المدمجة عدسة أقل الرقمي المجسم مجهر لفحص ممس وتوصيف

9.7K مشاهدة

استشهد بها 5

10:28 دقيقة

يوليو 5, 2016

10.3791/53630-v

يوليو 5, 2016

9.7K مشاهدة

Thomas Bourgade¹ , Sun Jianfei¹ , Zhaomin Wang¹ , Rosmin Elsa² , Anand Asundi¹^,²

¹School of Mechanical and Aerospace Engineering, Center of Laser and Optical Engineering, Nanyang Technological University, ²d'Optron Pte Ltd

نقدم انعكاس المدمجة نظام المجسم الرقمي (CDHM) للتفتيش وتوصيف الأجهزة MEMS. وأظهر تصميم عدسة أقل باستخدام موجة مدخلات متباينة توفير التكبير الهندسي الطبيعي. كلاهما قدم دراسات والدينامية.