باستخدام السنكروترون الإشعاع مجهري المعنية بالتحقيق في نطاق متعدد الحزم الإلكترونية الدقيقة ثلاثي الأبعاد

9.9K مشاهدة

استشهد بها 5

08:46 دقيقة

أبريل 13, 2016

10.3791/53683-v

أبريل 13, 2016

9.9K مشاهدة

Holly D. Carlton¹ , John W. Elmer¹ , Yan Li² , Mario Pacheco² , Deepak Goyal² , Dilworth Y. Parkinson³ , Alastair A. MacDowell³

¹Materials Engineering Division, Lawrence Livermore National Laboratory, ²Assembly Test and Technology Development Failure Analysis Labs, Intel Corporation, ³Advanced Light Source, Lawrence Berkeley National Laboratory

لهذه الدراسة أشعة السنكروترون الصغيرة التصوير المقطعي، وهي تقنية تصوير غير مدمرة ثلاثية الأبعاد، ويعمل على تحقيق حزمة إلكترونية دقيقة كاملة مع مساحة المقطع العرضي من 16 × 16 مم. بسبب تدفق عالية والسنكروترون وسطوع تم تصوير العينة في غضون 3 دقائق مع القرار المكانية 8.7 ميكرون.