تصنيع تجاويف نانوية موحدة عبر الترابط رقاقة السيليكون المباشر

9.4K مشاهدة

استشهد بها 2

10:32 دقيقة

يناير 9, 2014

10.3791/51179-v

يناير 9, 2014

9.4K مشاهدة

ويرد وصف طريقة للترابط بشكل دائم اثنين من رقائق السيليكون وذلك لتحقيق الضميمة موحدة. وهذا يشمل إعداد رقاقة، والتنظيف، والترابط RT، وعمليات التلوين. الرقاقات المستعبدين الناتجة (الخلايا) لديها توحيد الضميمة ~ 1٪1،2. تسمح الهندسة الناتجة عن ذلك بقياسات السوائل والغازات المحصورة.

استكشف المزيد من الفيديوهات

RCA

Chapters in this video

0:05

Title

1:54

Bonding Preparation

4:38

Wafer Bonding

8:04

Results: Analysis of Bonded Wafers

9:59

Conclusion

Related Videos