Method Article

متعدد خطوة الطباعة التصويرية متغير الطول لمحكم بصمام متعدد الأجهزة ميكروفلويديك

DOI:

10.3791/55276

⸱

January 27th, 2017

 ,  , 
1Department of Bioengineering, Stanford University, 2Microfluidic Foundry, Stanford University, 3Department of Genetics, Stanford University, 4Chem-H Institute, Stanford University

* These authors contributed equally

In This Article

Summary

$$\rightleftharpoonup{xx}$$ $$\longleftharp{xx}$$, $$\longrightharp{xx}$$,
غالبا ما تتضمن أجهزة الموائع الدقيقة متعددة الطبقات

تصنيع قوالب رئيسية ذات أشكال هندسية معقدة للوظائف. تقدم هذه المقالة بروتوكولا كاملا للطباعة الحجرية الضوئية متعددة الخطوات مع الصمامات وميزات الارتفاع المتغير القابلة للضبط لأي تطبيق. كعرض توضيحي ، نقوم بتصنيع مولد قطرات ميكروفيليديك قادر على إنتاج حبات الهيدروجيل.

Abstract

$$\rightleftharpoonup{xx}$$ $$\longleftharp{xx}$$, $$\longrightharp{xx}$$,
مكنت أنظمة الموائع الدقيقة

مناهج جديدة قوية للتحليل الكيميائي الحيوي والبيولوجي عالي الإنتاجية. ومع ذلك ، لا يزال هناك عائق أمام دخول غير المتخصصين الذين سيستفيدون بشكل كبير من القدرة على تطوير أجهزة الموائع الدقيقة الخاصة بهم لمعالجة أسئلة البحث. كان النشر المفتوح للبروتوكولات المتعلقة بالطباعة الحجرية الضوئية غير متوفر بشكل خاص ، وهي خطوة رئيسية في تطوير قالب طبق الأصل لتصنيع أجهزة بولي ثنائي ميثيل سيلوكسان (PDMS). في حين تم استكشاف تصنيع أساتذة السيليكون أحادية الارتفاع على نطاق واسع في الأدبيات ، فإن خطوات التصنيع لميزات الطباعة الحجرية الضوئية الأكثر تعقيدا اللازمة للعديد من وظائف الجهاز المثيرة للاهتمام (مثل تقريب الميزات لصنع هياكل الصمامات ، أو الزخرفة أحادية القالب متعددة الارتفاعات ، أو تعريف نسبة العرض إلى الارتفاع العالية) غالبا ما لا يتم تحديدها بشكل صريح.

هنا ، نقدم بروتوكولا كاملا لصنع أجهزة الموائع الدقيقة متعددة الطبقات مع الصمامات والهندسة المعقدة متعددة الارتفاعات ، قابلة للضبط لأي تطبيق. يتم تقديم إجراءات التصنيع هذه في سياق مركب حبة هيدروجيل ميكروفلويديك وتوضح إنتاج قطرات تحتوي على البولي إيثيلين جلايكول (PEG diacrylate) وبادئ ضوئي يمكن بلمرته إلى حبات صلبة. يوفر هذا البروتوكول والمناقشة المصاحبة أساسا لمبادئ التصميم وطرق التصنيع التي تتيح تطوير مجموعة متنوعة من أجهزة الموائع الدقيقة. يجب أن تسمح التفاصيل المدرجة هنا لغير المتخصصين بتصميم وتصنيع أجهزة جديدة ، وبالتالي جلب مجموعة من التقنيات المطورة حديثا إلى تطبيقاتها الأكثر إثارة في المختبرات البيولوجية.

Introduction

$$\rightleftharpoonup{xx}$$ $$\longleftharp{xx}$$, $$\longrightharp{xx}$$,

على مدى السنوات ال 15 الماضية، شهدت على microfluidics كحقل النمو السريع، مع انفجار التكنولوجيات الجديدة التي تتيح التلاعب من السوائل في نطاق ميكرومتر 1. أنظمة الموائع الدقيقة هي منصات جذابة حصول على وظائف المختبر الرطب لأن كميات صغيرة لديها القدرة على تحقيق زيادة السرعة وحساسية في الوقت نفسه زيادة بشكل كبير الإنتاجية وتخفيض التكاليف من خلال الاستفادة من وفورات الحجم 2 و 3. جعلت متعدد أنظمة الموائع الدقيقة تأثيرات كبيرة لا سيما في الإنتاجية العالية تطبيقات تحليل الكيمياء الحيوية مثل تحليل واحد خلية 4، 5، 6، تحليل جزيء واحد (على سبيل المثال، رقمي PCR 7)، والبروتين البلورات 8، عامل النسخ المقايسات ملزمةو "> 9 و 10 و الفحص الخلوي 11.

وقد كان الهدف الرئيسي من على microfluidics تطوير "مختبر على رقاقة" الأجهزة قادرة على أداء التلاعب الموائعية المعقدة داخل جهاز واحد لمجموع تحليل الكيمياء الحيوية 12. وقد ساعد تطور تقنيات الطباعة الحجرية الناعمة متعدد الطبقات تحقيق هذا الهدف من خلال تمكين إنشاء صمامات على الرقاقة، خلاطات، ومضخات للتحكم بنشاط السوائل داخل كميات صغيرة 13 و 14 و 15. وعلى الرغم من مزاياها وتطبيقات أظهرت أن العديد من هذه التقنيات ميكروفلويديك تبقى unharnessed إلى حد كبير من قبل المستخدمين غير المتخصصين. وقد تم اعتماد واسع النطاق تحديا ويرجع ذلك جزئيا إلى محدودية فرص الحصول على مرافق التصنيع الدقيق، ولكن أيضا بسبب عدم كفاية الاتصالات تقنيات التصنيع. وهذا ينطبق بشكل خاص FOص أجهزة ميكروفلويديك متعدد الطبقات يضم هياكل للصمامات أو هندستها معقدة: ندرة، معلومات عملية مفصلة حول معلمات تصميم هامة وتقنيات التصنيع غالبا ما يردع الباحثين الجدد عن الإقدام على المشاريع التي تنطوي على تصميم وإنشاء هذه الأجهزة.

تهدف هذه المادة لمعالجة هذه الفجوة المعرفية من خلال تقديم بروتوكول كامل لصنع أجهزة ميكروفلويديك متعدد الطبقات مع الصمامات وميزات ارتفاع متغير، بدءا من المعلمات تصميم وتتحرك من خلال جميع الخطوات تلفيق. من خلال التركيز على الخطوات ضوئيه الأولية للتصنيع، وهذا البروتوكول يكمل البروتوكولات على microfluidics أخرى 16 التي تصف الخطوات اللاحقة من صب الأجهزة من القوالب وتشغيل تجارب محددة.

وتتكون أجهزة ميكروفلويديك مع صمامات متجانسة على رقاقة من طبقتين: طبقة "تدفق"، حيث يتم التلاعب السائل من الفائدة في الدقيقةالقنوات، وطبقة "السيطرة"، حيث microchannels التي تحتوي على الهواء أو الماء يمكن أن تعدل بشكل انتقائي تدفق السوائل في طبقة تدفق 14. وكل ملفقة هاتين الطبقتين على سيد السيليكون صب منفصل، والذي يستخدم لاحقا لثنائي ميثيل بولي سيلوكسان (PDMS) صب متماثلة في عملية تسمى "الطباعة الحجرية الناعمة 17". لتشكيل جهاز متعدد الطبقات، ويلقي كل من طبقات PDMS على الماجستير صب كل منها ومن ثم الانحياز إلى بعضها البعض، وبالتالي تكوين جهاز PDMS مركب مع قنوات في كل طبقة. وتشكل صمامات في المواقع التي تعبر قنوات التدفق والتحكم بعضها البعض وتكون مفصولة فقط غشاء رقيق. الضغط من قناة التحكم ينحرف هذا الغشاء إلى انسداد قناة تدفق وتهجير محليا السائل (الشكل 1).

صمامات النشطة على رقاقة يمكن أن تكون ملفقة بطرق متعددة، اعتمادا على التطبيق النهائي المطلوب. صماماتيمكن تكوين إما في "دفع إلى أسفل" أو "رفع" علم الهندسة، وهذا يتوقف على ما إذا كانت سيطرة طبقة أعلى أو أسفل الطبقة تدفق (الشكل 1) 15. "ادفع المتابعة" هندستها تسمح الضغوط إغلاق الدنيا واستقرار الجهاز العالي ضد التبطين، في حين أن "دفع إلى أسفل" هندستها تسمح لقنوات تدفق لتكون على اتصال مباشر مع الركيزة المستعبدين، التي تمنح ميزة functionalization انتقائية أو الزخرفة من سطح الركيزة حصول على وظائف في وقت لاحق 18 و 19.

والصمامات ويمكن أيضا أن تكون إما تتسرب عمدا الصمامات "غربال" أو قابل للغلق تماما، اعتمادا على البيانات الشخصية مستعرضة من قناة التدفق. صمامات غربال مفيدة لمحاصرة الخرز، وخلايا أو غيرها macroanalytes 1، وملفقة من خلال استخدام مقاومات الضوء السلبية النمطية (أي SU-8 سلسلة)، التي هكتارلقد ملامح مستطيلة. عند الضغط قناة السيطرة على هذه المناطق صمام، غشاء PDMS بين وحدة التحكم وطبقة تدفق ينحرف بشكل متساوي في التشكيل الجانبي مستطيلة من صمام دون ختم زوايا، والسماح تدفق السوائل ولكن محاصرة الجسيمات على نطاق والكلى (الشكل 1). على العكس، هي ملفقة الصمامات ميكروفلويديك اغلاقها باحكام بشكل كامل بما في ذلك قطعة صغيرة من مقاومة للضوء مدورة في مواقع صمام. مع هذه الهندسة، الضغط من قناة التحكم ينحرف الغشاء ضد طبقة تدفق مدورة لاغلاق تماما القناة، ووقف تدفق السوائل. يتم إنشاء التشكيلات الجانبية للتقريب في طبقة تدفق عبر ذوبان وانحسر من مقاومة للضوء إيجابي (على سبيل المثال، AZ50 XT أو SPR 220) بعد خطوات ضوئيه نموذجية. لقد أثبتنا سابقا أن آفاق ما بعد إنحسر المناطق صمام تعتمد على أبعاد ميزة اختيار 21. يوضح هذا البروتوكول تلفيق كلا هندستها صمام معفي جهاز التوليف حبة.

figure-introduction-1
الشكل 1: متعدد الطبقات ميكروفلويديك صمام هندستها. نموذجية "رفع" أبنية الجهاز لغربال وصمامات اغلاقها باحكام تماما قبل (أعلى) وبعد (أسفل) الضغط. الرجاء انقر هنا لعرض نسخة أكبر من هذا الرقم.

يمكن أن تشمل أيضا أجهزة ملامح سلبية معقدة مثل خلاطات الفوضى 13 وعلى رقاقة المقاومات 20 التي تتطلب ميزات من ارتفاعات مختلفة متعددة داخل طبقة تدفق واحدة. لتحقيق طبقة تدفق ارتفاع متغير، قد استخدمت مجموعات مختلفة العديد من الأساليب بما في ذلك الدوائر المطبوعة مجلس النقش 22، متعدد الطبقات PDMS محاذاة الإغاثة 23، أو متعددة الخطوات صhotolithography 24. وقد وجدت مجموعتنا متعددة الخطوات ضوئيه على الماجستير صب واحد لتكون وسيلة فعالة وقابلة للتكرار. للقيام بذلك، وتوظيف تقنية ضوئيه بسيطة لبناء قنوات سميكة من مقاومة للضوء سلبي (على سبيل المثال، سلسلة مقاومات الضوء SU-8) في طبقات بدون التنمية بين تطبيق كل طبقة. ونسج كل طبقة في مقاومة للضوء سلبي وفقا لسمك باستخدام إرشادات الشركة المصنعة لها 25 على سيد السيليكون. ثم يتم منقوشة ملامح هذا الارتفاع على طبقة باستخدام قناع الشفافية محددة (الشكل 2) الملصقة على لوحة قناع الزجاج والانحياز لطبقة نسج سابقا قبل التعرض. في متعددة الخطوات ضوئيه، والمواءمة الدقيقة بين الطبقات أمر بالغ الأهمية في تشكيل قناة كاملة تدفق ارتفاع متغير. بعد المحاذاة، يخضع كل طبقة إلى بعد التعرض للخبز تعتمد على سمك. بدون تنمية، والطبقة التالية هي سيمنمط ilarly. وبهذه الطريقة، وميزات طويل القامة يمكن أن تراكمت على رقاقة تدفق واحد طبقة تلو طبقة من خلال استخدام أقنعة متعددة. من خلال تخطي التنمية بين كل خطوة، طبقات مقاومة للضوء السابقة يمكن استخدامها لتوليد ميزات ارتفاع المركبة (أي، يمكن أن اثنين من 25 ميكرومتر طبقات جعل 50 ميكرون الميزة) 24. بالإضافة إلى ذلك، ميزات الطابق قناة مثل خلاط الفوضى الأخاديد متعرجة 13 يمكن إجراؤها باستخدام طبقات مع الميزات التي سبق تعرضها. خطوة التطوير النهائي اكتمال عملية، وخلق رقاقة تدفق واحد مع ملامح ارتفاع متغير (الشكل 3).

هنا، يتم توفير بروتوكول الكامل لمتعددة الخطوات ضوئيه يتضمن أمثلة من كافة الإجراءات اللازمة لتصنيع الصمامات على رقاقة وقنوات تدفق بارتفاعات متعددة. ويقدم هذا البروتوكول تلفيق في سياق متعدد الطبقات ميكروفلويديك المزج حبة يتطلب الصمامات وvariabيتميز لو الارتفاع لوظائفه. ويشمل هذا الجهاز T-تقاطعات لتوليد قطرات الماء في غمد النفط و المقاومات على رقاقة لتعديل معدلات التدفق من خلال السيطرة على المقاومة بوازوي، خلاط الفوضى لالمجانسة مكونات قطرة، وكلاهما ختم وغربال تماما صمامات لتمكين سير العمل الآلي التي تنطوي على كاشف متعددة المدخلات. باستخدام متعددة الخطوات ضوئيه، هذه الميزات هي كل ملفقة على طبقة مختلفة وفقا لارتفاع أو مقاومة للضوء. هي التي شيدت الطبقات التالية في هذا البروتوكول: (1) جولة تدفق طبقة صمام (55 ميكرون، AZ50 XT) (2) تدفق منخفضة طبقة (55 ميكرون، SU-8 2050) (3) تدفق طبقة عالية (85 ميكرون، SU- 8 2025، 30 ميكرون ارتفاع مضافة)، و (4) متعرجة الأخاديد (125 ميكرون، SU-8 2025، 40 ميكرون ارتفاع مضافة) (الشكل 3).

حبات هيدروجيل يمكن استخدامها لمجموعة متنوعة من التطبيقات بما في ذلك functionalization السطحي الانتقائي لفحوصات المصب، تغليف المخدرات، راضيotracing والتصوير المقايسات، ودمج الخلية؛ كنا سابقا نسخة أكثر تعقيدا من هذه الأجهزة لإنتاج المشفرة طيفيا الخرز PEG هيدروجيل تحتوي على nanophosphors اللانثينيدات 20. يتم تضمين التصاميم مناقشتها هنا في موارد إضافية لأي مختبر لاستخدامها في جهودهم البحثية إذا رغبت في ذلك. ونحن نتوقع أن هذا البروتوكول سوف توفر الموارد مفتوحة للمتخصصين وغير المتخصصين المهتمين على حد سواء في صنع أجهزة ميكروفلويديك متعدد الطبقات مع الصمامات أو هندستها معقدة لخفض الحواجز أمام دخول على microfluidics وزيادة فرص النجاح تلفيق.

Access restricted. Please log in or start a trial to view this content.

Protocol

$$\rightleftharpoonup{xx}$$ $$\longleftharp{xx}$$, $$\longrightharp{xx}$$,

1. متعدد الطبقات تصميم جهاز

ملاحظة: ملامح من المرتفعات و / أو مقاومات الضوء مختلفة ويجب أن يضاف بالتتابع إلى الرقاقة خلال خطوات تصنيع مختلفة لإنشاء ميزات مركب النهائية. لذلك، لتصاميم كل ارتفاع منفصل ومقاومة للضوء التي ستدرج على رقاقة يجب أن تكون مطبوعة على قناع الخاصة بهم (الشكل 4).

  1. تحميل تصميم (CAD) برنامج صياغة بمساعدة الحاسوب (على سبيل المثال، أوتوكاد النسخة التعليمية).
  2. تحديد "منطقة رقاقة عن طريق رسم 4" 4 الدائرة. وتقدم تصاميم رقاقة (الشكل 4، موارد إضافية) كمثال.
  3. داخل "مخطط رقاقة 4، مكان جهاز الحدود باستخدام 300 ميكرون المستطيلات شكل متعدد الخطوط. استخدام هذه الحدود جهاز للمحاذاة خلال ضوئيه.
  4. خلق طبقات مختلفة لكل ارتفاع مختلفة أو مقاومة للضوء اللازمة للتصميم النهائي (أي الجولة التدفق، وتدفق منخفضة، وتدفق عالية،والتحكم في التصميم) باستخدام لوحة الطبقات.
    1. ميزات تصميم الارتفاع المطلوب بشكل خاص على الطبقة المقابلة. تصميم سبيل المثال يظهر 4 طبقات نشطة مختلفة، ولكل منها لونه الخاص (الشكل 4).
      ملاحظة: يجب أن يتم الحدود الأجهزة، النص العالمي، ومخطط رقاقة على طبقة خاصة بهم (أي 1-سلبي في التصاميم)، والتي، في وقت لاحق، وسوف تظهر على جميع طبقات للمحاذاة العالمية. ملامح مقاومة للضوء مختلفة (مثل صمامات اغلاقها باحكام تماما أن يجب أن تكون ملفقة مع إيجابية تقاوم) يجب أن تظهر على طبقات مختلفة، بغض النظر عن الارتفاع.
  5. باستخدام أغلقت الخطوط المتعددة الصفر العرض، ميزات الجهاز تصميم داخل حدود الجهاز.
    1. النظر في معايير التصميم في الجدول رقم 1 لزيادة فرص تصنيع ناجحة.
    2. لكل ارتفاع، حدد تلك الطبقة في لوحة الطبقات وإضافة كافة الميزات من هذا الارتفاع.
  6. جاهزتصاميم للطباعة الشفاف باستخدام قناع الملف الأساسي (موارد إضافية) حيث "يتم إدخال دائرة رقاقة ضمن 5" كل 4 الحدود مستطيلة. ستتم طباعة كل طبقة على طبقة الشفافية منفصل لإضافة متتابعة من كل طبقة مقاومة للضوء.
    ملاحظة: يمثل هذا قناع الملفات الأساسية التصاميم النهائية المستخدمة للطباعة.
    1. لاستكمال تصميم، وتحويل جميع الطبقات قبالة باستثناء 1-سلبي، وطبقة صمام AZ50 XT. نسخ رقاقة كامل مع الطبقة النشطة (أي صمامات) والميزات العالمية (أي، حدود الجهاز).
    2. فتح ملف قناع الأساسي ولصق هذا التصميم في المستطيل بعنوان صمامات AZ50 XT. استخدام الحدود رقاقة الخارجي للمحاذاة، وبعد ذلك قم بحذفه بعد اللصق.
    3. أكرر لبقية الطبقات (على سبيل المثال، في المثال تصميم: انخفاض تدفق مربع، وتدفق عالية مربع، والسيطرة). وتقدم ملفات مثال الشفافية (موارد إضافية).
    4. إرسال الملفات إلى كومشركة mercial الطباعة (على سبيل المثال، تركية FINELINE التصوير) للطباعة على الفيلم الشفافية. استخدام 32،000 DPI للطباعة> 10 ميكرون الميزات ويصل إلى 50،000 DPI لميزات أصغر. إذا كانت هناك حاجة ميزات أقل من 7 ميكرون، أن تأمر بإجراء قناع كروم بدلا من فيلم الشفافية.

الجدول 1: معلمات تصميم واقتراحات. تصميم الاعتبارات لتجنب الأخطاء الشائعة أثناء عملية تصميم CAD الأجهزة ميكروفلويديك. الرجاء انقر هنا لعرض هذا الجدول. (انقر بزر الماوس الأيمن للتحميل.)

2. إعداد ويفر لالطباعة التصويرية

ملاحظة: تظهر هذه الخطوات بالإضافة إلى ذلك في الجدول الشكل في الجدول 2.

  1. في غرف الأبحاث أو منطقة نظيفة المعين ونظيفة ويذوى 4 "اختبار الصف رقاقة السيليكون (أحادية الجانب صolished).
    1. شطف الرقاقة بشكل جيد مع الميثانول.
      ملاحظة: هناك حاجة إلى خطوات لا مزيد من التنظيف في حالة استخدام طبقة التصاق SU-8 هو موضح أدناه. طبقات التصاق الأخرى التي تحيد عن هذا البروتوكول (على سبيل المثال، HMDS) غالبا ما تتطلب تنظيف أكثر شمولا، مثل النقش سمكة البيرانا.
    2. ضربة الجافة مع N 2 أو الهواء المضغوط.
    3. خبز على موقد الألومنيوم في درجة حرارة 95 درجة مئوية لمدة 10 دقيقة لتتبخر تماما المذيبات.
  2. افتعال موحدة 5 ميكرون طبقة سميكة من SU-8 2005 لتحسين التصاق للطبقات مقاومة للضوء لاحقة.
    1. وضع رقاقة تنظيفها على المغطي تدور، بدوره على فراغ ليضعوا لها تشوك تدور، وضربة بعيدا الغبار مع N 2 أو الهواء المضغوط.
    2. تطبيق 1-2 مل من SU-8 2005 مقاومة للضوء سلبي في وسط رقاقة وتدور على النحو التالي: انتشار: 500 دورة في الدقيقة، 10 ثانية و 133 دورة في الدقيقة / ق تسارع؛ يلقي: 3000 دورة في الدقيقة، 40 ثانية، 266 دورة في الدقيقة / ق تسارع.
    3. إزالة رقاقةوتخبز لينة عن طريق التحول رقاقة بين اثنين من سخانات وضعت في 65 درجة مئوية و 95 درجة مئوية وفقا للبرنامج التالي: 65 درجة مئوية: 2 دقيقة، 95 ° C: 3 دقائق، 65 ° C: 2 دقيقة.
    4. تسمح الرقاقة لتبريد لRT.
    5. وضع رقاقة في ظرف من الأشعة فوق البنفسجية قناع اليجنر وفضح دون قناع ( 'التعرض للفيضانات') لمجموع ترسب الطاقة من 124 ميغا جول (هنا، و 20 ثانية في ~ 6.2 ميغاواط / سم 2 مصباح كثافة). إذا كان متوفرا، حدد وسيلة الاتصال الصعب تحقيق رقاقة 300 ميكرون: قناع الانفصال.
    6. إزالة رقاقة وخبز بعد التعرض عن طريق التحول الرقاقة بين اثنين من سخانات وضعت في 65 درجة مئوية و 95 درجة مئوية على النحو التالي: 65 درجة مئوية: 2 دقيقة، 95 ° C: 4 دقائق، 65 ° C: 2 دقيقة.

افتعال مدور صمامات

  1. استخدام الانترنت AZ50 XT صمام مؤشرا الموارد 26 إلى خطة سرعات الدوران لأبعاد صمام المطلوب والمرتفعات.
    ملاحظة: الخطوات التالية ديبوالجلوس طبقة 55 ميكرون من مقاومة للضوء إيجابي للتعريف صمام والتقريب إنحسر.
  2. وضع رقاقة على المغطي تدور، تشغيل فراغ ليضعوا لها تشوك تدور، وضربة بعيدا الغبار مع N 2 أو الهواء المضغوط.
  3. تطبيق 2-3 مل من AZ50 XT مقاومة للضوء إيجابي إلى مركز للرقاقة. تدور على النحو التالي: انتشار: 200 دورة في الدقيقة، 10 ثانية و 133 دورة في الدقيقة / ق تسارع. المدلى بها: 1200 دورة في الدقيقة، 40 ثانية، 266 دورة في الدقيقة / ق تسارع. التقط تدور لإزالة حافة حبة: 3400 دورة في الدقيقة، 1 ثانية، 3400 دورة في الدقيقة / ق تسارع.
  4. في 5 "طبق بيتري، وضع رقاقة بعناية والسماح الاسترخاء لمدة 20 دقيقة.
  5. خبز لينة الرقاقة على موقد: 65 ° C - 112 درجة مئوية، 22 دقيقة، 450 درجة مئوية / ساعة سرعة التعلية.
  6. إزالة الرقاقة والسماح راحة بين عشية وضحاها في RT في طبق بيتري لمعالجة الجفاف المحيط.
  7. الشريط جولة تدفق قناع الشفافية إلى 5 "لوحة من الزجاج الطباعة الجانب السلبي (الأقرب إلى رقاقة) وتحميل إلى مناور قناع اليجنر قناع للأشعة فوق البنفسجية. فضح الرقاقة إلى 930 ميغا جول من الأشعة فوق البنفسجية في 6 دورات ( على سبيل المثال، 6 دورات من 25 ثانية في ~ 6.2 ميغاواط / سم 2 مصباح كثافة، 30 ثانية تنتظر الوقت بين التعرض).
  8. تطوير رقاقة على الفور من قبل الغطس في حمام أثار من 25 مل من AZ500k 1: 3 المطور في طبق 6 "الزجاج لمدة 3-5 دقائق أو حتى يتحول حمام الأرجواني والميزات في الظهور.
    1. إزالة الرقاقة وشطف جيدا بالماء DI.
    2. تقييم ارتفاع قبل إنحسر باستخدام profilometer (قوة القلم 10.5 ملغ).
      ملاحظة: تشغيل profilometer وفقا لتعليمات الشركة الصانعة، وتحديد المواقع بدقة القلم قوة بجانب قناة ميزة على طبقة المطلوب قبل التنميط. كانت الإعدادات المستخدمة في هذا البروتوكول ما يلي: قوة القلم 10.5 ملغ، طول 1000 ميكرون، وسرعة 200 ميكرون / ثانية، نظام أسفل المتابعة.
  9. إنحسر الصعب خبز الرقاقة لإذابة والميزات صمام الجولة على النحو التالي: 65 درجة مئوية - 190 ° C، 15 ساعة، 10 ° C / ساعة سرعة التعلية.
  10. دع بارد ويفر إلى RT. تقييم ارتفاع بعد إنحسر باستخدام بروفيlometer (قوة القلم 10.5 ملغ). ينبغي أن يتوقع مرتفعات 55 ميكرومتر ± 2 ميكرون لهذه الهندسة الجهاز.

3. افتعال الميزات ارتفاع متغير في جنبا الى جنب

  1. انتقل إلى تلفيق ارتفاع متغير مع رقاقة المتقدمة مع انخفاض تدفق، تدفق عالية ومتعرجة خلاط الشفاف من تصميم الخرزة مركب.
  2. لضبط بروتوكول للتصاميم، استخدم ورقة بيانات تصنيع 25 لتحديد الطاقة التعرض، وسرعة الدوران والمعلمات الوقت خبز، والسماح ل± 5٪ التسامح.
    ملاحظة: هذا البروتوكول تلفيق 55 ميكرون تدفق طويل القامة طبقة منخفضة باستخدام SU-8 2050 مقاومة للضوء سلبي نسج على ميزات صمام.
  3. وضع رقاقة تنظيفها على المغطي تدور، بدوره على فراغ ليضعوا لها تشوك تدور، وضربة بعيدا الغبار مع N 2 أو الهواء المضغوط.
    1. تطبيق 1-2 مل من SU-8 2050 مقاومة للضوء سلبي إلى مركز للرقاقة وتدور على النحو التالي: انتشار: 500 دورة في الدقيقة، 10 ثانية و 133 دورة في الدقيقة التسارع / ثانية؛ يلقي: 3000 دورة في الدقيقة، 40 ثانية، 266 دورة في الدقيقة / تسريع ثانية. تدور مقاوم الضوء على الميزات صمام المتقدمة.
  4. وضع بعناية الرقاقة نسج في 5 "طبق بيتري والسماح الاسترخاء لمدة 20 دقيقة على سطح مستو أو حتى أي تسليط الضوء على أنماط تتلاشى.
  5. إزالة الرقاقة وتخبز لينة عن طريق وضع على اثنين من سخانات وضعت في 65 درجة مئوية و 95 درجة مئوية على النحو التالي: 65 درجة مئوية: 2 دقيقة، 95 ° C: 8 دقيقة، 65 ° C: 2 دقيقة.
  6. تسمح الرقاقة لتبريد لRT.
  7. الشريط تدفق قناع منخفضة الشفافية لالكوارتز 5 "لوحة من الزجاج الطباعة الجانب السلبي (الأقرب إلى رقاقة) وتحميل في مناور قناع اليجنر قناع للأشعة فوق البنفسجية.
  8. وضع رقاقة في قناع للأشعة فوق البنفسجية اليجنر تشوك و، وذلك باستخدام العدسة المجهر أو الكاميرا، محاذاة بعناية تدفق ملامح طبقة منخفضة جديدة لتدفق جولة ميزات طبقة صمام. تبدأ عن طريق مواءمة الأفقية، المحاور العمودية والميل للحدود الجهاز إلى ملامح الحدود الجهاز على قناع. بعد ذلك، محاذاة ميزات عبر الشعر الرهانطبقات وين. وأخيرا، تأكد من الميزات صمام تتقاطع تدفق منخفضة يتميز حيثما ينطبق ذلك.
  9. فضح إلى 170 ميغا جول للأشعة فوق البنفسجية ترسب (28 ثانية في ~ 6.2 ميغاواط / سم 2).
  10. إزالة الرقاقة وبعد التعرض للخبز عن طريق التحول بين اثنين من سخانات وضعت في 65 درجة مئوية و 95 درجة مئوية على النحو التالي: 65 درجة مئوية: 2 دقيقة، 95 ° C: 9 دقائق، 65 ° C: 2 دقيقة.
  11. دون تطوير، والسماح للرقاقة لتبريد لRT، والشروع في تصنيع تدفق طبقة عالية. وهذا التدفق طبقة عالية إضافة 30 ميكرون من مقاومة للضوء لغير المطورة طبقة مقاومة للضوء 55 ميكرون لانتاج 85 ميكرون الميزات في مواقع غير معلن سابقا.
  12. كرر الخطوات من 3،3-3،10 استخدام SU-8 2025 وتدفق قناع عالية طبقة مع هذه التعديلات لإعدادات معطف تدور: انتشار: 500 دورة في الدقيقة، 10 ثانية و 133 دورة في الدقيقة / ق تسارع. يلقي: 3500 دورة في الدقيقة، 40 ثانية، 266 دورة في الدقيقة / تسريع ثانية.
    1. فضح إلى 198 ميغا جول للأشعة فوق البنفسجية ترسب (32 ق في ~ 6.2 ميغاواط / سم 2).
  13. دون develoبينغ، والسماح للرقاقة لتبريد لRT، والشروع في تصنيع طبقة الفوضى خلاط متعرجة. سوف ملامح النهائية في هذه الطبقة لديهم ارتفاع إجمالي 125 ميكرون: 55 ميكرون من طبقة منخفضة التدفق، 30 ميكرون من طبقة ساحة التدفق، و 40 ميكرون من هذه الطبقة الفوضى خلاط متعرجة (انظر الشكل 3)، وتشمل 35 الأخاديد ميكرون متعرجة .
  14. كرر الخطوات من 3،3-3،10 استخدام SU-8 2025 وقناع طبقة زخرف متعرج مع إجراء التعديلات التالية، وضمان أن الأخاديد متعرجة هم تماما داخل الخطوط العريضة لتدفق عالية القناة.
    1. استخدام البرنامج خبز لينة التالية: 65 ° C: 2 دقيقة، 95 ° C: 7 دقيقة، 65 ° C: 2 دقيقة.
    2. فضح إلى 148 ميغا جول للأشعة فوق البنفسجية ترسب (24 ق في ~ 6.2 ميغاواط / سم 2).
  15. بعد أن تم الانتهاء من جميع الطبقات، وتطوير بغمر رقاقة في حمام أثار من 25 مل من SU-8 المطور في طبق 6 "الزجاج لمدة 3.5 دقيقة أو حتى ملامح تظهر بشكل واضح. تأكد من أن الملامحوفاق لديهم واضحة، والحدود ميزة محددة باستخدام المجسام.
  16. من الصعب خبز الرقاقة لتحقيق الاستقرار في كافة الميزات مقاوم الضوء على طبق ساخن على النحو التالي: 65 ° C - 165 درجة مئوية، 2 ساعة و 30 دقيقة، و 120 درجة مئوية / ساعة سرعة التعلية.
  17. تقييم ارتفاع ميزة في كل طبقات باستخدام profilometer (قوة القلم 10.5 ملغ).

4. مراقبة تصنيع الشرائح

  1. نظيفة، يذوى، وافتعال طبقة التصاق 5 ميكرون على الجديد رقاقة 4 "السيليكون كما هو الحال في القسم 4.
  2. افتعال طبقة 25 ميكرون للسيطرة على استخدام SU-8 2025 مقاومة للضوء سلبي.
  3. وضع رقاقة على المغطي تدور، تشغيل فراغ ليضعوا لها تشوك تدور، وضربة بعيدا الغبار مع N 2 أو الهواء المضغوط.
  4. تطبيق 1-2 مل من SU-8 2025 مقاومة للضوء سلبي في وسط رقاقة وتدور على النحو التالي: انتشار: 500 دورة في الدقيقة، 10 ثانية و 133 دورة في الدقيقة / ق تسارع. يلقي: 3500 دورة في الدقيقة، 40 ثانية، 266 دورة في الدقيقة / تسريع ثانية.
  5. إزالة الرقاقة وتخبز لينة عن طريق التحول بينتعيين اثنين من سخانات عند 65 درجة مئوية و 95 درجة مئوية على النحو التالي: 65 درجة مئوية: 2 دقيقة، 95 ° C: 5 دقيقة، 65 ° C: 2 دقيقة.
  6. تسمح الرقاقة لتبريد لRT.
  7. محاذاة قناع السيطرة الشفافية إلى "لوحة 5 الزجاج وتحميل إلى اليجنر قناع للأشعة فوق البنفسجية.
  8. وضع رقاقة في ظرف من الأشعة فوق البنفسجية قناع اليجنر وفضح إلى 155 ميغا جول للأشعة فوق البنفسجية ترسب (25 ثانية في ~ 6.2 ميغاواط / سم 2 مصباح كثافة).
  9. إزالة الرقاقة وبعد التعرض للخبز عن طريق التحول بين اثنين من سخانات وضعت في 65 درجة مئوية و 95 درجة مئوية على النحو التالي: 65 درجة مئوية: 2 دقيقة، 95 ° C: 6 دقيقة، 65 ° C: 2 دقيقة.
  10. تطوير بغمر رقاقة في حمام أثار من 25 مل من SU-8 المطور في 6 "صحن من الزجاج لمدة 1 دقيقة أو حتى ملامح تظهر تحقق الميزات باستخدام المجسام.
  11. من الصعب خبز الرقاقة لتحقيق الاستقرار ميزات مقاومة للضوء على النحو التالي: 65 درجة مئوية - 165 ° C، 2 ساعة و 30 دقيقة، و 120 درجة مئوية / ساعة سرعة التعلية.

5. سيلاني العلاج ويفر لمن السهل PDMS ليفت-سوما يليها

  1. وضع رقائق الانتهاء منها في رف رقاقة داخل فراغ مجفف جرس جرة داخل غطاء الدخان خالية من الكواشف الماء أو للذوبان في الماء.
  2. تحت غطاء محرك السيارة، واستخدام القطارة لتطبيق 1 قطرة من ثلاثي كلورو (إتش 1 إن 1 H، 2 H، 2 H -perfluorooctyl) سيلاني (PFOTS) لشريحة زجاجية ومكان داخل المجفف.
  3. إغلاق الغطاء المجفف وتطبيق فراغ لمدة 1 دقيقة.
  4. بعد 1 دقيقة، وإيقاف فراغ دون إعادة الضغط أو إخلاء جرس جرة.
  5. دعونا نجلس الخليط لمدة 10 دقيقة في حين سطح PFOTS رذاذ المعاطف رقاقة.
  6. فتح جرس جرة غطاء وإزالة الرقاقة باستخدام الملقط. ضع في طبق بيتري لPDMS صب متماثلة. التخلص من الشرائح المغلفة سيلاني في النفايات الخطرة المناسبة.
    ملاحظة: ويفر المغلفة مع silanes المفلورة يمكن استخدام مئات الآلاف من المرات من إعادة معالجتها. وهناك طبقة الأضاحي من 1:10 PDMS يمكن أن يلقي في الرقائق، وعلاجه، والتخلص منها بعد العلاج سيلاني الأولى لإزالة همجموعة سيلاني xcess من سطح الرقاقة.

6. PDMS طبق الاصل صب

  1. صنع أجهزة ميكروفلويديك متعدد الطبقات في الهندسة "رفع" على الزجاج وفقا لبروتوكولات الوصول المفتوح القائم (16).
    ملاحظة: بالإضافة إلى ذلك يمكن الاطلاع على بروتوكول مفصلة على الموقع 27.
  2. عن طريق التفتيش البصري، وضمان تتماشى جميع الصمامات بشكل صحيح للسيطرة على خطوط وجميع مداخل (على كل من التدفق والسيطرة طبقات) واللكم بشكل كامل قبل المتابعة.

7. إنتاج هيدروجيل الخرز من القطرات

  1. ربط الأنابيب (على سبيل المثال، Tygon) محملة المياه إلى نظام التحكم في التدفق (على سبيل المثال، مضخات الحقنة، وحدات تحكم الموائعية، أو مفتوحة المصدر صمام الملف اللولبي مجموعة مع الخزانات 28).
  2. ربط مسامير معدنية لأنابيب والاتصال منافذ الجهاز في مداخل خط السيطرة. الضغط على خطوط التحكم في الجهاز عن طريق تعيين تابع تدفقنظام رول الاختيار إلى 25 رطل لكل خط. تأكد من أن الصمامات وثيقة وإعادة فتح طريق التفتيش تحت المجهر.
    ملاحظة: اتبع تعليمات الشركة الصانعة لنظام التحكم في التدفق في الاختيار. في هذا العمل، ونظام هوائي تسيطر برمجيات مخصصة ينطبق الضغط على كل سطر باستخدام صمامات الملف اللولبي أن تبديل بين 25 رطل الهواء المضغوط (الضغط) والضغط الجوي (ينخفض ​​ضغطها). التفاصيل حول هذا النظام يمكن العثور عليها في مناقشة.
  3. إعداد أوعية الضغط ميكروفلويديك مخصصة للكاشف وتحميل النفط.
    1. عن طريق دفع دبوس، لكمة اثنين من الثقوب في الجزء العلوي من أنبوب قارورة المبردة، تضاف الشعرية نظرة خاطفة الأنابيب في فتحة واحدة، وإدراج مسمار معدني متصل الأنابيب في الحفرة الثانية.
    2. ختم الأنابيب في مكان مع الايبوكسي. اسمحوا الجافة لمدة 1 ساعة.
  4. في الوقت الذي تنتظر، في أنبوب microcentrifuge، بتعليق 3.9 ملغ من photoinitiator LAP إلى 100 ميكرولتر من المياه DI ([LAP] = 39 ملغ / مل) لإعداد photoinitiatorحل تستخدم لالبلمرة قطرات إلى هيدروجيل الخرز. احم من الضوء.
  5. في أنبوب microcentrifuge الثاني، إضافة 132 ميكرولتر المياه DI و 172 ميكرولتر PEG diacrylate، 12 حل LAP ميكرولتر و 85 ميكرولتر العازلة HEPES لجعل حل هيدروجيل قطرة.
  6. نقل الحل هيدروجيل قطرة في وعاء أنبوب المبردة الانتهاء.
    ملاحظة: إضافات لتطبيقات أخرى مثل البلورات النانوية، الجسيمات المغناطيسية أو الجزيئات البيولوجية يمكن ادراجها ضمن المكون HEPES.
  7. توصيل أنابيب للسفينة أنبوب المبردة لمصدر الضغط يمكن السيطرة عليها وتوصيل أنابيب نظرة خاطفة إلى مدخل كاشف الجهاز.
  8. إعداد 10 مل من زيت معدني خفيف مع 2٪ ت / ت السطحي غير أيوني (على سبيل المثال، سبان 80) و 0.05٪ EM90 لمستحلب قطرات النفط. تصفية باستخدام 0.22 ميكرون تصفية حقنة وتحميل 1 مل في وعاء الثانية أنبوب المبردة.
  9. إدراج نظرة خاطفة أنابيب في منفذ جهاز لجمع قطرات.
  10. إزالة bubbl الهواءوفاق من الجهاز عن طريق الضغط على النفط والمياه، أو PEG مداخل خليط (الضغط التشغيلي 4 رطل). بدوره على جميع الصمامات. تحويل بالتسلسل من كل صمام في مسار السائل بعد 1 دقيقة أو حتى تعم فقاعات الهواء من خلال الجهاز PDMS. على سبيل المثال، لإزالة فقاعة خلاطات متعرجة، تشغيل صمامات مدخل 1، اخلطي 1 خارجا، والنفايات ميكس. ثم أزال الضغط مدخل 1، مزيج 1 خارجا، والنفايات مزيج حتى تختفي جميع الفقاعات.
  11. عند repressurized الجهاز بعد debubbling، أزال الضغط صمام النفط RO1 ومجموعة ضغط الزيت إلى 10 رطل.
  12. تعيين PEG ضغط خليط إلى 9 رطل، depressure صمامات المنبع (مدخل 1، قطرات 1) وتعديل عند الضرورة لإنتاج قطرات من الحجم المطلوب. حجم القطيرات يمكن تحديد طريق الفحص المجهري باستخدام كاميرا مع 50 إطارا في الثانية أو أعلى.
  13. عندما استقرت قطرات، ضع نقطة 5 مم من مصدر ضوء الأشعة فوق البنفسجية (على سبيل المثال، نظام الأشعة فوق البنفسجية بقعة علاج مع دليل السائل ضوء (LLG) أو الصمام الأشعة فوق البنفسجية تركيزا) على المنطقة البلمرة من دevice وتطبيق 100 ميغاواط / سم 2 للأشعة فوق البنفسجية (365 نانومتر) من مصدر للأشعة فوق البنفسجية.
  14. ضغط حبة غربال صمام لمشاهدة حبات بلمرة جمع والتأكد من قطرات وتصلب في الخرز. ضبط LLG حسب الضرورة لتحقيق البلمرة كاملة.
  15. أزال الضغط حبة غربال صمام وجمع حبات في أنبوب من خلال أنابيب نظرة خاطفة منفذ.

Access restricted. Please log in or start a trial to view this content.

Results

$$\rightleftharpoonup{xx}$$ $$\longleftharp{xx}$$, $$\longrightharp{xx}$$,

هنا، علينا أن نظهر تلفيق المزودة بصمامات، ارتفاع متغير قوالب ميكروفلويديك متعدد الطبقات عن طريق أجهزة قادرة على توليد بولي إيثيلين غليكول (PEG) حبات هيدروجيل من قطرات (الشكل 2). يتم تضمين لمحة عامة عن عملية تلفيق كاملة في الشكل 3. باستخدام عناصر التصميم من الأعمال السابقة، والمزج حبة توظف 4 ارتفاعات في طبقة تدفقه بما في ذلك (1) تقريب صمامات XT AZ50 لتعديل تدفق الصفحي (55 ميكرون) (2) تدفق قنوات ال...

Access restricted. Please log in or start a trial to view this content.

Discussion

$$\rightleftharpoonup{xx}$$ $$\longleftharp{xx}$$, $$\longrightharp{xx}$$,

يوضح هذا العمل بروتوكول ضوئيه متعددة الخطوات الكامل لجهاز ميكروفلويديك متعدد الطبقات مع الصمامات وارتفاع الهندسة المتغيرة التي يمكن ضبطها لأي تطبيق مع تعديلات بسيطة لمعلمات تلفيق استنادا لدينا أداة على الانترنت 26 والشركة المصنعة تعليمات 25. ويهدف هذا البروتوكول إلى إزالة الغموض ضوئيه متعدد الطبقات للباحثين الذين يرغبون في بناء أجهزة ميكروفلويديك وراء قوالب طبقة واحدة بسيطة، السلبي.

Access restricted. Please log in or start a trial to view this content.

Disclosures

$$\rightleftharpoonup{xx}$$ $$\longleftharp{xx}$$, $$\longrightharp{xx}$$,

يعلن المؤلفون أنه ليس لديهم مصالح مالية متنافسة.

Acknowledgements

$$\rightleftharpoonup{xx}$$ $$\longleftharp{xx}$$, $$\longrightharp{xx}$$,

يشكر المؤلفون سكوت لونجويل على التعليقات والتعديلات المفيدة على المخطوطة وروبرت بوتشينيلي للتصوير الفوتوغرافي للأجهزة. يقر المؤلفون بالدعم السخي من منحة تطوير التكنولوجيا في معهد بيكمان. K.B. مدعوم من قبل زمالة NSF GFRP ومكون TLI لجائزة ستانفورد للعلوم السريرية والتحويلية للطيف (NIH TL1 TR 001084). P.F. يعترف بزمالة كلية ماكورميك وغابيلان.

Access restricted. Please log in or start a trial to view this content.

Materials

List of materials used in this article
NameCompanyCatalog NumberComments
أقنعة شفافية <قوية > مواد < / قوية >
مايلر ، 5 "FineLine Plotting
5" ألواح كوارتز المتحدةالسيليكا & nbsp ؛رقائق السيليكون المخصصة
مقاس 4 بوصات ،رقاقة جامعةالاختبارية 452
SU8 2005 ، 2025 ، 2050 مقاومة للضوءMicrochemY111045 ، Y111069 ، Y111072
Az50XT & nbsp ؛المواد الدقيقة المتكاملةAZ50XT-Q
SU8 المطورMicrochemY020100
AZ400K 1: 3 المطورالمواد الدقيقة المتكاملةAZ400K1: 3-CS
Pyrex 150 مم طبق زجاجيSigma-AldrichCLS3140150-1EA
رقاقة بتري ، 150 ممVWR25384-326
ملاقط رقاقة   ؛علوم المجهر الإلكتروني (EMS)78410-2W
ثلاثي الكلورو (1H ، 1H ، 2H ، 2H - بيرفلور أوكتيل) سيلان (PFOTS)Sigma-Aldrich448931-10G
2 "× 3" شرائح زجاجيةتوماس العلمية   ؛6686K20
RTV 615 قاعدة مرنة وعامل علاج مجموعة PDMSMomentive RTV615-1P
Tygon الأنابيب, 0.02" OD فيشر العلمي 14-171-284
أنابيب نظرة خاطفة شعرية ، 510 &# 956 ؛ م OD ، 125 &# 956 ؛ معرفm ZeusCustom360 &# 956; m نظرة خاطفة متاح بسهولة بواسطة Idex (رقم الكتالوج: 1571)
أنبوب Cyro 4 ملGreiner Bio-One127279
الايبوكسي ، 30 دقيقةمعدنية Permatex84107
، 0.025 "OD ، .013" IDNew England Small TubeNE-1310-02
بولي (إيثيلين جلايكول) دياكريلات ، Mn 700Sigma-Aldrich455008-100ML
فينيل الليثيوم (2،4،6-trimethylbenzoyl) فوسفينات الضوئي   ؛شركة طوكيو للصناعات الكيماويةL0290نقوم عادة بتصنيع LAP داخليا.
هيبسسيجما-ألدريتشH4034-25G
زيت معدني خفيفسيجما-ألدريتش330779-1L
سبان-80سيجما-ألدريتش85548
ABIL EM 90UPI Chem420095 
 
name <قوي>الشركة رقم الكتالوجتعليقات
EquipmentEquiptment أو الإعدادات المنزلية ستعمل على قدم المساواة أيضا
Mask AlignerKarl SussMA6
ProfilometerKLA-TencorAlpha-Step D500
Spin CoaterLaurell TechnologiesWS-650-23يمكن استخدام أي مكسر يقبل رقائق 100 مم
الفراغ ، Bell-Jar StyleBel-Art420100000
فرنCole-PalmerWU-52120-02
نظام معالجة البقع بالأشعة فوق البنفسجية مع خيار LLG 3 ممDymax41015مصابيح LED للأشعة فوق البنفسجية ، أو مصابيح زينون القوسية ، أو مصادر الأشعة فوق البنفسجية الأخرى بنفس الكثافة تعمل بالتساوي أيضا
يمكن أيضا استخدام نظام التحكم في السوائل الدقيقة MFCSFluidgentMFCS-EZمضخات الحقن أو الهواء المضغوط المخصص أو أنظمة التحكم الأخرى
برمجة التحكم الآليMATLAB
HotplateTory Pines ScientificHP30أي لوح تسخين مع تسخين موحد (i.< / em > أو ألواح الألمنيوم أو السيراميك) كافية.
من الدرجة دبابيس ، وآلة إزالة

References

$$\rightleftharpoonup{xx}$$ $$\longleftharp{xx}$$, $$\longrightharp{xx}$$,
  1. Duncombe, T. A., Tentori, A. M., Herr, A. E. Microfluidics: reframing biological enquiry. Nat. Rev. Mol. Cell Bio. 16 (9), (2015).
  2. Squires, T. M., Quake, S. R. Microfluidics: Fluid physics at the nanoliter scale. Rev.Mod. Phys. 77 (3), (2005).
  3. Whitesides, G. M. The origins and the future of microfluidics. Nature. 442 (7101), (2006).
  4. Kalisky, T., Blainey, P., Quake, S. R. Genomic Analysis at the Single-Cell Level. Ann. Rev. of Genetics. 45 (1), (2011).
  5. Finkel, N. H., Lou, X., Wang, C., He, L. Peer Reviewed: Barcoding the Microworld. Anal. Chem. 76 (19), (2004).
  6. Lecault, V., White, A. K., Singhal, A., Hansen, C. L. Microfluidic single cell analysis: from promise to practice. Curr. Opin. in Chem. Bio. 16 (3-4), (2012).
  7. White, A. K., Heyries, K. A., Doolin, C., VanInsberghe, M., Hansen, C. L. High-Throughput Microfluidic Single-Cell Digital Polymerase Chain Reaction. Anal. Chem. 85 (15), (2013).
  8. Hansen, C. L., Classen, S., Berger, J. M., Quake, S. R. A Microfluidic Device for Kinetic Optimization of Protein Crystallization and In Situ Structure Determination. J. Am. Chem. Soc. 128 (10), (2006).
  9. Maerkl, S. J., Quake, S. R. A Systems Approach to Measuring the Binding Energy Landscapes of Transcription Factors. Science. 315 (5809), (2007).
  10. Fordyce, P. M., Gerber, D., et al. De novo identification and biophysical characterization of transcription-factor binding sites with microfluidic affinity analysis. Nat. Biotech. 28 (9), (2010).
  11. Fan, R., et al. Integrated barcode chips for rapid, multiplexed analysis of proteins in microliter quantities of blood. Nat. Biotech. 26 (12), (2008).
  12. Kovarik, M. L., Gach, P. C., Ornoff, D. M., Wang, Y. Micro total analysis systems for cell biology and biochemical assays. Anal. Chem. , (2011).
  13. Stroock, A. D., Dertinger, S. K. W., Ajdari, A., Mezić, I., Stone, H. A., Whitesides, G. M. Chaotic Mixer for Microchannels. Science. 295 (5555), 647-651 (2002).
  14. Unger, M. A., Chou, H. -P., Thorsen, T., Scherer, A., Quake, S. R. Monolithic Microfabricated Valves and Pumps by Multilayer Soft Lithography. Science. 288 (5463), 113-116 (2000).
  15. Thorsen, T., Maerkl, S. J., Quake, S. R. Microfluidic Large-Scale Integration. Science. 298 (5593), (2002).
  16. Li, N., Sip, C., Folch, A. Microfluidic Chips Controlled with Elastomeric Microvalve Arrays. JoVE. (8), e296(2007).
  17. Kim, P., et al. Soft lithography for microfluidics: a review. Biochip. J. 2 (1), 1-11 (2008).
  18. Studer, V., Hang, G., Pandolfi, A., Ortiz, M., Anderson, W. F., Quake, S. R. Scaling properties of a low-actuation pressure microfluidic valve. J. Appl. Phys. 95 (1), 393-398 (2004).
  19. Kartalov, E. P., Scherer, A., Quake, S. R., Taylor, C. R., Anderson, W. F. Experimentally validated quantitative linear model for the device physics of elastomeric microfluidic valves. J. Appl. Phys. 101 (6), 064505(2007).
  20. Gerver, R. E., Gómez-Sjöberg, R., et al. Programmable microfluidic synthesis of spectrally encoded microspheres. Lab. Chip. 12 (22), 4716-4723 (2012).
  21. Fordyce, P. M., Diaz-Botia, C. A., DeRisi, J. L., Gómez-Sjöberg, R. Systematic characterization of feature dimensions and closing pressures for microfluidic valves produced via photoresist reflow. Lab. Chip. 12 (21), 4287-4295 (2012).
  22. Li, C. -W., Cheung, C. N., Yang, J., Tzang, C. H., Yang, M. PDMS-based microfluidic device with multi-height structures fabricated by single-step photolithography using printed circuit board as masters. The Analyst. 128 (9), 1137-1142 (2003).
  23. Romanowsky, M. B., Abate, A. R., Rotem, A., Holtze, C., Weitz, D. A. High throughput production of single core double emulsions in a parallelized microfluidic device. Lab. Chip. 12 (4), 802-807 (2012).
  24. Mata, A., Fleischman, A. J., Roy, S. Fabrication of multi-layer SU-8 microstructures. JMM. 16 (2), 276(2006).
  25. Microchem. SU-8 2000 Series Data Sheet. , Microchem. Available from: http://www.microchem.com/pdf/SU-82000DataSheet2025thru2075Ver4.pdf (2016).
  26. Fordyce, P. M., DeRisi, J. L., Gómez-Sjöberg, R. AZ50 XT Feature Height Calculator. , Available from: http://derisilab.ucsf.edu/software/AZ50XT/AZ50XTToolInput.html (2016).
  27. Foundry, S. M. Stanford Microfluidics Foundry Website. , Available from: > http://web.stanford.edu/group/foundry/Microfluidic%20valve%20technology.html (2016).
  28. Sjöberg, R. Rafael's Microfluidics Site. , Available from: https://sites.google.com/site/rafaelsmicrofluidicspage/valve-controllers (2016).
  29. Wanat, S., Plass, R., Sison, E., Zhuang, H., Lu, P. -H. Optimized Thick Film Processing for Bumping Layers. Proc. SPIE. , 1281-1288 (2003).

Access restricted. Please log in or start a trial to view this content.

Reprints and Permissions

Request permission to reuse the text or figures of this JoVE article

Request Permission

Tags

Multi step PhotolithographyVariable Height FeaturesMicrofluidic Master MoldsOn chip ValvesSU 8 PhotoresistUV Mask AlignmentPDMS Device FabricationHydrogel Bead SynthesisFlow Control SystemDevice Alignment

Related Articles