$$\rightleftharpoonup{xx}$$
$$\longleftharp{xx}$$,
$$\longrightharp{xx}$$,
ويتضح نتيجة لعملية التصنيع المذكورة في البندين 1 و 2 من الصور الشكل 1A-1B ومنحني الشكل 1. جدول رقم 1 يعرض قيم خشونة مختلفة الممثل مجالين رقاقة PDMS، أي في الوسط والدائرة الوسيطة التالية عالية 20 ميكرومتر. قد حصل انخفاض في خشونة بمقدار حوالي 7 باستخدام محفوراً ويفر سي بدلاً من سو-8 مقاوم الضوء. ثم طبق FXm أولاً على مجموعة شريطية مقاوم الضوء الهندسة المعروفة (الشكل 2A) داخل دائرة عالية 10 ميكرون. بعد معالجة الصورة وكثافة لتحويل الارتفاع (انظر الرسم البياني رقم2 باء)، الملامح FXm المنجز في المقاطع العرضية على طول هذا الشريط (الشكل 2) توفر لمحات الارتفاع المطلوب (الشكل 2D). ويبين الشكل 2D المقارنة بين ملفات التعريف التي تم الحصول عليها باستخدام بروفيلوميتري الميكانيكية وأساليب FXm. ملفات التعريف هذه، بما في ذلك قيمة الحافة والهضبة، متشابهة جداً، التحقق من صحة الأسلوب. ملاحظة أن بعثرة البيانات FXm لا يمثل الحل النهائي للأسلوب، تقييم كما في الشكل 3 و رقم 4، ولكن استخدمت النتائج من كثافة منخفضة لتجنب التأثيرات ممكنة لضعيف جداً السيارات-الأسفار من مقاوم الضوء في قناة التجارة والنقل.
بعد ذلك، لاحظنا نيوريتيس في 3 ميكرومتر و 10 ميكرون عالية الدوائر (الشكل 3). هو الانحراف المعياري للضوضاء الخلفية حوالي 18 شمال البحر الأبيض المتوسط بعد كثافة لتصحيح التحويل وخلفية الارتفاع. هذه القيمة أعلى قليلاً من الخشونة البدنية الأسطح PDMS مسبوك على الأسطح السليكون (12 نانومتر، انظر الجدول رقم 1) ولكن أقل بكثير من خشونة تقاس على PDMS التي تم الحصول عليها من العفن سو-8. وتبرز هذه النتائج القيمة المضافة لحفر الآبار في رقائق السيليكون بدلاً من فتح ثقوب في مقاوم الضوء سو-8 يلقي الركائز. يسمح قيمة منخفضة عالية إشارة إلى نسبة الضوضاء وصور واضحة جداً في الحجم مثل المعروض في الشكل 3 ألف. كمثال للبيانات التي يمكن استردادها من مثل هذه الصور، ونحن يحسب حجم 1.6 ميكرون (أي 10 بكسل) واسعة نورت شريحة (انظر الرسم البياني في الشكل 3). تستخدم في تقدير تقريبي أول نوبة خطية من هذه البيانات يعطي قيمة ارتفاع نورت يعني من حوالي 400 نانومتر، بالمقارنة مع مثل قطر محواري 500 نانومتر وجدت في غضون 10 أيام الجراء القديمة داخل كلثوم الإحضار 5. ونحن أيضا الجمع بين FXm ميكروباتيرنس الانضمام التي تتألف من أبوتيد متسلسل 2 ميكرومتر و 6 ميكرومتر المشارب واسعة من 30 ميكرومتر في الطول. وكان هدفنا لدراسة تأثير عرض نورت في شكله ثلاثي الأبعاد. ويظهر الشكل 3 تمثيل ثلاثي الأبعاد في اللون كاذبة لصورة كاملة من الخلايا العصبية التي تم الحصول عليها في دائرة عالية 10 ميكرون. تنتشر نيوريتيس 2 ميكرومتر و 6 ميكرومتر المشارب على نطاق واسع، في حين سوما يقع في الطرف الجنوبي الشريط أكبر. ورسمت ملامح الارتفاع في ثلاثة أقسام مختلفة من الصليب. في اتساق مع الرسم البياني المعروض في الشكل 3 ألف، مدمجة على السطح عبر زيادة المقاطع العرضية مع عرض نورت (الشكل 3D).
ركزنا أيضا على النمو مخروط (GC) هياكل ثلاثية الأبعاد. الشكل 4 ألف-باء يعرض اثنين مختلفة GC التشكيلات الجانبية التي تم الحصول عليها في دائرة عالية 3 ميكرومتر، التي تسلط الضوء على هياكلها الفرعية متفرعة. وبالإضافة إلى ذلك، نحن أجرى تجارب الوقت الفاصل بين اتباع القوى المحركة لحجم الحركة في دائرة عالية 12 ميكرومتر. يعرض الرقم 4 دورة الانكماش وإعادة تنشيط نشرة مصورة عمومية معينة داخل نطاق وقت لبضع عشرات من الدقائق. بفضل استخدام الفئران بروتينات فلورية خضراء-ليفيكت، كانت المترجمة الأقماع النمو في الطول الموجي الانبعاثات التجارة والنقل (510 نيوتن متر) من تركزها أكتين عالية. استخدمت السطح التي حددت في الطول الموجي للاندماج على مدى الطول الموجي الانبعاثات ديكستران في 647 نانومتر لحساب حجم GC. يبين الشكل 4 أخيرا توزيع حجم GC في نقاط زمنية مختلفة، والموقع على ثلاثة من الخلايا العصبية المختلفة، تتمحور حول قيمة حوالي 6 ميكرومتر3.

رقم 1: الدوائر FXm PDMS. (أ) مخططات من أربع خطوات رئيسية مختلفة من ميكروفابريكيشن مما أدى إلى القالب النهائي. تتم الإشارة إلى موقع مدخل ومخرج والخزانات. تغيير حجم أشرطة: 1 مم. (ب) صورة الدائرة PDMS FXm التي تم الحصول عليها باستخدام بروفيلوميتير ضوئية. هذه الصورة يبين الدائرة المركزية التي تحتوي على صفوف 3 من 10 ميكرون أعمدة عالية والدوائر المتوسطة من 20 و 50 و 90 ميكرون في الطول. مقياس بار: 500 ميكرومتر. (ج) عرض مستعرضة للرقاقة على طول خطوط متقطعة اثنين في (ب). الأصفر/الذهب: المقطع العرضي على طول أعمدة، الأزرق: المقطع العرضي بين الأعمدة. (د) يعني قياس القيم خشونة PDMS على 50 × 50 ميكرومتر2 مجالات مصبوب على السليكون وقاعة 20 ميكرومتر سو-8 عالية متوسطة (انظر السهام للموقع من هذه المجالات). تم الحصول على قيم المتوسط الحسابي من القياسات لثلاث مناطق مختلفة. الرجاء انقر هنا لمشاهدة نسخة أكبر من هذا الرقم-

رقم 2: معايرة أسلوب FXm باستخدام مجموعة شريطية مقاوم الضوء كموضع اهتمام- (أ) صورة بروتينات فلورية خضراء-الأسفار في دائرة عالية 10 ميكرون مليئة 10,000 ديكستران ميغاواط تستوعب في 488 نانومتر على 1 ملغ/مل. (ب: الخلفية، دعامة p:). الملاحظة ذات هدف نا X 0.8 40 جافة. شريط الحجم: 50 ميكرومتر. (ب) معايرة خطي القانون الحصول عليها من متوسط كثافة المستطيلات الملونة اثنين المبينة في (أ) (ج) الأسفار كثافة الشخصية التي تم الحصول عليها على مستوى خط متقطع الأزرق المعروضة في (أ)، عبور مقاوم الضوء شريطية (0.45 ميكرومتر عالية الإيجابية مقاوم الضوء). (د) مقارنة بين التشكيلات الجانبية حصل من بروفيلوميتير الميكانيكية (النقاط السوداء) و FXm بعد شدة ارتفاع تحويل البيانات من (ب) (تكون هذه النقاط زرقاء). الرجاء انقر هنا لمشاهدة نسخة أكبر من هذا الرقم-

الشكل 3: تصوير حجم نورت. (أ) نورت تمتد في دائرة عالية وسط 3 ميكرومتر من سوما يقع في الدائرة الوسيطة التالية 15 ميكرون. التصوير باستخدام 10,000 ديكستران ميغاواط تستوعب في 488 نانومتر و 40 س، غ 0.8 الجاف للهدف. الداخلي التي تم الحصول عليها بعد استخدام خلفية الحد من الروتين ويبرز نيوريتيس اثنين واختيارها لرسم الرسم البياني على اليمين. تغيير حجم أشرطة: 30 ميكرون. (ب) الحصول على حجم شريحة نورت كدالة لعرض نورت من التشكيلات الجانبية 22 (في المتوسط على 10 بكسل، أي على مكم 1.6 "نورت شريحة") المبينة في (أ). ويمثل خط متصل نوبة خطي من المنحدر 0.4 ميكرومتر مرورا الأصل. (ج) صورة ملونة زائفة لخلية منقوشة على شريطية لاصقة مصنوعة من المتتالية 2 ميكرومتر وجذوعها واسعة 6 ميكرومتر (ممثلة باللون الأبيض). أجريت قياسات في دائرة عالية 10 ميكرون مليئة 10,000 ديكستران ميغاواط تستوعب في 647 نانومتر واستخدام غ 40 x 0.8 الجاف للهدف. (د) لون ملامح الارتفاع المقابل لخطوط متقطعة ملونة المبين في (ج) والاحتفاظ بنفس التعليمات البرمجية. الرجاء انقر هنا لمشاهدة نسخة أكبر من هذا الرقم-

الشكل 4: النمو والدينامية مخروط التصوير- (أ-ب) نمو التشكيلات الجانبية ارتفاع مخروط الحصول عليها في دائرة عالية 3 ميكرومتر بعد كثافة لتحويل الارتفاع على غرار الصفراء المعروضة في الصور المرتبطة بها. مراقبة تنفيذ استخدام تعبئة مع 10,000 ديكستران ميغاواط تستوعب في 488 نانومتر و 40 س، غ 0.8 الجاف للهدف. (ج) تصوير العصبية كلها في دائرة عالية 12 ميكرومتر مليئة 10,000 ديكستران ميغاواط تستوعب في 647 شمال البحر الأبيض المتوسط. الملاحظات قد بذلت في قناتين الفلورسنت: التجارة والنقل للتعريب مخروط النمو (الخطوط المتقطعة الصفراء)، و CY5 لحساب حجم GC من استبعاد الأسفار. واستخدمت لحساب حجم GC السطح المدرجة بخطوط صفراء متقطعة. الرسم البياني يبين اختلاف حجم GC على مر الزمن، والمرتبطة مورفولوجيس في قنوات التجارة والنقل و CY5 في نقاط زمنية مختلفة الممثل اثنين. تم الحصول على بيانات جميع غ 40 x باستخدام الجاف 0.8 هدف لكل أشرطة مقياس الحد الأدنى 3: 10 ميكرون. الرجاء انقر هنا لمشاهدة نسخة أكبر من هذا الرقم.
| الخطوة | قناع طبقة ميكرومتر 1:8 | قناع 02:30 ميكرون طبقة | قناع 03:40 ميكرون طبقة |
| نوع سو-8 | 2007 | عام 2025 | عام 2050 |
| سبينكواتينج | 30 s @ 2000 لفة في الدقيقة | 30 s @ 3050 لفة في الدقيقة | 30 s @ 3250 دورة في الدقيقة |
| خبز لينة | 3 دقيقة @ 95 ° C | 2 دقيقة @ 65 ° C + 6 دقيقة @ 95 ° C | 3 دقيقة @ 65 ° C + 7 دقيقة @ 95 ° C |
| التعرض للطاقة | 110 مللي جول/سم2
| 155 مللي جول/سم2
| 170 مللي جول/سم2
|
| خبز بعد التعرض | 4 دقيقة @ 95 ° C | 1 دقيقة @ 65 ° C + 6 دقيقة @ 95 ° C | 2 دقيقة @ 65 ° C + 7 دقيقة @ 95 ° C |
| التنمية | 2 دقيقة 30 ثانية | 5 دقيقة | 6 دقيقة |
| خبز الثابت (اختياري) | 3-5 دقيقة @ 200 درجة مئوية | 3-5 دقيقة @ 200 درجة مئوية | 3-5 دقيقة @ 200 درجة مئوية |
الجدول 1: تنفيذ الخطوات التصويرية لبناء جهاز يحتوي على دائرة مركزية من 12 ميكرومتر في الطول. مرتفعات دوائر وسيطة: 20 و 50 و 90 ميكرون.
| الخطوة | قناع 01:10 ميكرون طبقة | قناع 02:30 ميكرون طبقة | قناع 03:40 ميكرون طبقة |
| نوع سو-8 | 2007 | عام 2025 | عام 2050 |
| سبينكواتينج | 30 s @ 1500 لفة في الدقيقة | 30 s @ 3050 لفة في الدقيقة | 30 s @ 3250 دورة في الدقيقة |
| خبز لينة | 3 دقيقة @ 95 ° C | 2 دقيقة @ 65 ° C + 6 دقيقة @ 95 ° C | 3 دقيقة @ 65 ° C + 7 دقيقة @ 95 ° C |
| التعرض للطاقة | 125 مللي جول/سم2
| 155 مللي جول/سم2
| 170 مللي جول/سم2
|
| خبز بعد التعرض | 4 دقيقة @ 95 ° C | 1 دقيقة @ 65 ° C + 6 دقيقة @ 95 ° C | 2 دقيقة @ 65 ° C + 7 دقيقة @ 95 ° C |
| التنمية | 2 دقيقة 30 ثانية | 5 دقيقة | 6 دقيقة |
| خبز الثابت (اختياري) | 3-5 دقيقة @ 200 درجة مئوية | 3-5 دقيقة @ 200 درجة مئوية | 3-5 دقيقة @ 200 درجة مئوية |
الجدول 2: إجراء خطوات الطباعة الحجرية التصويرية لبناء جهاز يحتوي على دائرة مركزية من 10 ميكرومتر في الطول. مرتفعات دوائر وسيطة: 20 و 50 و 90 ميكرون.
| الخطوة | قناع 01:12 ميكرون طبقة | قناع 02:32 ميكرون طبقة | قناع 03:40 ميكرون طبقة |
| نوع سو-8 | عام 2015 | عام 2025 | عام 2050 |
| سبينكواتينج | 30 s @ 3250 دورة في الدقيقة | 30 s @ 2500 لفة في الدقيقة | 30 s @ 3250 دورة في الدقيقة |
| خبز لينة | 3 دقيقة @ 95 ° C | 2 دقيقة @ 65 ° C + 5 دقيقة @ 95 ° C | 3 دقيقة @ 65 ° C + 7 دقيقة @ 95 ° C |
| زمن التعرض للضوء | 140 مللي جول/سم2
| 157 مللي جول/سم2
| 170 مللي جول/سم2
|
| خبز بعد التعرض | 4 دقيقة @ 95 ° C | 1 دقيقة @ 65 ° C + 5 دقيقة @ 95 ° C | 2 دقيقة @ 65 ° C + 7 دقيقة @ 95 ° C |
| التنمية | 3 دقيقة | 5 دقيقة | 6 دقيقة |
| خبز الثابت (اختياري) | 3-5 دقيقة @ 200 درجة مئوية | 3-5 دقيقة @ 200 درجة مئوية | 3-5 دقيقة @ 200 درجة مئوية |
الجدول 3: تنفيذ الخطوات التصويرية لبناء جهاز يحتوي على دائرة مركزية من 3 ميكرومتر في الطول. مرتفعات الدوائر المتوسطة: 18 و 50 و 90 ميكرون.
بيانات تكميلية 1: masks_neuron_volume_chips.tiff. عرض التخطيطي من الأقنعة المستخدمة لاختلاق الجهاز PDMS (DRIE قناع وأقنعة 1-3). اضغط هنا لتحميل هذا الملف.
بيانات تكميلية 2: ملف "masks_neuron_volume_chips.dxf". ملفات إلكترونية مما يسمح لاختلاق DRIE قناع وأقنعة 1-3. اضغط هنا لتحميل هذا الملف.
البيانات التكميلية 3: "Mask_Photoresist-stripes.dxf". ملفات إلكترونية مما يسمح لاختلاق القناع يستخدم للطباعة التصويرية للمشارب مقاوم الضوء. اضغط هنا لتحميل هذا الملف.
البيانات التكميلية 4: ملف conversion_mattotiff.m اضغط هنا لتحميل هذا الملف.
بيانات تكميلية 5: ملف importfilevol.m اضغط هنا لتحميل هذا الملف.