Method Article

النمو والخصائص الكيميائية الكتروستاتي للمعدن/ﻻلو3/SrTiO3 هيتيروستروكتوريس

DOI:

10.3791/56951

February 8th, 2018

In This Article

Summary

Loading...
$$\rightleftharpoonup{xx}$$ $$\longleftharp{xx}$$, $$\longrightharp{xx}$$,

نحن تلفيق المعادن/ﻻلو3/SrTiO3 هيتيروستروكتوريس باستخدام مزيج من ترسب الليزر النبضي والأخرق ماغي في الموقع . من خلال ماجنيتوترانسبورت و في الموقع تجارب مطيافية إلكترون الأشعة السينية، ونحن التحقيق في التفاعل بين الظواهر الكهربائية والكيميائية من الغاز إلكترون ثنائي الأبعاد أو شبه شكلت في هذا النظام.

Abstract

Loading...
$$\rightleftharpoonup{xx}$$ $$\longleftharp{xx}$$, $$\longrightharp{xx}$$,

النظام شبه الإلكترون 2D (q2DES) التي تشكل في التفاعل بين ﻻلو3 (لاو) وسرتيو3 (ستو) جذبت الكثير من الاهتمام من جانب المجتمع الإلكترونيات أكسيد. واحد من ميزاته مميزة هو وجود سمك لاو الحاسمة 4 وحدة الخلايا (uc) للتوصيل السطح البيني الظهور. على الرغم من أن آليات الالكتروستاتيكي قد اقترحت في الماضي لوصف وجود هذا سمك الحرجة، قد أبرزت أهمية العيوب الكيميائية مؤخرا. هنا، نحن تصف نمو المعادن/لاو/ستو هيتيروستروكتوريس في نظام كتلة (اوهف) فراغ فائقة الجمع بين ترسب الليزر النبضي (تنمو لاو)، ماغي اﻷخرق (تنمو المعادن) ومطيافيه الأشعة السينية النانومترية (XPS). علينا أن ندرس خطوة بخطوة تشكيل وتطور في q2DES والتفاعلات الكيميائية التي تحدث بين المعدن ولاو/ستو. بالإضافة إلى ذلك، توضح التجارب ماجنيتوترانسبورت على النقل والخصائص الإلكترونية q2DES. هذا العمل المنهجي ليس فقط يوضح طريقة لدراسة التفاعل الالكتروستاتيكي والكيميائية بين q2DES وبيئتها، ولكن أيضا يفتح إمكانية الزوجين طبقات متوجا متعدد الوظائف مع الفيزياء الغنية التي لوحظت في ثنائي الأبعاد نظم الإلكترون، مما يسمح تصنيع أنواع جديدة من الأجهزة.

Introduction

Loading...
$$\rightleftharpoonup{xx}$$ $$\longleftharp{xx}$$, $$\longrightharp{xx}$$,

نظم الإلكترون 2D شبه (q2DES) قد استخدمت على نطاق واسع كملعب لدراسة العديد من الأبعاد منخفضة والظواهر الكم. تم إنشاؤها بدءاً من الورقة المنوي على النظام3 /SrTiO3ﻻلو (جمهورية لاو/ستو)1، دفعة من النظم المختلفة التي تستضيف مراحل الإلكترونية السطح البيني الجديد. الجمع بين مواد مختلفة أدت إلى اكتشاف q2DESs مع خصائص إضافية، مثل الحقل الكهربائي الانضباطي تدور الاستقطاب2، الإلكترون عالية للغاية موبيليتيس3 أو الظواهر فيرروليكتريسيتي-إلى جانب4. على الرغم من أن هيئة هائلة من عمل كرست لكشف إنشاء والتلاعب بهذه الأنظمة، أظهرت عدة تجارب وتقنيات نتائج متناقضة، حتى في ظ....

Access restricted. Please log in or start a trial to view this content.

Protocol

Loading...
$$\rightleftharpoonup{xx}$$ $$\longleftharp{xx}$$, $$\longrightharp{xx}$$,

ملاحظة: يمكن مؤقتاً وإعادة تشغيلها في أي وقت، بشرط وحيد هو إبقاء العينة تحت التفريغ العالي من الخطوة 3، 4 إلى 5 جميع الخطوات 5 الموصوفة في هذا البروتوكول.

1-STO(001) الركازة الإنهاء:

  1. ملء منظف بالموجات فوق الصوتية (مع محول 40 كيلو هرتز) مع الماء والحرارة عليه إلى 60 درجة مئوية. ملء كوب زجاج البورسليكات مع الأسيتون. مستقلة عن حجم الكأس، يجب التأكد من ملء مع 20 في المائة على الأقل من حجم الحد الأقصى، لضمان ركائز مغمورة تماما.
    1. مكان خارج مربع منتهية بمزيج أحادية الجانب المصقول (001 (المنحى ستو واحد-كريستال الركيزة (55 مم2 في حجم الأفقي، 0.5 مم في السمك، ميسكيوت زاوية بين 0.01 ودرجه 0.02) داخل كوب زجا....

Access restricted. Please log in or start a trial to view this content.

Results

Loading...
$$\rightleftharpoonup{xx}$$ $$\longleftharp{xx}$$, $$\longrightharp{xx}$$,

ويرد النظام التجريبي الكامل المستخدمة للنمو وتوصيف في الشكل 2. وجود مختلف الأجهزة المتصلة في اوهف من خلال دائرة توزيع ينصح بشدة التأكد من أن سطح العينة بعد كل عملية النمو يبقى البكر. ويرد بالتفصيل أيضا الدائرة الملعوبة (الشكل 3)، ماغي اﻷخرق (الشكل 7) والدائرة XPS (الشكل 8). يتم عرض معلومات إضافية فيما يتعلق بمسار بصري في الإعداد الملعوبة في الشكل 4

Access restricted. Please log in or start a trial to view this content.

Discussion

Loading...
$$\rightleftharpoonup{xx}$$ $$\longleftharp{xx}$$, $$\longrightharp{xx}$$,

أثناء إنهاء الركازة، واحدة ينبغي أن تكون حذراً للغاية مع الوقت غمر في الحل التردد. لاحظنا السطوح ضمن وعبر اتشيد 5 عادل متفاوتة s فيما يتعلق بوصفه الأصلي. بالإضافة إلى ذلك، لاحظنا من اعتماد بين حجم الخطوة الركيزة وغمر الوقت. لأحجام خطوة صغيرة (أقل من 100 نانومتر) غمر 30 s قد تؤدي إلى النقش المفرط، حتى ولو بعد ذلك الإجراء انلينغ قد تكون كافية لإعادة بشكل صحيح على السطح. بسبب مخاطر استخدام التردد على أساس الأحماض، كما ننصح أيضا التحسين HCl-HNO3 حل حمضية إنهاء12 أو تقنية إنهاء غير حمضي

Access restricted. Please log in or start a trial to view this content.

Disclosures

Loading...
$$\rightleftharpoonup{xx}$$ $$\longleftharp{xx}$$, $$\longrightharp{xx}$$,

الكتاب ليس لها علاقة بالكشف عن.

Acknowledgements

Loading...
$$\rightleftharpoonup{xx}$$ $$\longleftharp{xx}$$, $$\longrightharp{xx}$$,

وتلقى هذا العمل الدعم من منسق الإغاثة الطارئة Consolidator منحة #615759 "النعناع"، ومنطقة إيل-دو-فرانس قاتمة "Oxymore" (مشروع "نيمو") ومشروع ANR "نوميلوبس". وأيد البرنامج الأساسية للنواة EPSRC-JSPS، JSPS معونات للعلمية البحثية (ب) (15 # ح 03548) وفقا جزئيا. وأيد A.S. الأوقيانوغرافية ألماني (هو 53461-1؛ زمالات ما بعد الدكتوراه إلى أ. س.). D.C.V. وذلك بفضل الوزارة الفرنسية للتعليم العالي والبحوث ويزأر لتمويل له أطروحة الدكتوراه. شكرا ج. س. بجامعة باريس-صكلي (كوت دالمبرت البرنامج) ويزأر لتمويل إقامته في يزار/تاليس.

....

Access restricted. Please log in or start a trial to view this content.

Materials

محطة عمل SURFACE PLD الترسيب بالليزر + نظام حمض الهيدروفلوريك الحرارية حامل السينية مصدر

List of materials used in this article
NameCompanyCatalog NumberComments
النبضيالعنقود UHV
KrF Excimer LaserCoherentCompex Pro 201F
انعكاس حيود الإلكترون عالي الطاقة (مسدس الإلكترون)R-Dec Co.، Ltd.تم توزيع RDA-003Gفي أوروبا بواسطة SURFACE.
انعكاس حيود الإلكترون عالي الطاقة (كاميرا CCD)k-Space Associates، Inc.kSA 400
مخفف شعاع الليزر المتغيرMetroluxML 2100
مستشعر ليزر إكسيمرمتماسكJ-50MUV-248
LaAlO3< / sub> الهدفCrysTecهدف أحادي البلورة
SrTiO3< / sub> يترجمCrysTecعدة أحجام مختلفة. إمكانية طلب إنهاء TiO2< / sub>.
المخزنBOE 7: 1حمض الهيدروفلوريك المخزن = BOE 7: 1 (HF: NH4F = 12.5: 87.5٪) في & nbsp ؛ جودة VLSI.
معجون الفضةDuPont4929Nمركب فضي موصل.
منظف بالموجات فوق الصوتيةبرانسونيك12بالموجات فوق الصوتية تنظيف أنبوب الحمام
فرنAET تقنياتفرن المعالجة
دورق زجاجي البورسليكاتVWR213-1128Iow شكل
PTFE دورقDynalonPTFE دورق
الركيزة "قفع"Eberl & eacute ؛مخصص الغطاس
المغنطرون الاخرقPLASSYSنظام الاخرق5 غرف للأهداف.
الأهداف المعدنيةNeyco S.A.نقاء > 99.9٪
نظام التحليل الطيفي للأشعة السينية للأشعةOmicronمخصص XPS نظام
الأشعة السينية مصدرOmicronDAR 400الأشعة السينية الأنود المزدوج.
محلل الطاقةOmicronEA 125
مجهر القوة الذريةBrukerInnova AFM
مجهر القوة الذرية مجساتأوليمبوسOMCL-AC160TS-R3ناتئ صغير
ربط الأسلاكKulicke & سوفا4523AD
PPMSتصميم الكمPPMS مغناطيس Dynacool9T.

References

Loading...
$$\rightleftharpoonup{xx}$$ $$\longleftharp{xx}$$, $$\longrightharp{xx}$$,
  1. Ohtomo, A., Hwang, H. Y. A high-mobility electron gas at the LaAlO3/SrTiO3 heterointerface. Nature. 427, 423-426 (2004).
  2. Stornaiuolo, D., et al. Tunable spin polarization and superconductivity in engineered oxide interfaces. Nat. Mater. 15 (....

Access restricted. Please log in or start a trial to view this content.

Reprints and Permissions

Request permission to reuse the text or figures of this JoVE article

Request Permission

Tags

Metal LAO STO HeterostructuresPulsed Laser DepositionMagnetron SputteringX ray Photoelectron SpectroscopyMagnetotransport ExperimentsQuasi 2D Electron SystemCritical LAO ThicknessUltra high VacuumOxide Heterostructure GrowthInterfacial Conductivity

Related Articles