ضوء المحسن حمض الهيدروفلوريك التخميل: تقنية حساسة للكشف عن العيوب السيليكون السائبة

ووصف RT سطح السائل تقنية التخميل للتحقيق في نشاط إعادة التركيب من العيوب السيليكون السائبة. لهذه التقنية لتكون ناجحة، هناك حاجة إلى ثلاث خطوات حاسمة: (ط) التنظيف الكيميائية والنقش من السيليكون، (ب) الغمر من السيليكون في حمض الهيدروفلوريك 15٪ و (ج) الإضاءة لمدة 1 دقيقة.