افتعال الكروم / أقطاب الاتحاد الافريقي على ركائز الزجاج
جزء 1A : أسلوب إحفر ويت
* للاطلاع على الأجهزة عالية الجودة ، ينبغي أن تتم عملية التصنيع في بيئة نظيفة الغرفة أو تحت أغطية تدفق الصفحي بحيث الغبار والملوثات الأخرى لن يؤثر على هذا النمط.
- يتم وضع 2 بوصة من قبل الشرائح الزجاجية 4 بوصة في ساخنة (80 درجة مئوية) سمكة البيرانا الحل (05:07 H 2 O 2 : H 2 SO 4) لمدة 30 دقيقة لإزالة الملوثات (عضوية خاصة) ، ثم تشطف في دي المياه والمجففة مع الهواء المضغوط.
- وتودع 20 نانومتر و 200 ريال برازيلي نانومتر الاتحاد الافريقي على ركائز مع المبخر شعاع الالكترون.
- وتودع شيبلي 1827 مقاوم الضوء الإيجابي على الشرائح الزجاجية مع spincoater (3000 دورة في الدقيقة و 1000 دورة في الدقيقة / ق المنحدر ، و 30 مرة تدور الثانية).
- ثم يتم ركائز الناعمة خبز لمدة 2 دقيقة على 100 درجة مئوية.
- ينقل نمط القناع إلى مقاومة للضوء مع التعرض للأشعة فوق البنفسجية الاتصال للحصول على 8.4 ثانية ليصبح المجموع 206 ميغا جول / سم 2.
- يتم تطوير مقاومة للضوء في Microposit MF 351 : الماء (1:3) لمدة 30 ثانية مع الانفعالات الجيدة تليها مياه DI الشطف.
- بعد التفتيش مع المجهر لضمان تطور جيد ، وحفرت ثم ركائز في الاتحاد الافريقي وضوئي ضوئي كروم لمدة 15 ثانية و 30 ثانية على التوالي في DI يغسل بين وبعدها.
جزء 1B : البروتوكول البديل -- ارفع حالا الأسلوب
- يتم وضع 2 بوصة من قبل الشرائح الزجاجية 4 بوصة في ساخنة (80 درجة مئوية) سمكة البيرانا الحل (05:07 H2O 2 : H 2 SO 4) لمدة 30 دقيقة لإزالة الملوثات (عضوية خاصة) ، ثم تشطف بالماء وDI المجفف مع الهواء المضغوط.
- وكان spincoated Futurrex NR - 7 1500 PY مقاومة للضوء سلبية على الركيزة (2000 دورة في الدقيقة و 1000 دورة في الدقيقة / ق المنحدر ، و 40 مرة تدور الثانية).
- وكانت لينة ركائز خبز لمدة 1 دقيقة على 150 درجة مئوية.
- الاتصال التعرض للأشعة فوق البنفسجية لمدة 21 ثانية (400 ميغا جول / سم 2).
- ثم وضعت ركائز على طبق ساخن وضعت في 100 درجة مئوية لمدة 1 دقيقة لاستكمال الخطوة postbake.
- تم تنفيذ التنمية لمدة 6 ثوان في مطور RD6 Futurrex.
- ثم تترسب 30 نانومتر و 200 ريال برازيلي نانومتر الاتحاد الافريقي على ركائز مع المبخر شعاع الالكترون.
- يتم تنفيذ الاقلاع عن طريق وضع ركائز في حمام بالموجات فوق الصوتية an الأسيتون حتى أزيل ظاهر الذهب وأكد مع ملاحظة المجهر.
إعداد التجريبية
الجزء 2 : حقن Microsphere والمراقبة
- وترد PDMS قنوات (تلفيق صفت في مكان آخر) إلى الركيزة الزجاج مع الالتصاق المباشر بحيث يمر فوق قناة الأقطاب ملفقة.
- حوالي 10 7 مل وعلقت في الماء المجهرية البوليسترين DI إما (0.0002 S / م) أو حلا بوكل (0.05 S / م). ثم يتم حقن أنهم من خلال وضع أنبوب مدخل في الحل وتطبيق microsphere شفط للمخرج مع حقنة.
- ثم يتم وضع الجهاز تحميلها على المسرح المجهر وتوصيلها الى مولد الإشارات.
- يتم تطبيق دورة وقت ضبط التردد (1 كيلو هرتز إلى 1 ميغاهيرتز) ، وضبط الجهد (V 1 أو 2) في حين قدمت ملاحظات المجهر.
ملاحظة : من المهم عدم رفع الفولطية عالية جدا أو السماح للحصول على وتيرة منخفضة جدا أو التحليل الكهربائي للماء سيحدث. بالضبط الجهد أو التردد الإعدادات لهذا أن يحدث تعتمد على تصميم الكهربائي. المبادئ التوجيهية لدينا هي مختبر لتجنب ترددات أقل من 500 هرتز أو الفولتية أعلى من 8 V.