وينص بروتوكول بسيط تصنيع هياكل هيميويكينج متفاوتة الأحجام والأشكال والمواد. البروتوكول يستخدم مزيجاً من ختم المادية، PDMS صب، وغشاء رقيق التعديلات السطحية عن طريق مواد ترسب التقنيات الشائعة.
يتطلب اشتراك JoVE لعرض هذا المحتوى. تسجيل الدخول أو ابدأ نسخة تجريبية مجانية
في هذه المقالة
ملخص
الملخص
هيميويكينج هو عملية حيث ويتس سائل على سطح منقوشة يتجاوز طوله ترطيب طبيعية نتيجة لمزيج من الإجراءات الشعرية وإيمبيبيتيون. المهم هذه الظاهرة التبول في العديد من الميادين التقنية التي تتراوح بين علم وظائف الأعضاء للهندسة الفضائية. حاليا، توجد عدة تقنيات مختلفة لاختلاق الهياكل هيميويكينج. هذه الأساليب التقليدية، بيد غالباً ما تستغرق وقتاً طويلاً ويصعب الصعود لمناطق كبيرة أو من الصعب تخصيص للهندسات الزخرفة نونهوموجينيوس ومحددة. ويوفر البروتوكول قدم الباحثين مع بسيطة وقابلة للتطوير، وطريقة فعالة من حيث التكلفة لاختلاق الأسطح الصغيرة المنقوشة هيميويكينج. الأسلوب تلفيق فتل الهياكل من خلال استخدام طباعة الطوابع وبولي دايمثيل سيلوكسان (PDMS) صب وطلاء السطح غشاء رقيق. ويتجلى البروتوكول هيميويكينج مع الإيثانول على صفائف ميكروبيلار PDMS مغطاة بطبقة 70 نانومتر سميكة ألومنيوم غشاء رقيق.
المقدمة
وقد حدث مؤخرا زيادة الاهتمام بالقدرة على التحكم بنشاط وسلبية على حد سواء التبول، التبخر، وخلط السوائل. هيميويكينج فريد محكم أسطح توفر حلاً رواية للتبريد تقنيات لأن هذه الأسطح مزخرفة بمثابة مضخة السوائل (و/أو الحرارة) دون أجزاء متحركة. هذا حركة السوائل محكوم بسلسلة أحداث عمل الشعرية المرتبطة بدينامية انحناء غشاء رقيق السائل. وبصفة عامة، عندما ويتس سائل سطح صلب، منحنى سائل غشاء رقيق (أي سائل غضروف) سرعة أشكال. سمك السائل وانحناء الشخصية تتطور حتى يتم التوصل إلى حد أدنى من الطاقة مجاناً. للإشارة، هذه الشخصية ديناميكية التبول يمكن سرعة تسوس عشرات نانومتر في سمك داخل الامتداد (السوائل-ترطيب) طول-مقياس فقط عشرات ميكرومتر. وهكذا، يمكن الخضوع لهذه المنطقة الانتقالية (سائل-فيلم) تغييرات كبيرة في واجهة السائل انحناء. المنطقة الانتقالية (غشاء رقيق) التي ينشأ فيها ما يقرب من جميع الفيزياء الحيوية والكيمياء. على وجه الخصوص، المنطقة الانتقالية (غشاء رقيق) حيث توجد معدلات التبخر كحد أقصى (1)، (2) ديس الانضمام الضغط التدرجات والتدرجات الضغط الهيدروليكي (3)1،2. نتيجة لذلك منحنى السائل-الأفلام تلعب دوراً حيويا في النقل الحراري، وانفصال، والقلاقل السوائل وخلط السوائل المتعددة العناصر. على سبيل المثال، فيما يتعلق بنقل الحرارة، لوحظت تدفقات الحرارة الجدار أعلى في هذه المنطقة غشاء رقيق منحنى عاليا، والانتقالية4،3،5،،من67.
وقد أظهرت الدراسات هيميويكينج الحديثة أن الهندسة (مثلاً، الارتفاع، القطر، إلخ) ووضع دعائم تحديد الشخصية الجبهة التبول وسرعة السائل قيد التشغيل من خلال هياكل8. كما يتم التبخر الجبهة السائل قبالة نهاية هيكل آخر في صفيف، يتم الاحتفاظ الجبهة السوائل في مسافة ثابتة وانحناء، كما هو يجري استبدال السوائل المتبخرة من السوائل المخزنة في هياكل فتل9. هياكل هيميويكينج أيضا قد استخدمت في أنابيب الحرارة وعلى أسطح المغلي لتحليل وتحسين آليات نقل الحرارة المختلفة. 10 , 11 , 12.
هو أسلوب واحد المستخدمة حاليا لإنشاء هياكل فتل البصمة الحرارية الطباعة الحجرية13. يتم تنفيذ هذا الأسلوب بختم على التخطيط المطلوب إلى طبقة مقاومة في عينة قالب سليكون مع طابع بوليمر حرارية، ثم إزالة الطابع الاحتفاظ المجهرية. بمجرد إزالة، يتم وضع العينة عن طريق أيون رد الفعل النقش عملية لإزالة أي من ال14،طبقة مقاومة الزائدة15. هذه العملية، ومع ذلك، يمكن أن تكون حساسة لدرجة الحرارة لتصنيع هياكل فتل ويتضمن العديد من الخطوات التي تستخدم الطلاء المختلفة ضمان دقة هياكل فتل16. كما أنها الحالة التي لا تكون تقنيات الطباعة الحجرية عمليا بالنسبة للحجم الكلي الزخرفة؛ وفي حين أنها لا تزال توفر طريقة لإنشاء نمط من المجهرية على سطح، الإنتاجية من هذا الإجراء أقل بكثير من مثالي للاستنساخ على نطاق واسع. ونظرا للتركيب على نطاق واسع، واستنساخه، مثل الطلاء تدور أو تراجع، هناك غياب الأصيل للزخرفة يمكن السيطرة عليها. هذه الطرق إنشاء مجموعة عشوائية من المجهرية على سطح الهدف ولكن يمكن قياسه لتغطية مناطق أوسع إلى حد كبير من تقنيات الطباعة الحجرية التقليدية17.
البروتوكول المبينة في هذا التقرير يحاول الجمع بين نقاط قوة أساليب التركيب التقليدي بينما في الوقت نفسه القضاء على نقاط الضعف المحددة لكل منها؛ أنه يعرف طريقة اصطناع هياكل هيميويكينج مخصصة لمختلف مرتفعات والأشكال والتوجهات والمواد على نطاق ماكرو ومع الإنتاجية المرتفعة المحتملة. يمكن بسرعة إنشاء مختلف أنماط فتل غرض الاستغلال الأمثل فتل الخصائص، مثل التحكم الاتجاهي سرعة السوائل، ونشر، وخلط السوائل المختلفة. يمكن أيضا توفير استخدام مختلف الهياكل فتل متفاوتة غشاء رقيق السمك وانحناء الملامح، والتي يمكن أن تستخدم بصورة منهجية دراسة اقتران بين الحرارة والنقل الجماعي مع سمك مختلفة وملامح انحناء السائل غضروف.
الوصول مقيد. يرجى تسجيل الدخول أو بدء فترة تجريبية لعرض هذا المحتوى.
البروتوكول
1-إنشاء خريطة الزخرفة
- باستخدام محرر رسومات، إنشاء النمط المطلوب للهياكل هيميويكينج التي تمثل كصورة نقطية.
ملاحظة: بعض المعلمات التصميم فتل (أي زاوية التدرج، والتدرج في العمق) يمكن إجراء يعتمد على درجات الرمادي القيم المعينة لكل بكسل. ثم يتم تحرير هذه القيم الرمادي من أجل تعديل المعلمة المطلوبة. - حفظ الصورة النقطية كرسم شبكة للأجهزة محمولة (.png) ووضع الملف في مجلد متاحة بسهولة.
2-وضع البلاستيك لتكون مختومة لصب
- ابدأ بترجمة بت ختم بعيداً عن مساحة العمل لتجنب أي اتصال العرضية التي قد تسبب الكسر من تلميح (+z التشرد، الشكل 1).
- تأمين البلاستيك ختم العفن/يفر إلى لوحة النسخ لختم اللاحقة على x, y مرحلة الترجمة (انظر الشكل 1). تأمين لوحة عينة/النسخ إلى x، y الميكانيكية ختم المرحلة (الشكل 1)
- محاذاة للوسط من البلاستيك القالب/يفر مع المحور ختم بت ختم. وهذا إنجازه عن طريق الحاسوب ±العاشر و ±y تشرد مع مرحلة ختم x, y المزودة بمحركات.
- ترجمة بت ختم صوب بلاستيكية العفن/يفر (-z التشرد، الشكل 1) إلى حين بت ختم يكاد يكون على اتصال بسطح العفن/يفر.
3-ختم العينة البلاستيك لصب PDMS
- باستخدام برنامج مراقبة ختم المحوسبة، تعيين المسافة بين بت ختم (تلميح) وسطح البلاستيك العفن/يفر.
- ترجمة بت ختم تزايدات صغيرة (-δz التشرد، الشكل 1) نحو سطح العينة حتى الأدوات على اتصال بالبلاستيك.
ملاحظة: ينبغي البت فقط اتصل بخفة على السطح. - بعد الاتصال، ترجمة بت ختم بعيداً عن عينة لتجنب أي اتصال ممكن بين بت وعينه أثناء الترجمة اللاحقة (δz ≈ 100 ميكرومتر).
- تعيين المسافة بكسل (في ميكرون)، وعمق تجويف الحد الأقصى والحد الأدنى (في ميكرون)، زاوية الحد الأقصى والحد الأدنى (بالدرجات)، موضع بكسل x و y الأولية، نمط، والعتبة بكسل للزخرفة مرتبط أي تدرج رمادي لختم الإجراء.
- تحميل خريطة الزخرفة (تم إنشاؤه في الخطوة 1، 1) يمكن قراءتها من قبل البرنامج. مواقع جميع الطوابع استناداً إلى المسافة بكسل والخريطة الزخرفة، وترسل إلى السائر المحركات.
- ضمان تركز على غيض بت ختم ليزر تدفئة وينشط فقط حين بت ختم تتحرك نحو وإلى العفن البلاستيك.
- إنشاء التجاويف بالضغط قليلاً في البلاستيك مع اتباع الخريطة الزخرفة لتحقيق نمط هيميويكينج المرجوة.
- إزالة العفن البلاستيك مختومة للسطح اللاحقة طلاء وتلميع.
- البولندية على سطح من البلاستيك القالب استخدام حصى 9000، أدق الرطب/الجافة الصنفرة.
ملاحظة: بدلاً من ذلك، الكاشطة الصغير-مش يمكن استخدام لضمان إزالة الرواسب السطحية أن قضية الآثار حول الأعمدة في العفن PDMS.
4-إنشاء صب PDMS
- صب ز 2 من قاعدة الاستومر و 0.2 ز عامل علاج الاستومر في كوب وتخلط معا جيدا لمدة 3 دقيقة.
- ضع الخليط في دائرة للذين تم إجلاؤهم الإفراج عن أي فقاعات الهواء اشتعلت في الخليط؛ قد تحتاج هذه الخطوة إلى تكرارها عدة مرات.
ملاحظة: لعينات من مختلف متطلبات التخزين، قم بضبط مقدار عامل أساسي وعلاج حسب الحاجة مع الاحتفاظ بنسبة 10:1. - ضع العفن البلاستيك ختمها في حاوية مسورة، من الناحية المثالية لا أكبر بكثير من القطر الخارجي للقالب، عن علاج لتحدث.
- صب خليط PDMS خالية من جيوب هوائية على البلاستيك ختمها وداخل الحاوية. صب في دوامة، بدءاً من وسط المنطقة المختوم، في محاولة لتوزيع الخليط PDMS التساوي قدر الإمكان.
- كرر الخطوة 4، 2 أي جيوب الهواء التي قد شكلت من صب الخليط على نمط ختمها. وضع خليط PDMS وقطعة بلاستيكية مع نمط ختمها على صفيحة ساخنة والحرارة الجمعية العامة عند 100 درجة مئوية لمدة 15 دقيقة. ثم الحرارة 25 دقيقة إضافية عند 65 درجة مئوية.
- السماح الخليط PDMS باردة وعلاج لمدة 20 دقيقة قبل معالجة.
- قطع حواف البلاستيك PDMS بعيداً عن الجدار الحاوية وإزالة البلاستيك PDMS من العفن. تخزين البلاستيك PDMS في حاوية مغطاة لتجنب ذرات الغبار من جمع على السطح.
5-إيداع المعدن غشاء رقيق في PDMS
- ضع العينة PDMS داخل قاعة ترسب ترك مساحة كافية مصراع لفتحها وإغلاقها دون عائق.
- ديبريسوريزي إلى الدائرة ترسب متور 10 على الأقل.
- الانخراط في منظومة مضخة الجافة وتعيين معدل الدوران إلى كربم 75. تسمح الدائرة للوصول إلى ضغط يقارب 10-8 ميلليمتر زئبق.
ملاحظة: هذا سيؤدي إلى إزالة معظم الملوثات من الدائرة؛ قد تستغرق عملية يصل إلى 12 ساعة لإكمال. - السلطة على برودة والطاقة DC العرض وتعيين السلطة إلى 55 جورج
- فتح صمام الأرجون قليلاً والضغط على الدائرة بترتيب 10-3 ميلليمتر زئبق. تعيين كربم نظام 50 مضخة الجافة والانتظار حتى يتم تحقيق هذه السرعة المحددة.
- الحد 35 واط من الطاقة، وديبريسوريزي إلى الدائرة متورر 13. فتح مصراع لتشعل البلازما وبدء تشغيل جهاز ضبط الوقت.
ملاحظة: ينبغي إعطاء البلازما تشعل قبالة توهج زرقاء، المتوهجة. يجب تعيين جهاز ضبط الوقت للسمك المطلوب إيداع الفيلم. وقد تبين أنه من المتوقع بمعدل 7 نانومتر ترسب في الدقيقة 35 ث وضغط متور حوالي الساعة 13،. - سمك الفيلم المطلوب في حال تحققه، إغلاق مصراع الكاميرا وإيقاف إمدادات الطاقة.
- قم بإغلاق جميع الصمامات داخل قاعة ترسب وإيقاف تشغيل نظام ضخ الجافة. إتاحة الوقت للمروحة مضخة الجاف للتوصل إلى وقف كامل.
- ببطء الضغط الدائرة حتى يصل الضغط الجوي المحلي وإزالة العينة، تخزينه للتجارب المقبلة.
الوصول مقيد. يرجى تسجيل الدخول أو بدء فترة تجريبية لعرض هذا المحتوى.
النتائج
ويقدم الشكل 1 تخطيطي لكيفية أن إنشاء إليه ختم العفن لهياكل فتل على العفن بلاستيك. للتحقيق في نوعية جهاز ختم في صناعة الأفلام فتل، تم إنشاؤها صفيفين دعامة مختلفة لتحليل نوعية الأعمدة لتجارب فتل مستقبلا. جوانب جهاز التحقيق بالدقة لارتفاع الأعمدة (مع وبدون تدرج عمق)، ونوعية الدعائم التي تقوم عليها بعد صب PDMS، نوعية الدعائم التي تقوم عليها بعد عملية الترسيب بالرش والقدرة هياكل لإنشاء فتل هيمي. لتحقيق هذا الهدف، هما فتل متغيرات نمط تم إنشاؤها، واحد التي عرضها متد...
الوصول مقيد. يرجى تسجيل الدخول أو بدء فترة تجريبية لعرض هذا المحتوى.
المناقشة
وقد أدخلت أسلوب لإنشاء صفائف الدعامة منقوشة للهياكل هيميويكينج؛ يتم ذلك عن طريق ولﻷخذ تجاويف على رقاقة بلاستيكية مع جهاز حفر الذي يلي الزخرفة من صورة نقطية تم إنشاؤها بواسطة المستخدم. ثم يسكب خليط PDMS، شُفي ومغطاة بطبقة رقيقة من الألمنيوم عن طريق الترسيب. يمكن تخصيص خصائص صفيف الأعمدة استناداً إلى قيمة مقياس الرمادية التي تم تعيينها في الصورة النقطية في أعقاب هذا البروتوكول. يمكن إنشاء هذا الجانب الهام من الزخرفة طائفة واسعة من الممكن فتل هياكل لاختبار يمكن استخدامها في مختلف التطبيقات، بما في ذلك البحوث غشاء ر...
الوصول مقيد. يرجى تسجيل الدخول أو بدء فترة تجريبية لعرض هذا المحتوى.
الإفصاحات
الكتاب قد لا الكشف الإشارة لهذه الورقة.
شكر وتقدير
هذه المواد هو استناداً إلى الأبحاث جزئيا تحت رعاية "مكتب الولايات المتحدة للبحوث البحرية" تحت "رقم المنحة" N00014-15-1-2481 ومؤسسة العلوم الوطنية تحت رقم المنحة 1653396. الآراء والاستنتاجات الواردة في هذا التقرير هي آراء المؤلفين ولا ينبغي أن يفسر بالضرورة تمثل السياسات الرسمية أو موافقات، سواء كانت صريحة أو ضمنية، من "مكتب الولايات المتحدة للبحوث البحرية"، المؤسسة الوطنية للعلوم، أو أن حكومة الولايات المتحدة.
الوصول مقيد. يرجى تسجيل الدخول أو بدء فترة تجريبية لعرض هذا المحتوى.
المواد
| الاسم | الشركة | رقم فهرسي | التعليقات |
|---|---|---|---|
| NI-DAQ 9403 | الأدوات الوطنية | 370466AE-01 | واجهة الاتصال بين الكاميرا ومفتاح التحكم لليزر. |
| مفتاح التحكم | Crouzet | GN84134750 | وحدة تحكم لاستخدامها في الليزر الذي ينشط الليزر بناء على الجهد المرسل بواسطة DAQ. |
| كاميرا البراغيث | FLIR FL3-U3-120S3C-C | كاميرا البراغيث تستخدم لتصوير مثقاب الثقب على القالب البلاستيكي. | |
| كاميرا تصوير البراغيث | نقطة رمادي | FL3-U3-20E4M-C | كاميرا براغيث تستخدم للحصول على الصور الجانبية للأعمدة. |
| 200 خطوة / دورة ، محرك متدرج 12 فولت -350 مللي أمبير (x2) | AdaFruit | 324 | تستخدم محركات السائر للتحكم في عمق وزاوية المطحنة الطرفية. |
| 10x Infinity تصحيح مسافة العمل الطويلة الهدف | Mitutoyo ؛ | # 46-144 | الهدف المستخدم للحصول على صورة جانب الأعمدة. |
| 15x مترافق لانهائي ، المغلفة بالأشعة فوق البنفسجية ، ReflX Objective | TechSpec | # 58-417 | الهدف المستخدم للحصول على صورة الجزء العلوي من الأعمدة. |
| 72002 0.002D X 0.006 LOC كربيد SQ 2FL مطحنة نهاية مصغرة | Harvey Tools | 72002 | مثقاب تم استخدامه لإنشاء ثقوب في القالب البلاستيكي. |
| توصيل طاقة التيار المستمر بقدرة 1 كيلو واط | للطاقة المتقدمة | MDX-1K | تستخدم لتشغيل جهاز الترسيب. |
| توربو V 70LP Nacro Torr | مضخة توربو Varian | 9699336 | Turbo تستخدم لتقليل الضغط داخل غرفة الترسيب. |
| 2000 ميجا واط ، 405 نانومتر عالي الطاقة بتركيز الضوء الأزرق ليزر | WDLasers | KREE | عينة تسخين ليزر |
| 5.875 "معرف Dessicator مع 0.25" وصلات الأنبوب | McMaster-Carr | 2204K5 | PDMS Dessicator |
| SYLGARD 184 سيليكون مطاط ، 0.5 كجم كيت | داو كورنينج | 4019862 | مجموعة PDMS المستخدمة في صنع القاعدة. |
| ضاغط هواء الحجاب الحاجز / مضخة فراغ | Gast | DOL-701-AA | فراغ Dessicator |
| مراحل خطية آلية (2x) | Standa | 8MT175 | محركات السائر المستخدمة للتحكم في لوحة العينة في الاتجاه x و y. |
| 2 "قطر غير مثبتة المزدوجة اللونية المثبتة ، AR المغلفة: 400-700 نانومتر | ThorLabs | AC508-150-A | تم استخدام achromat من أجل الحصول على صور من جانب الأعمدة. |
| برغوث 3 أحادي الكاميرا ، 2448 × 2048 بكسل | نقطة رمادي | FL3-GE-50S5M-C | كاميرا براغيث تستخدم لتقليد الجزء العلوي من الأعمدة. |
| محول الفراغ الرقمي | Thyrcont Vacuum Instruments | 4940-CF-212734 | تستخدم لمراقبة الضغط داخل غرفة الترسيب. |
| غاز الأرجون المضغوط Resovoir | Airgas | AR RP300 | المستخدم في عملية الترسيب. |
| مرحلة الترجمة 1-D شركة | نيوبورت | TSX-1D | مرحلة ترجمة تستخدم لتحريك الكاميرا للتركيز على الطاحونة النهائية. |
| حامل ليزر أسطواني (x2) | Newport Corporation | ULM-TILT-M | تم استخدام حامل الليزر لتحريك الكاميرا للتركيز على المطحنة النهائية. |
| مبرد منضدة مع مضخة طرد مركزي ، 120 فولت ، 60 هرتز | Polyscience | LS51MX1A110C | مبرد يستخدم لتجميع الترسيب. |
| Alcatel Adixen 2010SD XP ، محرك مقاوم للانفجار ، مضخة فراغ دوارة دوارة ، منتجات | فراغ مثالية | مرحلة 210SDMLAM-XP | مضخة فراغ تستخدم لتجميع الترسيب. |
| مروحة ، 105 قدم مكعب في الدقيقة ، 115 فولت (x2) | Comair Rotron | MU2A1 | مروحة تستخدم لتبريد جوانب معينة من مجموعة الترسيب. |
المراجع
- Plawsky, J. L., et al. Nano- and Micro-structures for Thin Film Evaporation - A Review. Nanoscale and Microscale Thermophysical Engineering. 18, 251-269 (2014).
- Derjaguin, B. V., Churaev, N. V. On the question of determining the concept of disjoining pressure and its role in the equilibrium and flow of thin films. Journal of Colloid and Interface Science. 66, 389(1978).
- Ma, H. B., Cheng, P., Borgmeyer, B., Wang, Y. X. Fluid flow and heat transfer in the evaporating thin film region. Microfluidics and Nanofluidics. 4 (3), 237-243 (2008).
- Hohmann, C., Stephan, P. Microscale temperature measurement at an evaporating liquid meniscus. Experimental Thermal and Fluid Science. 26 (2-4), 157-162 (2002).
- Potask, M. Jr, Wayner, P. C. Jr Evaporation from a two-dimensional extended meniscus. International Journal of Heat Mass Transfer. 15 (10), 1851-1863 (1972).
- Panchamgam, S. S., Plawsky, J. L., Wayner, P. C. Microscale heat transfer in an evaporating moving extended meniscus. Experimental Thermal and Fluid Science. 30 (8), 745-754 (2006).
- Arends, A. A., Germain, T. M., Owens, J. F., Putnam, S. A. Simultaneous Reflectometry and Interferometry for Measuring Thin-film Thickness and Curvature. Review of Scientific Instruments. 89 (5), (2018).
- Zhu, Y., Antao, D. S., Lu, Z., Somasundaram, S., Zhang, T., Wang, E. N. Prediction and characterization of dry out heat flux in micropillar wick structures. Langmuir. 32 (7), 1920-1927 (2016).
- Kim, J., Moon, M. W., Kim, H. Y. Dynamics of hemiwicking. Journal of Fluid Mechanics. 800, 57-71 (2016).
- Ding, C., Soni, G., Bozorgi, P., Meinhart, C. D., MacDonald, N. C. Wicking Study of Nanostructured Titania Surfaces for Flat Heat Pipes. Nanotech Conference & Expo. , Houston, TX. (2009).
- Chen, R., Lu, M. C., Srinivasan, V., Wang, Z., Cho, H. H., Majumdar, A. Nanowires for Enhanced Boiling Heat Transfer. Nano Letters. 9 (2), 548-553 (2009).
- Kim, B. S., Choi, G., Shim, D. II, Kim, K. M., Cho, H. H. Surface roughening for hemi-wicking and its impact on convective boiling heat transfer. International Journal of Heat and Mass Transfer. 102, 1100-1107 (2016).
- Mikkelsen, M. B., et al. Controlled deposition of sol-gel sensor material using hemiwicking. Journal of Micromechanics and Microengineering. 21 (11), (2011).
- Haatainen, T., Ahopelto, J. Pattern Transfer using Step&Stamp Imprint Lithography. Physica Scripta. 67 (4), 357-360 (2003).
- Chou, S. Y., Krauss, P. R., Renstrom, P. J. Nanoimprint lithography. Journal of vacuum Science & Technology B: Microelectronics and Nanometer Structures Processing, Measurement, and Phenomena. 14 (6), 4129(1996).
- Pozzato, A., et al. Superhydrophobic surfaces fabricated by nanoprint lithography. Microelectronic Engineering. 83 (4-9), 884-888 (2006).
- Nair, R. P., Zou, M. Surface-nano-texturing by aluminum-induced crystallization of amorphous silicon. Surface and Coatings Technology. 203 (5-7), 675-679 (2008).
- Ashby, P. D., Lieber, C. M. Ultra-sensitive Imaging and Interfacial Analysis of Patterned Hydrophilic SAM Surfaces Using Energy Dissipation Chemical Force Microscopy. Journal of the American Chemical Society. 127 (18), 6814-6818 (2005).
الوصول مقيد. يرجى تسجيل الدخول أو بدء فترة تجريبية لعرض هذا المحتوى.
إعادة الطباعة والأذونات
