أومية الاتصال التصنيع باستخدام تقنية تركز أيون شعاع وتوصيف الكهربائية للطبقة أشباه الموصلات النانوية

11.6K مشاهدة

استشهد بها 10

08:12 دقيقة

ديسمبر 5, 2015

10.3791/53200-v

ديسمبر 5, 2015

11.6K مشاهدة

Ruei-San Chen¹ , Chih-Che Tang² , Wei-Chu Shen² , Ying-Sheng Huang²

¹Graduate Institute of Applied Science and Technology, National Taiwan University of Science and Technology, ²Department of Electronic Engineering, National Taiwan University of Science and Technology

نصف مناهج تصنيع الجهاز والتوصيف الكهربائي للهياكل النانوية لأشباه الموصلات لطبقة الموليبدينوم ديسيلينيد (MoSe₂) بسماكات مختلفة. بالإضافة إلى ذلك ، يتم وصف تصنيع جهات الاتصال الأومية للبلورات النانوية المكونة_{من 2} طبقة من MoSe بطريقة ترسيب شعاع الأيونات المركزة باستخدام البلاتين (Pt) كمعدن تلامس.