$$\rightleftharpoonup{xx}$$
$$\longleftharp{xx}$$,
$$\longrightharp{xx}$$,
1-PGMA-ب-بفدما التوليف20
- توليف PGMA الماكرو سلسلة نقل عامل (الماكرو-كبار المستشارين التقنيين)
- استخدام flask 250 مل القاع المستديرة رد فعل مزودة بشريط المغلفة تترافلوروايثيلين إثارة مغناطيسية.
- الجمع بين ز 14.2 من ميتاكريليت جليسيديل التقييم البحري العالمي (142.18 g/mol) مع 490.8 مغ تريثيوكاربوناتي دوديسيل 2-سينو-2-روبيل (كبدت) (346.63 g/mol)، و 87.7 ملغ 2، 2 '--أزوبيس (4-ميثوكس-2، 4-ثنائي ميثيل فاليرونيتريلي) (V-70) (308.43 g/mol) (نسبة المولى كبدت: V-70 = 5:1)، والبنزين (100 مل) في الهواء مجاناً جولة قارورة السفلي.
- ديغا الخليط رد فعل استخدام الأرجون ويقلب لمدة 30 دقيقة. وفي وقت لاحق وضع الحل في حمام زيت درجة الحرارة التي تسيطر على 30 درجة مئوية والرد ح 18.
ملاحظة: الوزن الجزيئي المستهدفة لكبار المستشارين التقنيين-الماكرو 10,000 ز/mol. 18 ساعة مصممة على أن يكون الوقت اللازم للوصول إلى التحويل معقولة. لون الحل البوليمر شفافية الضوء الأصفر.
- بعد ح 18، إنهاء رد فعل بغمر قارورة قاع الجولة في سائل ن2.
- يعجل البوليمر بصب حل البوليمر/البنزين (~ 100 مل) الضوء الأصفر إلى 400 مل الهكسين.
- يقلب الخليط لدقيقة 5 متسرعا سوف تسوى في الجزء السفلي من الكأس ويتم استردادها عن طريق الترشيح.
- جاف بين عشية وضحاها المتعجل تحت الفراغ. ثم تمييع في 400 مل من رباعي هيدرو الفوران (THF). إعادة يعجل في الهكسين.
- جاف هذا ترسبات جديدة مرة أخرى مع الأرجون بين عشية وضحاها.
ملاحظة: الماكرو-كبار المستشارين التقنيين مسحوق ناعم أصفر. وسيكون العائد الناتج من رد فعل ~ 43.8 في المائة. من من الماكرو CTA PGMA هو 7,990 g/mol مع بوليديسبيرسيتي (PDI) من 1.506 (مث = 12,030 g/mol).
- توليف PGMA-ب-بفدما
- فركايشنلي التقطير VDMA تحت ضغط انخفاض، ونحتفظ بالكسر الأوسط (~ 70 ٪) للاستخدام.
ملاحظة: هذا مطلوب لإزالة المانع البلمرة. يتم إرفاق جهاز التقطير، خط شلينك ويتم فتح صمام الهواء ختم جزئيا إلى السطر فراغ. يتم تطبيق الحد الأدنى من الحرارة باستخدام فاريستات وعباءة تدفئة حتى تبدأ مونومر VDMA استخلاص أكثر بمعدل 1 قطره في الثانية الواحدة.
- الجمع بين مونومر (139.15 g/mol) 2-الفينيل-4, 4-ثنائي ميثيل أزلاكتوني (فدما) (10.436 ز) PGMA-ماكروكتا (1.669 ز)، V-70 (14.5 mg؛ ونسبة المولى من PGMA-ماكروكتا: V-70 = 3:1) والبنزين (75.0 مل) في flask واحد-رقبته 250 مل القاع المستديرة رد فعل مجهزة بار بالتفلون إثارة المغناطيسية.
ملاحظة: الوزن الجزيئي المعلومات، بفدما: 139.15 غ/مول، PGMA-ماكروكتا: 12,030 غ/مول، البنزين: 78.11 غ/مول.
- ديغا المخلوط مع الأرجون درجة نقاء عالية ويقلب لمدة 30 دقيقة، ومن ثم وضع في حمام زيت عند 32 درجة مئوية ح 18.
- إنهاء رد فعل بغمر قارورة قاع الجولة في سائل ن2.
- يعجل البوليمر ثلاث مرات إلى الهكسين والجافة في درجة حرارة الغرفة تحت الفراغ.
- تميز بالوزن الجزيئي وحزب النضال الديمقراطي الإندونيسي للمنتج باستخدام حجم الاستبعاد اللوني (S) (انظر الجدول للمواد) ووفقا للإجراء المنصوص عليه في لوكيتز et al. 20. مجهز حجم الاستبعاد اللوني (S) بلجيل 5 ميكرومتر مختلطة-C الأعمدة الثلاثة (7.5 × 300 مم) في سلسلة، كاشف إنكسار (الطول الموجي = 880 نانومتر)، الكاشف الضوئي الصفيف، وتشتت الضوء زاوية المتعددة (مالس) للكشف عن (الطول الموجي = 660 نانومتر)، viscometer (انظر الجدول للمواد).
ملاحظة: جميع التجارب التي أجريت في هذا المنتج المخطوطة المستخدمة مع PGMA وبفدما أطوال كتل من 56 و 175، على التوالي. وكان الوزن الجزيئي كوبوليمر كتلة ز 37,620/mol وحزب النضال الديمقراطي الإندونيسي كان 1.16.
2-جيل أنماط Parylene الاستنسل على ركائز السيليكون
- طلاء باريليني
- Sonicate رقائق السليكون في 50% بالوزن الأسيتون في المياه لمدة 5 دقائق تليها سونيكيشن في 50% بالوزن الايزوبروبانول (IPA) في الماء لمدة 5 دقائق.
- شطف رقائق السيليكون مع المياه (DI) وضربه الجافة مع غاز النيتروجين.
- إيداع 80 نانومتر و 1 ميكرومتر سميكة باريليني ن على رقائق السليكون 4 بوصة باستخدام المغطى باريليني (انظر الجدول للمواد).
ملاحظة: وصف سمك الأفلام باريليني باستخدام بروفيلوميتير سطح (انظر الجدول للمواد).
- معايرة سمك الفيلم parylene parylene ديمر الشامل لكل نظام طلاء parylene الفردية.
ملاحظة: في النظام الحالي، كان ديمر باريليني ن ~ 80 ملغ و ~ 1000 مغ المطلوبة للحصول على 80 نانومتر وسمك الفيلم 1 ميكرومتر، على التوالي (استناداً إلى منحنى المعايرة التي تم الحصول عليها).
- استخدم الإعدادات التالية أثناء تشغيل المغطى باريليني: الضغط: 80 متور، المدة: ح 1، ودرجة حرارة الفرن: 690 درجة مئوية، ودرجة حرارة المبخر: 160 درجة مئوية.
- الطباعة التصويرية
- خبز رقائق في فرن على 100 درجة مئوية لمدة 20 دقيقة؛ فليفر الجلوس لآخر 3 دقائق في درجة حرارة الغرفة.
ملاحظة: وقت الانتظار إضافية يحسن التصاق مقاوم الضوء.
- إضافة 2 مل من مقاوم الضوء إيجابية (انظر الجدول للمواد)، والاستغناء عن مركز ليفر المغلفة باريليني. تدور معطف رقائق 3000 لفة في الدقيقة لمدة 30 ثانية.
ملاحظة: يجب أن يتم طلاء تدور تحت غطاء محرك السيارة.
- انتظر 1 دقيقة، خبز ويفر على لوحة الساخن عند 105 درجة مئوية لمدة 1 دقيقة.
- تحميل النبائط في نظام محاذاة قناع (انظر الجدول للمواد). تعرض للأشعة فوق البنفسجية ويفر (λ = 325 nm) ل 10 s مع جرعة من 65 مللي جول/سم2.
- واسمحوا رقائق الجلوس لآخر 5 دقائق في درجة حرارة الغرفة.
- تطوير الرقائق بغمر في المطور الحل (انظر الجدول للمواد) للحد الأدنى 2 شطف الرقائق مع المياه، والجاف ثم مع ن2. القيام بذلك تحت غطاء محرك السيارة.
ملاحظة: بعد وضع، مقاوم الضوء يظهر إزالتها تماما من المناطق المعرضة للأشعة فوق البنفسجية. استخدام مجهر ضوئي (انظر الجدول للمواد) للتحقق من يفر.
- النقش أيون رد الفعل
- استخدام أداة النقش (رية) أيون رد الفعل (انظر الجدول للمواد) لأحفر الرقائق المتقدمة مع الأكسجين في البلازما.
- تطبيق تدفق الأوكسجين بمعدل 50 سم3دور/دقيقة عند ضغط دائرة متور 20.
- لسمك فيلم parylene 1 ميكرومتر، استخدام الترددات اللاسلكية قوة 50 واط والحث يقترن البلازما (ICP) قوة 500 واط ل 100 s تم إزالة parylene المكشوفة من المناطق منقوشة. وهذا يناظر parylene أحفر معدل 1.0 1.15 ميكرومتر في الدقيقة.
- لسمك باريليني من 80 نانومتر، استخدام الترددات اللاسلكية قوة 50 واط، وبرنامج المقارنات الدولية قوة 200 ث 55 ثانية لإزالة باريليني المكشوفة من المناطق منقوشة. وهذا يتوافق مع باريليني أحفر معدل 570-620 نيوتن متر/دقيقة.
ملاحظة: لإزالة باريليني كفاءة، تحديد باريليني أحفر معدل لكل نظام رية.
- فحص ركائز محفوراً مع مجهر ضوئي. سوف تظهر على سطح السليكون لامعة بعد باريليني هو إزالتها بالكامل من المناطق المعرضة.
- تحقق من حفر عمق استخدام بروفيلوميتير سطحية (انظر الجدول للمواد).
3-الإجراء زنتها باريليني
- إعداد حلول البوليمر
- حل PGMA-ب-بفدما إلى كلوروفورم (1% wt.). ينبغي أن يكون كلوروفورم اللامائى للحيلولة دون التحلل مجموعات أزلاكتوني.
ملاحظة: كلوروفورم هو المذيب المفضل لأنه يحتوي على درجة عالية من القابلية للذوبان للبوليمر، مما يسمح لترسب السطحية موحدة أكثر من سلاسل البوليمر واحد مقارنة بغيرها من المذيبات العضوية25.
- تنظيف parylene الاستنسل مع البلازما أنظف
- تشغيل الطاقة الرئيسية (انظر الجدول للمواد) أنظف البلازما ووضع ركائز المغلفة باريليني في قاعة البلازما أنظف.
- قم بتشغيل المضخة الفراغ وإخلاء الهواء في الدائرة حتى يتم قياس الضغط متور أقل من 400.
- قليلاً فتح صمام القياس والسماح للهواء بالدخول إلى البلازما أنظف حتى يظهر مقياس الضغط متور 800-1000.
- تحديد الترددات اللاسلكية مع وضع مرحبا وفضح ركائز لمدة 3 دقائق.
- في نهاية العملية، قم بإيقاف تشغيل الطاقة الترددات اللاسلكية، ومضخة فراغ.
- إيقاف البلازما أنظف وإزالة ركائز.
ملاحظة: بعد البلازما التنظيف، يظهر السطح ماء السلوك (الشكل 1B). المياه زاوية الاتصال السليكون العارية السطوح قبل وبعد تنظيف البلازما هي 27° ± 2 و 0 درجة، على التوالي.
- زيادة ونقصان-طلاء PGMA-ب-بفدما، الصلب وسونيكيشن أكثر الاستنسل parylene
- فورا تدور-معطف ركائز مع 100 ميليلتر من 1% بالوزن PGMA-ب-بفدما في كلوروفورم اللامائى 1500 لفة في الدقيقة، 15 s باستخدام المغطى زيادة ونقصان (انظر الجدول للمواد).
ملاحظة: إجراء طلاء تدور داخل s 1-2 من بيبيتينج الحل البوليمر للتقليل من الفيلم غير التوحيد الناجم عن التبخر السريع كلوروفورم.
- يصلب أفلام البوليمر عند 110 درجة مئوية في فرن فراغ (انظر الجدول للمواد) على ح 18.
ملاحظة: الصلب يسمح للبوليمر ميكروفاسي العزل ومرفق سطح كتلة GMA السطحية26.
- وبعد الصلب، تميز طلاء البوليمر بقياس زاوية الاتصال من ركائز. إظهار السطوح بزاوية اتصال 75° ± 1° (الشكل 1)20.
- Sonicate ركائز في 20 مل من الأسيتون أو كلوروفورم لمدة 10 دقيقة لإزالة طبقة باريليني وأي بوليمر فيسيسوربيد.
ملاحظة: استخدم سونيكيشن الشروط التالية: الطاقة الصوتية فائقة، 284 ث؛ تردد، 40 كيلو هرتز (انظر الجدول للمواد).
ملاحظة: باريليني يمكن أيضا أن تكون انشقت الركيزة بتطبيق قطعة من الشريط سكوتش في الحافة من الركازة، ثم سحب الشريط بعيداً27.
- تخزين ركائز تحت فراغ في مجفف حتى الوصف.

رقم 1: الاتصال بالقياسات الزاوية لركائز السليكون المعالجة. (أ) العارية السليكون، (ب) تنظيف البلازما السليكون، السيليكون المغلفة بزيادة ونقصان (ج) مع PGMA-ب-بفدما (بعد الصلب وسونيكيشن في كلوروفورم). الرجاء انقر هنا لمشاهدة نسخة أكبر من هذا الرقم-
4-PGMA-ب-بفدما إجراءات الجمعية واجهة الموجه
ملاحظة: يمكن تنفيذ هذا الإجراء على الركازات المحتوية على خلفية خاملة كيميائيا (الفرع 4-1)، أو خلفية بيولوجيا خاملة (الجزء 4-2)، استناداً إلى التطبيق.
- إعداد خلفية خاملة كيميائيا على ركائز السيليكون
- استخدام البلازما الأوكسجين النظيف لتنظيف السليكون العارية (القسم 3.2).
- "الماصة؛" 100 ميليلتر من trichloro(1H,1H,2H,2H-perfluorooctyl) silane (TPS) على طبق بيتري ووضع ركائز السليكون داخل مجفف فراغ الموجود بجانب طبق بيتري.
- طلب الفراغ (تور-750) ح 1 لترسب البخار الكيميائي (الرسوم التعويضية).
تنبيه: TPS شديدة السمية ويجب إجراء عملية الرسوم التعويضية داخل غطاء دخان.
ملاحظة: بعد ح 1 الركيزة يظهر السلوك مسعور. عادة يتم قياس زاوية اتصال من 109° ± 3° بعد عملية الرسوم التعويضية. سمك الفيلم TPS 1.5 ± 0.5 نانومتر.
ملاحظة: كتل TPS رد فعل أكسيد السطحية المتفاعلة مع PGMA-ب-بفدما.
- معطف الرقائق مع باريليني (1 ميكرون سمك). تنفيذ الطباعة التصويرية ورد الفعل أيون النقش على توليد أنماط parylene (القسم 2) وحفر بعيداً في طبقة النقاط التجارية في المناطق المكشوفة.
- إعداد الخلفية البولي إثيلين غليكول (شماعة) على ركائز السليكون.
- استخدام البلازما الأوكسجين النظيف لمدة 3 دقائق لتنظيف ركائز السليكون العارية (القسم 3.2).
- أداء "الرسوم التعويضية للنقاط التجارية" ح 1 (قسم 4.1.2).
- تزج ركائز في حل wt/v 0.7% من F-127 بلورونيك في الماء عالي النقاوة ح 18 لتوليد طبقة شماعة على السطح28،29.
ملاحظة: بلورونيك تحتوي على كتلة بوليمر أكسيد البولي بروبلين مسعور (أحزاب المعارضة) بين سلسلتي الوتد. كتلة أحزاب المعارضة المراسي البوليمر إلى السطح TPS بينما تتعرض السلاسل شماعة للحل28.
- غسل وشطف الركيزة لمدة 5 دقائق مع 100 مل من الماء عالي النقاوة.
- إيداع 80 نانومتر و 1 ميكرومتر سميكة باريليني ن على رقائق السليكون 4 بوصة استخدام المغطى باريليني.
- تنفيذ الطباعة التصويرية ورد الفعل أيون النقش لتوليد أنماط parylene (القسم 2).
- سونيكيشن، تدور-طلاء PGMA-ب-بفدما البوليمر، والصلب ركائز
- Sonicate خاملة كيميائيا (TPS) ركائز (الفرع 4-1) أو ركائز شماعة وظيفية (الجزء 4-2) لمدة 10 دقائق في الأسيتون لإزالة طبقة باريليني.
- زيادة ونقصان-معطف الركيزة سونيكاتيد مع 100 ميليلتر من 1% بالوزن PGMA-ب-بفدما في كلوروفورم اللامائى 1500 لفة في الدقيقة لمدة 15 ثانية.
- يصلب أفلام البوليمر عند 110 درجة مئوية تحت الفراغ ح 18.
- Sonicate ركائز في الأسيتون أو كلوروفورم لمدة 10 دقيقة لإزالة البوليمر فيسيسوربيد الموجودة في المناطق الخلفية على السطح.
- تخزين ركائز في مجفف فراغ حتى استخدامها مرة أخرى.
5-مخصص PGMA-ب-بفدما الصغير-اتصل الطباعة (μCP)
- تصنيع ختم PDMS
- اختﻻق سادة السليكون وفقا للإجراءات القياسية التصويرية30. استخدام عملية الرسوم التعويضية (قسم 4.1.2) لإيداع TPS لاصقة المضادة على سادة السليكون.
ملاحظة: القالب السليكون ينبغي أن تعامل مع TPS المرة الأولى هي المستخدمة، وإعادة تطبيقها بعد فقد استخدمت 5-10 مرات.
- تنفيذ أساليب الطباعة الحجرية الناعمة القياسية لتصنيع الطوابع (PDMS تمهيدا لعلاج عامل الجماعي نسبة 10:1)31.
ملاحظة: الطوابع المستخدمة في هذه الدراسة تتكون من صفائف ميكروبيلار (قطرها = 5-50 ميكرومتر، الارتفاع = 20 ميكرومتر).
- قطع طابعاً وحيدا. تنظيف الطوابع التي سونيكاتينج لمدة 10 دقائق في HCl (1 م)، 5 دقيقة في الأسيتون، تليها 5 دقائق في الإيثانول.
- الجاف للطوابع في فرن الحراري عند 80 درجة مئوية لمدة 20 دقيقة لإزالة المذيبات العضوية المتبقية.
- طباعة ميكروكونتاكت PGMA-ب-بفدما على ركائز السيليكون
- إيداع النقاط على سطح طوابع PDMS استخدام عملية الرسوم التعويضية (قسم 4.1.2).
ملاحظة: يتم استخدام طبقة النقاط التجارية للحيلولة دون اقتران البوليمر على السطح الطابع.
ملاحظة: يمكن استخدام قياسات زاوية الاتصال لتوصيف الطوابع بعد الامتزاز النقاط التجارية، كما هو مبين في الشكل 2 (داخلي أ، ب).
- حل البوليمر-بفدمابPGMA-إلى كلوروفورم اللامائى بتركيز 0.25-1% بالوزن.
- تغرق بالطوابع إلى 5 مل حل البوليمر لمدة 3 دقائق.
- تنظيف البلازما 2 × 2 سم ركائز السليكون العارية ل 3 دقيقة لسطح نظيف لاقتران مع كتل PGMA (قسم 3.2).
- إخراج هذه الطوابع البوليمر المغلفة من حل البوليمر.
ملاحظة: يجب استخدام الطوابع للطباعة بينما هم لا يزال الرطب ووجود طبقة من حل أكثر منهم.
- وضع ختم وقع مباشرة على الركازة السليكون.
- استخدام الوقوف صحفي مثقاب يدوي (انظر الجدول للمواد) (الشكل 3) للضغط على الطوابع المغلفة البوليمر على سطح السيليكون لتشجيع نقل نمط. فورا تطبيق الختم على الركازة (في حدود 1-2 s) بعد أخذ هذه الطوابع المغلفة من حل البوليمر.
ملاحظة: كلا السيليكون، ويمكن وضع ختم PDMS حول النسخ على الوجهين الشريط لتقليل تشوه الطابع PDMS بسبب الضغط غير موحد أو عالية ختم32.
- تطبيق الاتصال الامتثالي بين ختم وقع البوليمر والركيزة السيليكون للحد الأدنى 1 استخدام الضغط ما يقدر 75 غرام/سم2(7.35 كيلو باسكال) للصحافة.
- بلطف فصل الطوابع من سطح السليكون.
- يصلب ركائز السيليكون المطبوعة فورا في فرن فراغ عند 110 درجة مئوية ح 18.
- Sonicate ركائز السيليكون المطبوعة في الأسيتون أو كلوروفورم لمدة 10 دقيقة لإزالة أي تمتز جسديا PGMA-ب-بفدما والجاف ثم مع ن2.
- إجراء تحليل لتوصيف السطحية لختم PDMS (بعد خطوة الطباعة) والسليكون المطبوعة (بعد الخطوات الصلب وسونيكيشن) للتحقق من النجاح في نقل PGMA-ب-بفدما.
ملاحظة: السطحية بروفيلوميتير والانعكاس الكلي الموهنة تحويل فورييه تحليل مطيافية الأشعة تحت الحمراء (أية تي آر-فتير) يمكن أن تستخدم لتحليل الركازة السيليكون المطبوعة وختم PDMS، على التوالي.
- تخزين ركائز تحت فراغ في مجفف حتى الوصف.

الشكل 2 : قياسات فتير ATR للمعالجة PDMS الطوابع (الكثافة النسبية)- (اقحم A) اتصل القياسات الزاوية لختم PDMS العارية. (اقحم ب) قياس زاوية الاتصال للنقاط التجارية يعامل PDMS الطوابع. الرجاء انقر هنا لمشاهدة نسخة أكبر من هذا الرقم-

الشكل 3: الإعداد ل μCP PGMA-ب-بفدما الحلول على ركائز السليكون. ويشمل الإجراء استخدام الصحافة الحفر اليدوي (أ) ، (ب) طابع PDMS فونكتيوناليزيد TPS المغلفة مع البوليمر-بفدما PGMA-ب، (ج) بلازما تنظيفها 2 × 2 سم السليكون الركازة، والشريط على الوجهين (د) .