يتم تقديم طريقة لنمو الأنابيب النانوية الكربونية المحاذاة رأسيا ذات درجة الحرارة المنخفضة ، والتصنيع اللاحق لهياكل الاختبار الكهربائية الرأسية باستخدام تصنيع أشباه الموصلات.
استكشف المزيد من الفيديوهات
Chapters in this video
0:05
Title
0:46
Bottom Metal and Interlayer Dielectric Deposition
3:23
Catalyst Deposition and CNT Growth
5:07
Topside Metallization
7:17
Results: Characterization of Vertically-aligned Carbon Nanotubes
