استخدام الهدى النانوية لإزالة آثار طلقة الضوضاء في ثقوب الاتصال اختلقتها E-شعاع الطباعة الحجرية

6.8K مشاهدات

تم الاستشهاد 1 مرة

07:47 د

فبراير 12, 2017

10.3791/54551-v

فبراير 12, 2017

6.8K مشاهدات

موحد النانوية الحجم يمكن إزالة التقلبات في أبعاد الاتصال حفرة نمط في بولي (ميتاكريليت الميثيل) أفلام (PMMA) مقاومة للضوء عن طريق شعاع الالكترون (شعاع E) الطباعة الحجرية. وتنطوي العملية على مجازاته كهرباء لمركز ودائع النانوية في ثقوب الاتصال، تليها إنحسر مقاومة للضوء والخطوات البلازما والرطب الحفر.

استكشف المزيد من الفيديوهات

Chapters in this video

0:05

Title

2:14

Gold Nanoparticle (GNP) Deposition into E-beam-patterned Holes

1:20

Derivatization and Characterization of Silicon Wafer Surfaces

3:46

Pol(methyl methacrylate) (PMMA) Photoresist Reflow and Dry- and Wet-etching

4:50

Results: Reduction of Shot-noise by Deposition and Subsequent Etching of Sacrificial GNPs

6:29

Conclusion

Related Videos