الماء والأكسجين والغازات ذكرت الأكثر شيوعا لتحقيق النقش منطقة انتقائية. لأن التقنيات التي تعتمد SEM-تعتمد على عملية كيميائية متعددة الخطوات، والمتغيرات معالجة العديد من قد تؤثر على معدل الطحن ودقة العملية. وقد لوحظ سابقا أن زيادة تسارع الجهد والحزم الحالية تزيد بشكل مباشر على سعر الطحن بسبب زيادة تدفق الطاقة، كما هو متوقع"XREF"> 11. تأثير ضغط الغرفة هو أقل وضوحا. وضغط شديد الانخفاض يعاني من نقص عامل مؤكسد، وخفض معدل الطحن. وعلاوة على ذلك، والإفراط في وفرة الأنواع الغازية ينثر شعاع الالكترون ويقلل من تدفق الإلكترونات في المنطقة الطحن، وأيضا خفض معدل إزالة المادي.

لتقدير معدل إزالة الكربون، وهو نهج مماثلة لتلك المستخدمة من قبل اسيتر والرف كان يعمل 12، حيث تتفاعل الإلكترونات مع جزيئات السلائف بالقرب من السطح لتوليد أنواع رد الفعل الذي حفر على سطح الركيزة. من هذا النموذج، ويقدر معدل حفر كما

figure-introduction-1

حيث N A هو تركيز سطح الأنواع منمش، Z هو تركيز سطح مواقع التفاعل المتاحة، x هو عامل رياضيات الكيمياء المتعلقة النقش متقلبةالمنتجات الناتجة بالنسبة إلى المواد المتفاعلة، يمثل وσ احتمال توليد أنواع الحفر المطلوب من بخار الاصطدام المياه الإلكترون، وΓe هو تدفق الإلكترونات على السطح. ويفترض أن عوامل س و A σ أن تكون وحدة وطنية، في حين يفترض Z أن يكون ثابتا تقريبا، وأكبر بكثير من NA. ويمكن الاطلاع على مزيد من التفاصيل في عملنا السابق. 11

في هذه المقالة، هو استكشاف إجراء يستخدم الضغط المنخفض بخار الماء داخل ووزارة شؤون المرأة إلى المناطق مطحنة تتراوح بين الأنابيب النانوية الكربونية الفردية إلى حجم كبير (عشرات ميكرومتر مكعب) إزالة المواد. نحن هنا لشرح هذه التقنية تستخدم لالغابات المركز الوطني للاستشعار مطحنة باستخدام ESEM باستخدام انخفاض المستطيلات المنطقة، بمسح الخط الأفقي، والتي تسيطر عليها البرنامج rastering شعاع الالكترون. ويلزم برامج إضافية وأجهزة لتوليد نمط، على النحو المبين في قائمة المواد. ويتم التركيز على إزالة قريبكبيرة لاي (100 من ميكرون مكعب) حجم المواد من الغابات المركز الوطني للاستشعار، وبالتالي فإن الظروف المعالجة التالية هي عدوانية نسبيا.

عند التعامل مع العينة وكعب عينة، من المهم أن ارتداء قفازات النتريل المتاح. هذا سيمنع الزيوت من نقله إلى كعب أو عينة، وبالتالي تدهور فعالية المضخات.

الوصول مقيد. يرجى تسجيل الدخول أو بدء فترة تجريبية لعرض هذا المحتوى.

البروتوكول

1. إعداد نموذج CNT الغابات لطحن

  1. المركز الوطني للاستشعار التجميعي
    1. إيداع 10 نانومتر من أكسيد الألمنيوم (الألومينا) على رقاقة السيليكون أكسدة حراريا باستخدام الذري طبقة ترسب 13 أو غيرها من وسائل ترسيب البخار المادي.
    2. إيداع 1 نانومتر من حديد على طبقة دعم الألومينا التي كتبها الاخرق 14 أو غيرها من بخار البدني طريقة الترسيب.
    3. تجميع الأنابيب النانوية الكربونية باستخدام عملية المعمول بها، مثل المواد الكيميائية الحرارية بخار ترسب 15.
      1. حرارة 20 مم أنبوب قطره الفرن إلى 750 درجة مئوية في 400 سم مكعب قياسي (SCCM) المتدفقة الهليوم والهيدروجين 100 SCCM. إدخال 100 الاثيلين SCCM كغاز النفط والغاز اللقيم لمعدل نمو حوالي 50 ميكرون / دقيقة.
  2. إعداد SEM
    1. تطبيق الشريط الكربون إلى معيار 1/2 "قطر ووزارة شؤون المرأة كعب. إذا إمالة ط المرحلةق المطلوبة، تتداخل المنطقة من العينة الغابات المركز الوطني للاستشعار أن المضروب على حافة كعب. إذا كان سيتم استخدام البرمجيات التي تسيطر عليها شعاع الالكترون rastering في إجراء الطحن، وتأمين عينة CNT إلى الطباعة الحجرية شعاع الالكترون جبل بطريقة مماثلة.
    2. إذا طحن المقطع العرضي المركز الوطني للاستشعار، وتأمين كعب إلى صاحب 45 درجة كعب مع مجموعة المسمار.
    3. تنفيس ESEM عن طريق اختيار "تنفيس" رمز من برنامج حاسوبي لمراقبة ESEM.
    4. فتح باب المرحلة ESEM، وتأمين كعب إلى مرحلة SEM مع مجموعة المسمار.
    5. إغلاق الغرفة ووزارة شؤون المرأة وحدد "فراغ العالي" في برنامج حاسوبي لمراقبة ESEM.
    6. في حين أن غرفة ESEM تضخ، حدد المعلمات شعاع الالكترون من 5 كيلو فولت وبقعة حجم 3.0 باستخدام علامة التبويب التحكم شعاع ضمن برنامج حاسوبي لمراقبة.
    7. حدد كشف الإلكترون الثانوية عن طريق اختيار كشف | الكشف عن المتفجرات (جنوب شرق) في برنامج حاسوبي لمراقبة ESEM.
    8. حدد الرمز "شعاع في" في برنامج حاسوبي لمراقبة.شعاع يمكن تفعيلها مرة واحدة فقط في فراغ الغرفة أقل من 10 -4 عربة. دليل استخدام SEM السيطرة على المقابض التركيز على تركيز العينة.
    9. إمالة العينة إلى 45 درجة باستخدام إمالة الخط تحكم مرحلة مقبض الباب أو عن طريق إدخال 45 درجة في الميدان "الميل" في "إحداثيات" علامة التبويب البرامج ESEM. التركيز على أعلى العينة. ربط المسافة البؤرية لمسافة العمل من خلال تحديد المرحلة | رابط Z لإعادة توجيه في قائمة البرامج ESEM. إدخال 7 ملم في حقل "Z" في "إحداثيات" علامة التبويب ضمن برنامج حاسوبي لمراقبة.
    10. ضبط التركيز، stigmation والسطوع والتباين باستخدام مقابض التحكم اليدوي لحل صورة مركزة جيدا.
  3. تعديل شعاع في وضع فراغ عالية
    1. تحديد منطقة لطحن باستخدام عناصر التحكم في التنقل. انقر نقرا مزدوجا داخل عرض صورة SEM أو من خلال تحويل x و السيطرة ذ المقابض للتحكم مرحلة SEM للتنقل يدويا.
    2. انتقل إلى لتر المجاورةocation حوالي 100 ميكرون بعيدا عن المنطقة الطحن.
    3. استشارة الشكل 1 لتقدير معدل إزالة المواد من الغابات المركز الوطني للاستشعار بوصفها وظيفة من الضغط، والتسارع الجهد والوقت يسكن لكل بكسل، والحزم الحالية.
    4. ضبط الجهد تسارع إلى 30 كيلو فولت وبقعة حجمها 5.0 باستخدام برنامج حاسوبي لمراقبة ESEM. ضبط تركيز الصورة، والسطوع، والتباين باستخدام السيطرة على المقابض ESEM. لطحن نانومتر النطاق من الأنابيب النانوية الكربونية الفردية أو قليلة، اختيار 5 كيلو فولت وبقعة حجم 3.0.
    5. حدد الفتحة 1 مم تعديل فتحة اليدوي. ضبط التركيز، stigmation، والسطوع، والتباين للحصول على صورة حلها بشكل جيد، كما هو مفصل في وقت سابق.
    6. تقليل التكبير إلى <1،000X.
  4. إعداد ووزارة شؤون المرأة في انخفاض ضغط بخار الماء
    1. حدد ضغط من 11 با في مربع القائمة المنسدلة برامج التحكم.
    2. تحديد وضع "انخفاض ضغط" في إعدادات "فراغ" في softwa ESEMإعادة لإدخال بخار الماء.
    3. حدد "شعاع في" في برنامج حاسوبي لمراقبة على استقرار ضغط. تحديد مدة انتظار <10 ميكرو ثانية وقرار من 1024 س 884 في مربعات القائمة المنسدلة من برنامج التحكم.
    4. ضبط سطوع الصورة والتباين، والتركيز، وstigmation كما هو موضح سابقا.
    5. انتقل إلى منطقة الطحن المطلوبة. تدوير اتجاه الصور عن طريق اختيار المسح | مسح دوران في برنامج حاسوبي لمراقبة، إذا لزم الأمر. تحديد زاوية دوران المناسبة التي تنسجم مع الأصلي الرأسي والأفقي التوجه فحص ووزارة شؤون المرأة.
    6. لطحن أحجام ميزة بناء على أمر من 1 ميكرومتر، حدد التكبير من 40،000X. حدد التكبير من 20،000X إلى ميزات مطحنة ذات أبعاد تصل إلى 5 ميكرون.
    7. وقفة شعاع الالكترون عن طريق اختيار ' "' رمز وسوف يتم عرض صورة من الغابات المركز الوطني للاستشعار، ويمكن استخدامها لاختيار انخفاض المناطق طحن المنطقة أثناء الإيقاف المؤقت شعاع.

2. المركز الوطني للاستشعار غابة طحن

  1. تعليمات لطحن الغابات المركز الوطني للاستشعار باستخدام منطقة مختارة مستطيلة
    1. اختر الأداة "تخفيض المساحة" في برنامج حاسوبي لمراقبة أو تحديد انخفاض مسح المساحة في قائمة البرامج. تمديد خفض مستطيل منطقة على المنطقة المراد طحنها.
    2. ضبط دقة وضوح الصورة إلى 2048 X 1768. زيادة زمن السكون إلى 2 مللي ثانية. إذا 2 مللي ثانية غير متوفر، انتقل إلى المسح الضوئي | تفضيلات وحدد "المسح الضوئي" علامة التبويب. تحديد وقت الفحص القائمة واكتب "2.0 مللي ثانية" في حقل "الاسهاب في الوقت المناسب". انقر على زر "موافق" لإغلاق القائمة.
    3. حدد ' "' رمز في برنامج حاسوبي لمراقبة لتفعيل شعاع الالكترون.
    4. حدد ' "' رمز بحيث المنقطات شعاع فوق المنطقة المحددة مرة واحدة. حدد الرمز مباشرة بعد الخطوة 2.1.3. مدة المسح الضوئي تعتمد على حجم المحددمنطقة، قرار ويسكن الوقت ويمكن أن يقترب بضرب عدد من بكسل داخل منطقة المسح الضوئي وزمن السكون لكل بكسل.
    5. تقليل التكبير إلى <1،000X بمجرد الانتهاء من شعاع rastering المنطقة المحددة. الرجوع إلى المعايير المستخدمة في الخطوة 1.3، بما في ذلك فراغ عالية. حدد "شعاع في" لإشراك شعاع.
  2. تعليمات لطحن الغابات المركز الوطني للاستشعار على طول خط أفقي
    1. حدد ميزة مسح خط بالذهاب الى مسح | خط في برنامج حاسوبي لمراقبة. يتم تحديد عرض الخط حجم شعاع الالكترون نفسها. ضبط دقة وضوح الصورة إلى 2048 X 1768 من مربع القائمة المنسدلة برامج التحكم. زيادة زمن السكون إلى 2 مللي ثانية كما هو موضح في الخطوة 2.1.2.
    2. باستخدام صورة ثابتة تم الحصول عليها قبل التوقف شعاع الالكترون، ووضع خط على المنطقة المراد طحنها.
    3. حدد رمز VIDEOSCOPE أو انتقل إلى القائمة مسح وتحديد "VIDEOSCOPE." باستخدام الخامستوفر أداة ideoscope ردود الفعل بالنسبة إلى عند مسح خط انتهت تماما.
    4. حدد ' "' رمز لمسح شعاع الإلكترون عبر عرض السطر.
    5. حدد ' "' رمز إلى فارغ شعاع الالكترون.
  3. تعليمات لطحن CNT الغابات باستخدام البرمجيات التي تسيطر عليها شعاع الالكترون rastering
    1. الجيل نمط
      1. تصميم نمط الطحن ذات الاهتمام باستخدام حزمة برامج CAD مثل أوتوكاد.
      2. باستخدام (NPGS) برنامج "نانومتر نمط الجيل النظام"، استيراد ملف CAD نمط.
      3. تحويل الأشكال إلى ميزات قوية من قبل "المضلعات مليئة" المحدد في البرنامج NPGS.
      4. حفظ الرسم كملف ".dc2 'في مجلد المشروع المعين من NPGS.
      5. باستخدام NPGS، انتقل إلى مجلد المشروع الذي يحتوي على ملف ".dc2". حق اختيار ملف ".dc2" وحدد "تشغيل ملف تحريرأو "لتحويل الرسم إلى رمز NPGS المعلمات النموذجية المستخدمة لنمط غابات CNT في ظروف معينة وعلى النحو المبين أدناه:
        المسافة مركز إلى مركز = 5 نانومتر
        تباعد الأسطر = 5 نانومتر
        التكبير = 10،000X
        المطلوب شعاع الحالي = 26
        خط الجرعة = 100 NC / سم
    2. شعاع الالكترون الطحن باستخدام NPGS الطباعة الحجرية البرمجيات
    3. حدد "الوضع NPGS" في زر البرنامج NPGS لإعطاء السيطرة على SEM لNPGS.
    4. تسليط الضوء على ملف نمط وحدد "عملية تشغيل ملف" في NPGS لبدء الطحن.
    5. حدد "SEM الوضع" في البرنامج NPGS عندما يتم الانتهاء من الزخرفة. حدد "فراغ العالي" في برنامج حاسوبي لمراقبة ESEM.
    6. حدد "شعاع في" لتفقد المنطقة المضروب. استخدام شروط المفصلة في الخطوة 1.3.

إزالة 3. عينة

  1. تنفيس عن الغرفة عن طريق اختيار "تنفيس" في برنامج حاسوبي لمراقبة ESEM.
  2. فتح باب ESEM. إزالة كعب من خلال تخفيف المسمار مجموعة.
  3. أغلق باب الغرفة. حدد "فراغ العالي" في برنامج حاسوبي لمراقبة.

الوصول مقيد. يرجى تسجيل الدخول أو بدء فترة تجريبية لعرض هذا المحتوى.

النتائج

تم استخدام تقنية ESEM إلى طاحونة غابة CNT تصنيعه باستخدام الحرارية الأمراض القلبية الوعائية 15 و 16. ويرد إزالة منطقة مختارة من عدد قليل من الأنابيب النانوية الكربونية من داخل غابة في الشكل 2 11. لهذه التظاهرة، وتشمل المعلمات 5 كيلو فولت، حجم البقعة من 3، 11 با، 170،000X التكبير، 2 مللي ثانية تسكن الوقت، وفتحة من 30 ميكرون.

الوصول مقيد. يرجى تسجيل الدخول أو بدء فترة تجريبية لعرض هذا المحتوى.

المناقشة

تفاصيل البروتوكول أفضل الممارسات لطحن كبير نسبيا (ميكرون على نطاق و) يتميز في الغابات المركز الوطني للاستشعار. بشكل عام، قد يتم تخفيض معدل إزالة المواد عن طريق الحد من الجهد والتسارع، وحجم البقعة، وقطر الفتحة. لخفض المركز الوطني للاستشعار معين داخل غابة، أوصى تشمل الظروف 5 كيلو فولت، وحجم البقعة من 3، والفتحة التي هي 50 ميكرون أو أقل في القطر. لاحظ أن تقنية الطحن باستخدام انخفاض المستطيلات منطقة ومفصلة بحيث شعاع الالكترون المنقطات المنطقة المغلقة مرة واحدة فقط. يمكن تفحص منطقة خفض...

الوصول مقيد. يرجى تسجيل الدخول أو بدء فترة تجريبية لعرض هذا المحتوى.

الإفصاحات

يعلن المؤلفون أنه ليس لديهم مصالح مالية متنافسة.

شكر وتقدير

تم دعم هذا العمل من قبل منحة مكتب البحث العلمي للقوات الجوية FA9550-16-1-0011 وصناديق بدء التشغيل بجامعة ميسوري. يود المؤلفون أن يشكروا المنشأة الأساسية للفحص المجهري الإلكتروني بجامعة ميسوري للمساعدة في تصوير الميكروبات عبر محرك البحث واستخدام معدات وبرامج الزخرفة.

الوصول مقيد. يرجى تسجيل الدخول أو بدء فترة تجريبية لعرض هذا المحتوى.

المواد

قائمة المواد المستخدمة في هذه المقالة
الاسمالشركةرقم فهرسيالتعليقات
رقاقة سيليكون قطرها 100 مم مع أكسيد حراري 1 ميكرونرقاقةبداية الركيزة
هدف رش الحديدKurt J. LeskerEJTFEXX351A2هدف الرش  
سافانا 200كامبريدجلترسب الطبقة الذرية للألومينا
Quanta 600F البيئة SEMFEIالمجهر الإلكتروني الماسح البيئي المستخدم لدعم بيئة محيطة ببخار الماء منخفض الضغط لطحن الغابات
CNT برنامج التحكم في المجهرFEI4.1.7النانومتر Quanta 600F ESEM
- البرمجياتJC Nabity أنظمة الطباعة الحجريةالإصدار 9البرنامج المستخدم في الطباعة الحجرية لشعاع الإلكترون
كمبيوتر مخصص مزود بلوحةالمعدات المستخدمة في الطباعة الحجرية لشعاع الإلكترون
تصميم برنامجV 21.2المعدات الاختيارية المستخدمة لتوليد أنماط للطباعة الحجرية لشعاع الإلكترون
حامل الطباعة الحجرية للشعاع الإلكترونيتيد بيلا16405حامل الطباعة الحجرية لشعاع الإلكترون مع كوب فاراداي وجسيمات نانوية ذهبية على شريط كربوني
الضغطKeithley6485يستخدم مع كوب فاراداي لتحديد تيار الشعاع
بقطر 12.7 مم كعب SEMتيد بيلا16111SEM كعب
45 درجة حامل كعب دبوستيد بيلا15329المعدات الاختيارية المستخدمة لطحن المقطع العرضي لغابة CNT
جامعة المستخدم في نظام توليد نمط الطباعة الحجرية PCI516 CAD مقياس

المراجع

  1. Labunov, V., et al. Femtosecond laser modification of an array of vertically aligned carbon nanotubes intercalated with Fe phase nanoparticles. Nanoscale Res Lett. 8 (1), 375-375 (2013).
  2. Lim, K. Y., et al. Laser Pruning of Carbon Nanotubes as a Route to Static and Movable Structures. Adv Mater. 15 (4), 300-303 (2003).
  3. Raghuveer, M. S., et al. Nanomachining carbon nanotubes with ion beams. Appl Phys Lett. 84 (22), 4484-4486 (2004).
  4. Sears, K., Skourtis, C., Atkinson, K., Finn, N., Humphries, W. Focused ion beam milling of carbon nanotube yarns to study the relationship between structure and strength. Carbon. 48 (15), 4450-4456 (2010).
  5. Smith, B. W., Luzzi, D. E. Electron irradiation effects in single wall carbon nanotubes. J Appl Phys. 90 (7), 3509-3515 (2001).
  6. Banhart, F., Li, J., Terrones, M. Cutting Single-Walled Carbon Nanotubes with an Electron Beam: Evidence for Atom Migration Inside Nanotubes. Small. 1 (10), 953-956 (2005).
  7. Krasheninnikov, A. V., Banhart, F., Li, J. X., Foster, A. S., Nieminen, R. M. Stability of carbon nanotubes under electron irradiation: Role of tube diameter and chirality. Phys Rev B. 72 (12), 125428(2005).
  8. Royall, C. P., Thiel, B. L., Donald, A. M. Radiation damage of water in environmental scanning electron microscopy. J Microsc. 204 (3), 185-195 (2001).
  9. Yuzvinsky, T. D., Fennimore, A. M., Mickelson, W., Esquivias, C., Zettl, A. Precision cutting of nanotubes with a low-energy electron beam. Appl Phys Lett. 86 (5), 053109(2005).
  10. Liu, P., Arai, F., Fukuda, T. Cutting of carbon nanotubes assisted with oxygen gas inside a scanning electron microscope. Appl Phys Lett. 89 (11), (2006).
  11. Rajabifar, B., et al. Three-dimensional machining of carbon nanotube forests using water-assisted scanning electron microscope processing. Appl Phys Lett. 107 (14), 143102(2015).
  12. Lassiter, M. G., Rack, P. D. Nanoscale electron beam induced etching: a continuum model that correlates the etch profile to the experimental parameters. Nanotechnology. 19 (45), 455306(2008).
  13. Amama, P. B., et al. Influence of Alumina Type on the Evolution and Activity of Alumina-Supported Fe Catalysts in Single-Walled Carbon Nanotube Carpet Growth. ACS Nano. 4 (2), 895-904 (2010).
  14. Almkhelfe, H., Carpena-Nunez, J., Back, T. C., Amama, P. B. Gaseous product mixture from Fischer-Tropsch synthesis as an efficient carbon feedstock for low temperature CVD growth of carbon nanotube carpets. Nanoscale. , (2016).
  15. Maschmann, M. R., Ehlert, G. J., Tawfick, S., Hart, A. J., Baur, J. W. Continuum analysis of carbon nanotube array buckling enabled by anisotropic elastic measurements and modeling. Carbon. 66 (0), 377-386 (2014).
  16. Maschmann, M. R., et al. Visualizing Strain Evolution and Coordinated Buckling within CNT Arrays by In Situ Digital Image Correlation. Adv Funct Mater. 22 (22), 4686-4695 (2012).
  17. Abadi, P. P. S. S., Maschmann, M. R., Baur, J. W., Graham, S., Cola, B. A. Deformation response of conformally coated carbon nanotube forests. Nanotechnology. 24 (47), 475707(2013).
  18. Brieland-Shoultz, A., et al. Scaling the Stiffness, Strength, and Toughness of Ceramic-Coated Nanotube Foams into the Structural Regime. Adv Funct Mater. 24 (36), 5728-5735 (2014).
  19. Maschmann, M. R., Dickinson, B., Ehlert, G. J., Baur, J. W. Force sensitive carbon nanotube arrays for biologically inspired airflow sensing. Smart Mater Struct. 21 (9), 094024(2012).
  20. Maschmann, M. R., et al. In situ SEM Observation of Column-like and Foam-like CNT Array Nanoindentation. ACS Appl Mater Inter. 3 (3), 648-653 (2011).
  21. Pathak, S., Raney, J. R., Daraio, C. Effect of morphology on the strain recovery of vertically aligned carbon nanotube arrays: An in situ study. Carbon. 63, 303-316 (2013).
  22. Pour Shahid Saeed Abadi, P., Hutchens, S. B., Greer, J. R., Cola, B. A., Graham, S. Effects of morphology on the micro-compression response of carbon nanotube forests. Nanoscale. 4 (11), 3373-3380 (2012).
  23. Maschmann, M. R. Integrated simulation of active carbon nanotube forest growth and mechanical compression. Carbon. 86 (0), 26-37 (2015).

الوصول مقيد. يرجى تسجيل الدخول أو بدء فترة تجريبية لعرض هذا المحتوى.

إعادة الطباعة والأذونات

طلب إذن لإعادة استخدام النص أو الأشكال في مقالة JoVE هذه

طلب إذن

الوسوم

مقالات ذات صلة