إثبات مفهوم الأغشية المنضوية للغاز المشتقة من SiO2/ Si/SiO2 رقاقات لتحلية المياه الخضراء

7.5K مشاهدة

استشهد بها 9

09:39 دقيقة

مارس 1, 2020

10.3791/60583-v

مارس 1, 2020

7.5K مشاهدة

يقدم هنا بروتوكول خطوة بخطوة لتحقيق الأغشية المربوطة بالغاز (GEMs) من رقاقات SiO2/ Si باستخدام تقنية التصنيع الدقيق للدوائر المتكاملة. عندما يتم غمر السيليكا-GEMs في الماء، يتم منع تسرب المياه، على الرغم من تكوين المياه المحبة للسيليكا.

استكشف المزيد من الفيديوهات

تقطير الغشاء بالتلامس المباشر

Chapters in this video

0:05

Introduction

1:04

Wafer Cleaning, Hexamethyldisilane (HMDS) Deposition, and Lithography

3:28

Sputter, Photoresist Lift-off and Processing, Manual back Alignment, and Lithography on the Backside of the Wafer

4:46

Etching and Final Cleaning

7:41

Results: Immersing Silica-GEMs in Water

9:02

Conclusion

Related Videos