مقالة منهجية

تصنيع حزام تقسيم دوائر الرنين عمود نانوي القائم على النزوح الحالي الرنين وساطة في تيراهيرتز يتعلق بما وارء

DOI:

10.3791/55289

⸱

مارس 23, 2017

 ,  ,  , 
1Department of Electrical and Computer Engineering, University of Minnesota

في هذه المقالة

ملخص

$$\rightleftharpoonup{xx}$$ $$\longleftharp{xx}$$, $$\longrightharp{xx}$$,

ويرد بروتوكول لتصميم وتصنيع القائم على عمود نانوي رواية انقسام عصابة مرنان (SRR).

الملخص

$$\rightleftharpoonup{xx}$$ $$\longleftharp{xx}$$, $$\longrightharp{xx}$$,

تيراهيرتز (THZ) انقسام عصابة مرنان (SRR) يتعلق بما وارء (MMS) وقد درس للغاز، والكيميائية، وتطبيقات الاستشعار البيولوجية الجزيئية للا يتأثر SRR حسب الخصائص البيئية مثل درجة الحرارة والضغط المحيطة مرنان. الإشعاع الكهرومغناطيسي في الترددات THz للهو حيويا، وهو حالة حرجة خاصة لتطبيق الاستشعار الجزيئية البيولوجية. ومع ذلك، فإن عامل الجودة (Q-عامل) والاستجابات تردد من الأغشية الرقيقة التقليدية القائمة مرنان انقسام حلقة (SRR) رسائل الوسائط المتعددة منخفضة جدا، مما يحد من الحساسيات والانتقائية أجهزة الاستشعار. في هذا العمل، والرواية الطبيون SRR القائم على عمود نانوي، وذلك باستخدام النزوح الحالية، تهدف إلى تعزيز Q-عامل يصل إلى 450، وهو أعلى بحوالي 45 مرة من أن من الرسائل المتعددة الوسائط التقليدية القائمة الأغشية الرقيقة. بالإضافة إلى تعزيز Q-عامل، رسائل الوسائط المتعددة القائمة على عمود نانوي لحث على التحولات تردد أكبر (17 مرات مقابل التحول التي حصلت عليها التقليدآل الطبيون على أساس الأغشية الرقيقة). بسبب تعزز إلى حد كبير Q-العوامل والتحولات تردد فضلا عن خاصية الإشعاع حيويا، وTHz للSRR القائم على عمود نانوي هم الطبيون مثالية لتطوير أجهزة الاستشعار البيولوجية الجزيئية مع حساسية عالية والانتقائية دون إحداث ضرر أو تشويه لالحيوية. وقد تجلى عملية تلفيق جديدة لبناء الممثلين شبه الإقليميين القائم على عمود نانوي لالطبيون THz للالنزوح الحالية التي تتوسط فيها. وتستخدم (الاتحاد الافريقي) عملية الطلاء الكهربائي من خطوتين الذهب وعملية الذري طبقة ترسب (محددة المدة) لإنشاء الثغرات 10 الفرعي نانومتر واسعة النطاق بين عمود نانوي الاتحاد الافريقي. منذ عملية محددة المدة هي عملية طلاء امتثالي، أكسيد الألومنيوم موحد (آل 2 يا 3) طبقة بسماكة نانومتر النطاق يمكن تحقيقه. بواسطة الكهربائي بالتتابع رقيقة الاتحاد الافريقي آخر لملء الفراغات بين آل 2 يا 3 والاتحاد الافريقي، ومعبأة قريبة الاتحاد الافريقي آل 2 يا 3 -Au هيكل مع نانو النطاق آل 2 يا 3 ثغرات يمكن أن يكونملفقة. حجم النانو ثغرات يمكن تعريف بشكل جيد عن طريق التحكم بدقة دورات ترسب عملية محددة المدة، التي لديها دقة 0.1 نانومتر.

المقدمة

$$\rightleftharpoonup{xx}$$ $$\longleftharp{xx}$$, $$\longrightharp{xx}$$,

وقد وضعت تيراهيرتز (THZ) يتعلق بما وارء (MMS) لأجهزة الاستشعار الطبية الحيوية والأجهزة 1، 2، 3، 4، 5، 6، 7، 8، 9، 10، 11 التردد رشيقة. من أجل تحسين حساسية وتردد انتقائية THz للأجهزة الاستشعار MM، وقد تم تصميم القائم على عمود نانوي انقسام عصابة مرنان (SRR) باستخدام النزوح الحالية ولدت داخل الذهب (الاتحاد الافريقي) صفائف عمود نانوي لإثارة الأصداء THz للمع العوامل فائقة الجودة ( Q-العوامل) (~ 450) (الشكل 1) 12. على الرغم من الممثلين شبه الإقليميين القائم على عمود نانوي تظهر العالية العوامل س وقدرات الاستشعار واعدة، تلفيق مثل nanostructurوفاق مع نسب عالية (أكثر من 40) والثغرات نانو النطاق (دون 10 نانومتر) على مساحة واسعة لا تزال صعبة (13).

هذه التقنية الأكثر استخداما لصنع هياكل نانو النطاق هي شعاع الإلكترون الطباعة الحجرية (EBL) 14، 15، 16، 17. ومع ذلك، فإن قرار EBL لا يزال محدودا نظرا لحجم شعاع بقعة، نثر الإلكترون، خصائص مقاومة، وعملية التنمية 18 و 19. وبالإضافة إلى ذلك، فإنه ليس من العملي لافتعال النانو باستخدام EBL على مساحة واسعة نظرا لوقت العملية بطيئة وتكاليف عملية كبيرة 20. استراتيجية أخرى لتحقيق النانو هو استخدام تقنية التجميع الذاتي 21 و 22. بواسطة nanocubes المعادن الذاتي تجميع (البلاغات) في حل وUTILتشغيلها على التفاعل كهرباء ورابطة بروابط البوليمر بين البلاغات، منظمة تنظيما جيدا مجموعة NC-الأبعاد واحد مع وجود ثغرات نانو النطاق يمكن أن يتحقق 23. حجم النانو الفجوة يعتمد على بروابط البوليمر بين البلاغات ويمكن التحكم من خلال تطبيق مواد البوليمر مختلفة مع مختلف الأوزان الجزيئية 24، 25، 26. هو التجميع الذاتي تقنية قوية لتحقيق النانو متدرجة وفعالة من حيث التكلفة 23. ومع ذلك، فإن عملية تصنيع أكثر تعقيدا بالمقارنة مع العمليات الصغيرة والمتناهية الصغر تلفيق التقليدية، والتحكم في أحجام نانو الفجوة ليست دقيقة بما فيه الكفاية لتطبيقات الأجهزة الإلكترونية. من أجل افتعال الممثلين شبه الإقليميين القائم على عمود نانوي بنجاح، يجب أن اخترع طريقة تلفيق رواية لتحقيق الأهداف التالية: أ) عملية تلفيق سهلة لتطبيق وغير متوافقة مع اتفاقيةالصغيرة والمتناهية الصغر تلفيق عمليات القاعدة، ب) تلفيق على مساحة واسعة للتطبيق. ج) الأحجام نانو الفجوة يمكن السيطرة عليها بسهولة، وعلى وجه التحديد مع قرار 0.1 نانومتر، ويمكن زيادتها الى 10 نانومتر أو أقل.

ويتجلى أسلوب تلفيق رواية باستخدام مزيج من عملية الطلاء الكهربائي وعملية ذرية طبقة ترسب (محددة المدة) لافتعال الممثلين شبه الإقليميين القائم على عمود نانوي. منذ الكهربائي هو عملية ملء النفس مع انخفاض التكلفة، فمن السهل أن تصنيع الهياكل على مساحة واسعة. ALD هو عملية ترسيب الأبخرة الكيميائية (الأمراض القلبية الوعائية) والتي يمكن التحكم بدقة من قبل دورة رد فعل أثناء العملية. حل رقيقة محددة المدة يمكن أن يكون 0.1 نانومتر، ورقيقة وهي مغلفة بشكل موحد مع جودة عالية، والذي هو مناسبة لخلق نانو النطاق الثغرات 27 و 28. القائم على عمود نانوي مجموعة SRR مع 10 نانومتر الثغرات أو أقل يمكن أن تكون ملفقة بنجاح على مساحة 6 مم × 6 مم. كل من لياليتظهر imulated وقياس أطياف نقل THz للسلوكيات الرنانة مع Q-العوامل والتحولات تردد كبيرة عالية جدا، وهو ما يثبت جدوى من الممثلين شبه الإقليميين القائم على عمود نانوي بوساطة النزوح الحالية. يتم وصف عملية تصنيع مفصلة أدناه في قسم البروتوكول، وبروتوكول الفيديو يمكن أن تساعد الممارسين لفهم عملية التصنيع وتجنب الأخطاء الشائعة المرتبطة تلفيق من الممثلين شبه الإقليميين القائم على عمود نانوي.

الوصول مقيد. يرجى تسجيل الدخول أو بدء فترة تجريبية لعرض هذا المحتوى.

البروتوكول

$$\rightleftharpoonup{xx}$$ $$\longleftharp{xx}$$, $$\longrightharp{xx}$$,

تحذير: العديد من المواد الكيميائية المستخدمة في هذه التوليفات سامة أو قابلة للاشتعال للغاية، ويمكن أن يسبب تهيج وتلف الجهاز شديد عند لمسها أو استنشاقها. يرجى ارتداء معدات الوقاية الشخصية المناسبة (PPE) عند التعامل مع.

1. إعداد الطبقة الأولى من الذهب (الاتحاد الافريقي) عمود نانوي صالحة (الشكل 2A-ج و2E الشكل-ز)

  1. إعداد النحاس (النحاس) طبقات البذور ل Au الكهربائي (الشكل 2A، B و 2E الشكل، و)
    1. استخدام 4 "مقاومة عالية السيليكون (سي) رقاقة (المقاومة: 560-840 Ω · سم) والركيزة وسي ويفر هو N-نوع مخدر ومصقول على جانب واحد (الشكل 2A، ه).
    2. قطع سي ويفر إلى 2 سم × 2.5 سم قطعة لاستخدامها لاحقا.
    3. إيداع طبقة 5 نانومتر الكروم (الكروم) على عينة سي باستخدام شعاع الإلكترون (E-شعاع) عملية التبخر باعتبارها طبقة التصاق بين سي والنحاس.
    4. إيداع النحاس طبقة 10 نانومتر على الجزء العلوي من طبقة الكروم الموجودة باستخدامشعاع E عملية التبخر والطبقة البذور ل Au الكهربائي (الشكل 2B، و).
  2. الطلاء الكهربائي للعمود نانوي مجموعة الاتحاد الافريقي (الشكل 2C، ز)
    1. الزخرفة مجموعة عمود نانوي
      1. تدور معطف مقاوم الضوء على عينة أعدت في القسم 1.1 في 2000 دورة في الدقيقة لمدة 60 ثانية.
      2. خبز العينة على طبق ساخن عند 115 درجة مئوية لمدة 60 ثانية.
      3. كشف مقاومة للضوء تحت الأشعة فوق البنفسجية (UV) خفيفة (قوة ~ 15 ميغاواط / سم 2) مع الضوئية الرئيسية الكروم التي تحتوي على الآلاف من أنماط عمود نانوي لمدة 22 ثانية.
      4. تطوير مع المطور لمدة 90 ق مع الإثارة.
      5. شطف العينة مع منزوع الأيونات الماء (DI) ومجففا للعينة مع بندقية الهواء.
    2. الطلاء الكهربائي للعمود نانوي مجموعة الاتحاد الافريقي
      1. إزالة القسم العلوي من مقاوم الضوء على عينة مع الأسيتون لفضح طبقة البذور النحاس للاتصال الكهربائي.
      2. ربط سامسبيل (طبقة البذور النحاس) إلى الطرف السالب من المتر المصدر باستخدام المشبك والأسلاك. في هذه الحالة، تكون العينة الأنود خلال عملية الطلاء الكهربائي.
      3. ربط قطعة من البلاتين (حزب العمال) المغلفة سي (نفس حجم العينة) إلى الطرف الموجب للمتر المصدر. وحزب العمال هو القطب السالب خلال عملية الطلاء الكهربائي.
      4. غمر كل من القطب السالب حزب العمال والنحاس القطب الموجب في حل الكهربائي الاتحاد الافريقي. الحفاظ على القطبين في مواجهة بعضهما البعض بمسافة ~ 1 سم.
      5. تشغيل متر المصدر وتوفير الجهد المستمر 1.12 خامسا بالكهرباء الاتحاد الافريقي على العينة لمدة 8 دقائق (معدل الترسيب: ~ 100 نانومتر / دقيقة).
      6. شطف العينة مع الماء DI، تليها الأسيتون لإزالة مقاومة للضوء.
      7. شطف العينة مع الماء DI مرة أخرى وضربة الجافة مع بندقية الهواء.
      8. تفقد مطلي الاتحاد الافريقي عمود نانوي مجموعة تحت المجهر.
      9. قياس سمك عمود نانوي الاتحاد الافريقي مع profilometer (سمكعمود نانوي او غير ~ 800 نانومتر).
        ملاحظة: يمكن أيضا ثابت الحالي مجموعة المتابعة أن تستخدم لبالكهرباء عمود نانوي الاتحاد الافريقي. في كل الجهد المستمر ومستمرة التكوينات الراهنة، ومثالية الجهد الحالي وتستخدم ل Au الكهربائي يمكن أن يتحقق عن طريق التجربة والخطأ.

2. إنشاء نانو الفجوات بين الاتحاد الافريقي عمود نانوي (الشكل 2D، ح)

  1. إزالة الكروم والنحاس طبقات
    1. غمر العينة في النحاس منمش حتى يختفي اللون النحاس.
    2. شطف العينة بالماء DI وضربة الجافة مع بندقية الهواء.
    3. تفقد عمود نانوي الاتحاد الافريقي تحت المجهر.
    4. غمر العينة في الكروم قناع منمش لمدة 10 ثانية.
    5. شطف العينة بالماء DI وضربة الجافة مع بندقية الهواء.
    6. تفقد عمود نانوي الاتحاد الافريقي تحت المجهر.
  2. تصنيع أكسيد الألومنيوم نانو النطاق (آل 2 يا 3) الثغرات
    1. تسخين شام نظام ALDالبر إلى 200 درجة مئوية.
    2. وضع العينة في وسط الغرفة.
    3. ضخ أسفل غرفة إلى فراغ وتعيين عدد دورة إلى 100 (معدل الترسيب: ~ 1 A / دورة).
    4. بالتتابع وبدلا من ذلك النبض ثلاثي ميثيل ألومنيوم (TMA) الغاز مع فترة زمنية من 0.015 الصورة والماء (H 2 O) بخار مع فترة زمنية من 0.015 الصورة في غرفة لإيداع موحد آل 2 يا 3 طبقات على العينة. الفجوة الزمنية بين كل نبضة هو 5 ثوان. وضغط الغرفة خلال نبض TMA 10 عربة والضغط أثناء H 2 O بخار النبض هو 2 عربة.
    5. تطهير وفراغ الغرفة بين كل دورة من ترسب. إيداع آل 2 يا 3 لمدة 100 دورات وإخراج عينة من الغرفة.
    6. قياس سماكة محددة المدة آل 2 يا 3 باستخدام ellipsometer.

3. إعداد الطبقة الثانية من الاتحاد الافريقي رقيقة (الشكل 2I-لتر والشكل 2M-ع)

  1. إعداد طبقات البذور النحاس ل Au الكهربائي (الشكل 2I، م)
    1. وضع العينة في وسط لصاحب العينة المبخر شعاع E.
    2. إيقاف دوران العينة في المبخر شعاع E.
    3. إيداع الكروم طبقة 5 نانومتر على العينة ليكون بمثابة طبقة التصاق بين آل 2 يا 3 والنحاس. استخدام عملية التبخر شعاع E دون دوران العينة.
    4. إيداع 10 نانومتر النحاس في أعلى طبقة الكروم القائمة باستخدام عملية التبخر شعاع E دون دوران عينة كطبقة البذور ل Au الكهربائي.
  2. الكهربائي الفيلم الاتحاد الافريقي رقيقة (الشكل 2J، ن)
    1. ربط العينة (طبقة البذور النحاس) إلى السالب للمتر المصدر باستخدام المشبك والأسلاك. في هذه الحالة، تكون العينة الأنود خلال عملية الطلاء الكهربائي.
    2. توصيل القطب السالب حزب العمال إلى الطرف الموجب للمتر المصدر.
    3. غمر كل من القطب السالب حزب العمال والنحاس انوده في حل الكهربائي الاتحاد الافريقي. الحفاظ على القطبين في مواجهة بعضهما البعض بمسافة ~ 1 سم.
    4. تشغيل متر المصدر وانشاء الجهد المستمر من 1.35 V وبالكهرباء الاتحاد الافريقي على العينة لمدة 16 دقيقة.
    5. شطف العينة بالماء DI وضربة الجافة مع بندقية الهواء.
    6. تفقد الاتحاد الافريقي مطلي ومطلي سابقا الاتحاد الافريقي عمود نانوي مجموعة تحت المجهر.
    7. قياس سمك عمود نانوي الاتحاد الافريقي مع profilometer (سمك عمود نانوي الاتحاد الافريقي هو ~ 400 نانومتر).
      ملاحظة: على غرار الكهربائي الاتحاد الافريقي في القسم 1.2.2، ثابت الحالي مجموعة المتابعة يمكن أن تستخدم أيضا لبالكهرباء الاتحاد الافريقي رقيقة. في كل الجهد المستمر ومستمرة التكوينات الراهنة، ومثالية الجهد الحالي وتستخدم ل Au الكهربائي يمكن أن يتحقق عن طريق التجربة والخطأ.
  3. إزالة الكروم والنحاس طبقات (الشكل 2K، س)
    1. غمر العينة في النحاس منمش لمدة 10 ثانية.
    2. شطف العينة مع DI والماءد ضربة الجافة مع بندقية الهواء.
    3. تفقد عمود نانوي الاتحاد الافريقي تحت المجهر.
    4. غمر العينة في الكروم قناع منمش لمدة 10 ثانية.
    5. شطف العينة بالماء DI وضربة الجافة مع بندقية الهواء.
    6. تفقد عمود نانوي الاتحاد الافريقي تحت المجهر.
      ملاحظة: بدلا من ذلك، غمر العينة في الاتحاد الافريقي حل الكهربائي مرة أخرى لإيداع طبقة إضافية من الاتحاد الافريقي في أعلى طبقة الاتحاد الافريقي مطلي الثانية بعد إزالة الكروم والنحاس (الخطوة 3.3). هذه الطبقة الاتحاد الافريقي إضافية تزيد من سمك الكلي للطبقة الثانية للاتحاد ويضمن اتصال جيد بين طبقة الاتحاد الافريقي وطبقة آل 2 يا 3 (الشكل 2I، ع).

4. تعريف C-شكل SRR (الشكل 2Q-الصورة والشكل، 2U ث)

  1. الزخرفة على SRR C-الشكل (الشكل 2Q، ش)
    1. تدور معطف مقاوم الضوء على العينة في 2000 دورة في الدقيقة لمدة 60 ثانية.
    2. خبز العينة على طبق ساخن من 115 درجة مئوية لمدة 60 ثانية.
      3. كشف مقاومة للضوء تحت ضوء الأشعة فوق البنفسجية (قوة ~ 15 ميغاواط / سم 2) مع الضوئية الرئيسية الكروم لمدة 22 ثانية.
    3. تطوير مع المطور لمدة 90 ق مع الإثارة.
    4. شطف العينة بالماء DI ومجففا للعينة مع بندقية الهواء.
  2. تعريف C-الشكل باستخدام طاحونة أيون (الشكل 2R، والخامس والشكل 2S، ث)
    1. إرفاق العينة على صاحب العينة ايون مطحنة باستخدام النحاس الشريط موصل على الوجهين.
    2. تهدئة غرفة ايون مطحنة إلى 6 درجات مئوية.
    3. ايون طاحونة العينة مع الجهد شعاع من 300 V وشعاع الحالية من 125 مللي أمبير ل~ 30 دقيقة.
    4. إخراج عينة وفحص عمود نانوي الاتحاد الافريقي خارج C-الشكل.
    5. كرر الخطوة 4.2.3 و4.2.4 إذا الاتحاد الافريقي لا تزال واضحة خارج C-الشكل.
    6. يصوتن العينة في الأسيتون لإزالة مقاومة للضوء.
    7. شطف العينة بالماء DI وضربة الجافة مع بندقية الهواء.
    8. تفقد العينة تحت المجهر.
    9. كرر الخطوة 4.2.6 و 4.2.7 إذا لم يتم إزالة مقاومة للضوء بشكل كامل.
      ملاحظة: بدلا من ذلك، وتطبيق الأوكسجين مقاومة تليين خطوات لمقاومة للضوء قبل إزالة مقاومة للضوء. ومع ذلك، حمام صوتنة هو الأسلوب الأكثر فعالية لإزالة مقاومة للضوء إذا كان ذلك ممكنا.

5. إزالة آل 2 يا 3 للطيران نانو الثغرات (الشكل 2T، خ)

  1. غمر العينة في 5٪ محلول فلوريد الهيدروجين (HF) لمدة 5 دقائق لإزالة آل 2 يا 3.
  2. شطف العينة بالماء DI وضربة الجافة مع بندقية الهواء.

الوصول مقيد. يرجى تسجيل الدخول أو بدء فترة تجريبية لعرض هذا المحتوى.

النتائج

$$\rightleftharpoonup{xx}$$ $$\longleftharp{xx}$$, $$\longrightharp{xx}$$,

تظهر مخططات تصنيع كل خطوة (الشكل 2A-خ). وقد تم جمع الصور الضوئية (الشكل 2Y-ميلان) والمجهر الإلكتروني الماسح (SEM) وصور (الشكل 2ad-AG) للالممثلين شبه الإقليميين القائم على عمود نانوي في خطوات تصنيع مختلفة. الرسوم المتحركة (الشكل 2A-ج) توضح الطبقة الأولى من عمود نانوي الاتحاد الافريقي مطلي والطبقة الثانية من الأفلام الاتحاد الافريقي مطلي فضلا عن الثغرات-نانو خلق بينهما. ويبين

الوصول مقيد. يرجى تسجيل الدخول أو بدء فترة تجريبية لعرض هذا المحتوى.

المناقشة

$$\rightleftharpoonup{xx}$$ $$\longleftharp{xx}$$, $$\longrightharp{xx}$$,

هذه التقنية تلفيق لها مزايا كبيرة لإنشاء هياكل نانو النطاق على الطرق القائمة، مثل الطباعة الحجرية E-الحزم والتجميع الذاتي. أولا، وهياكل نانو النطاق يمكن أن تتحقق على مساحة واسعة (على رقاقة بأكمله) باستخدام الضوئية الرئيسية التي يتميز صفائف عمود نانوي، وهي ليست عملية مع عملية الطباعة الحجرية شعاع E. ثانيا، تستخدم عملية تلفيق عملية التقليدية على نطاق ورقاقة صغيرة تلفيق، وهو أسرع بكثير وأبسط، وأقل تكلفة مقارنة E-شعاع الطباعة الحجرية. ثالثا، نانو الثغرات المستوى الذري يمكن أن تنشأ بسه...

الوصول مقيد. يرجى تسجيل الدخول أو بدء فترة تجريبية لعرض هذا المحتوى.

الإفصاحات

$$\rightleftharpoonup{xx}$$ $$\longleftharp{xx}$$, $$\longrightharp{xx}$$,

الكتاب ليس لديهم ما يكشف.

شكر وتقدير

$$\rightleftharpoonup{xx}$$ $$\longleftharp{xx}$$, $$\longrightharp{xx}$$,

وتستند هذه المواد على العمل بدعم من صندوق البدء في جامعة مينيسوتا، والمدن التوأم. نفذت أجزاء من هذا العمل في مرفق توصيف، جامعة مينيسوتا، وهو عضو في المواد أبحاث شبكة المرافق تمول NSF (www.mrfn.org) عن طريق برنامج MRSEC. ونفذ جزء من هذا العمل أيضا في مركز مينيسوتا نانو التي تتلقى دعما جزئيا من جبهة الخلاص الوطني من خلال برنامج NNCI.

الوصول مقيد. يرجى تسجيل الدخول أو بدء فترة تجريبية لعرض هذا المحتوى.

المواد

قائمة المواد المستخدمة في هذه المقالة
الاسمالشركةرقم فهرسيالتعليقات
رقاقة السيليكونSiltronic AGN / Aقطر 100 مم ، نوع N ، تلميع من جانب واحد ، مقاومة المرونة: 560-840 & أوميغا ؛ & شركة سم
الكرومKurt J. LeskerEVMCR35J99.95٪
من النحاسشركة Kurt J. LeskerEVMCU40QXQJ99.99٪
نظام مبخر E-Beamالنقي Rocky Mountain Vacuum Tech.N / ARME-2000
S1813 Positive PhotoresistMicroposit10018348N / A
Spinnerأفضل الأدواتS0114031123SMART COATER 100
Mask AlignerMidasMDA-400LJN / A
لوحة تسخين رقميةThermo ScientificHP131725سلسلة Super-Nuvoa ، درجة الحرارة القصوى: 370 درجة ؛ C
MF319 DeveloperMicroposit10018042N / A
AcetoneFisher ChemicalA18P-4N / A
Isopropyl AlcoholFisher ChemicalA416-4N / A
Gold 25 ES RTUTechnic Inc.391427N / A
مقياس المصدرKeithleyN / A2612 System SourceMeter
MicroscopeOmaxNJF-120AN / A
ProfilometerTencor InstrumentsN / AAlpha-Step 200
APS Copper Etchant 100Transfene Company، Inc.N / AN / A
CE-5 M قناع الكروم EtchantTransfene Company، Inc.N / AN /
A نظام ترسيب الطبقة الذريةCambridge Nano Tech Inc.N / Aسلسلة سافانا
أيون مطحنة النقش نظامIntlvac فيلم رقيقN / Aسلسلة Nanoquest
بالموجات فوقالأنظف قمة الموجات فوق الصوتيةN / Aسلسلة Powersonic
حمض الهيدروفلوريكسيجما ألدريتش244279مخفف إلى 5 ٪
مسدس انبعاث ميداني مسح مجهر إلكترونيJeol Ltd.سلسلة N / AJEOL 6700
النقي الصوتية

المراجع

$$\rightleftharpoonup{xx}$$ $$\longleftharp{xx}$$, $$\longrightharp{xx}$$,
  1. Xu, X., et al. Flexible visible-infrared metamaterials and their applications in highly sensitive chemical and biological sensing. Nano Lett. 11 (8), 3232-3238 (2011).
  2. Singh, R., Cao, W., Al-Naib, I., Cong, L., Withayachumnankul, W., Zhang, W. Ultrasensitive terahertz sensing with high-Q Fano resonances in metasurfaces. Appl. Phys. Lett. 105 (17), 171101(2014).
  3. Torun, H., Top, F. C., Dundar, G., Yalcinkaya, A. An antenna-coupled split-ring resonator for biosensing. J. Appl. Phys. 116 (12), 124701(2014).
  4. Chen, T., Li, S., Sun, H. Metamaterials application in sensing. Sensors. 12 (3), 2742-2765 (2012).
  5. Jaruwongrungsee, K., et al. Microfluidic-based Split-Ring-Resonator Sensor for Real-time and Label-free Biosensing. Procedia Eng. 120, 163-166 (2015).
  6. Han, J., Lakhtakia, A. Semiconductor split-ring resonators for thermally tunable terahertz metamaterials. J. Mod. Optic. 56 (4), 554-557 (2009).
  7. Melik, R., Unal, E., Perkgoz, N. K., Puttlitz, C., Demir, H. V. Flexible metamaterials for wireless strain sensing. Appl. Phys. Lett. 95 (18), 181105(2009).
  8. Naqui, J., Durán-Sindreu, M., Martín, F. Alignment and position sensors based on split ring resonators. Sensors. 12 (9), 11790-11797 (2012).
  9. Chiam, S., Singh, R., Gu, J., Han, J., Zhang, W., Bettiol, A. A. Increased frequency shifts in high aspect ratio terahertz split ring resonators. Appl. Phys. Lett. 94 (6), 064102(2009).
  10. Gil, I., et al. Varactor-loaded split ring resonators for tunable notch filters at microwave frequencies. Electron. Lett. 40 (21), 1347-1348 (2004).
  11. Driscoll, T., et al. Tuned permeability in terahertz split-ring resonators for devices and sensors. Appl. Phys. Lett. 91 (6), 062511(2007).
  12. Liu, C., et al. Displacement Current Mediated Resonances in Terahertz Metamaterials. Adv. Opt. Mater. 4 (8), 1302-1309 (2016).
  13. Huang, M., Zhao, F., Cheng, Y., Xu, N., Xu, Z. Large area uniform nanostructures fabricated by direct femtosecond laser ablation. Opt. Express. 16 (23), 19354-19365 (2008).
  14. Broers, A., Molzen, W., Cuomo, J., Wittels, N. Electron-beam fabrication of 80-Å metal structures. Appl. Phys. Lett. 29 (9), 596-598 (1976).
  15. Isaacson, M., Muray, A. Insitu vaporization of very low molecular weight resists using 1/2 nm diameter electron beams. J. Vac. Sci. Technol. 19 (4), 1117-1120 (1981).
  16. Yang, J. K., et al. Understanding of hydrogen silsesquioxane electron resist for sub-5-nm-half-pitch lithography. J. Vac. Sci. Technol. B. 27 (6), 2622-2627 (2009).
  17. Duan, H., Yang, J. K., Berggren, K. K. Controlled Collapse of High-Aspect-Ratio Nanostructures. Small. 7 (18), 2661-2668 (2011).
  18. Cord, B., et al. Limiting factors in sub-10nm scanning-electron-beam lithography. J. Vac. Sci. Technol. B. 27 (6), 2616-2621 (2009).
  19. Manfrinato, V. R., et al. Resolution limits of electron-beam lithography toward the atomic scale. Nano Lett. 13 (4), 1555-1558 (2013).
  20. Ashraf, M., Sreenath, A., Chollet, F. Low-cost mould for nano-imprinting uses monolayer of self-organized nanospheres. SPIE Newsroom. , (2007).
  21. Hu, T., Gao, Y., Wang, Z., Tang, Z. One-dimensional self-assembly of inorganic nanoparticles. Front. Phys. China. 4, 487-496 (2009).
  22. Kitching, H., Shiers, M. J., Kenyon, A. J., Parkin, I. P. Self-assembly of metallic nanoparticles into one dimensional arrays. J. Mater. Chem. A. 1 (24), 6985-6999 (2013).
  23. Klinkova, A., et al. Structural and optical properties of self-assembled chains of plasmonic nanocubes. Nano Lett. 14 (11), 6314-6321 (2014).
  24. Caswell, K., Wilson, J. N., Bunz, U. H., Murphy, C. J. Preferential end-to-end assembly of gold nanorods by biotin-streptavidin connectors. J. Am. Chem. Soc. 125 (46), 13914-13915 (2003).
  25. Liu, K., et al. Step-growth polymerization of inorganic nanoparticles. Science. 329 (5988), 197-200 (2010).
  26. Nie, Z., Fava, D., Kumacheva, E., Zou, S., Walker, G. C., Rubinstein, M. Self-assembly of metal-polymer analogues of amphiphilic triblock copolymers. Nat. Mater. 6 (8), 609-614 (2007).
  27. Chen, X., et al. Atomic layer lithography of wafer-scale nanogap arrays for extreme confinement of electromagnetic waves. Nat. Commun. 4 (2361), (2013).
  28. Nam, S., et al. Sub-10-nm nanochannels by self-sealing and self-limiting atomic layer deposition. Nano Lett. 10 (9), 3324-3329 (2010).

الوصول مقيد. يرجى تسجيل الدخول أو بدء فترة تجريبية لعرض هذا المحتوى.

إعادة الطباعة والأذونات

طلب إذن لإعادة استخدام النص أو الأشكال في مقالة JoVE هذه

طلب إذن

الوسوم

Displacement Current ResonancesGold ElectroplatingAtomic Layer DepositionNanoscale GapsQuality Factor EnhancementFrequency Shift TuningScanning Electron MicroscopyPhotolithography Ion Milling

مقالات ذات صلة