تأثير معلمات الأنوديس على طبقة أكسيد الألومنيوم العازلة من الترانزستورات رقيقة الفيلم

8.2K مشاهدة

12:32 دقيقة

مايو 24, 2020

10.3791/60798-v

مايو 24, 2020

8.2K مشاهدة

Tiago C. Gomes^*¹ , Dinesh Kumar^*² , Neri Alves^*¹ , Jeff Kettle^*² , Lucas Fugikawa-Santos^*³

¹School of Technology and Sciences, São Paulo State University - UNESP, ²Scholl of Electronic Engineering, Bangor University, ³Institute of Geosciences and Exact Sciences, São Paulo State University - UNESP

^* These authors contributed equally

تتنوع معلمات الأنويد لنمو الطبقة العازلة ثنائية أكسيد الألومنيوم من الترانزستورات الرقيقة (TFTs) من أكسيد الزنك لتحديد الآثار على استجابات المعلمة الكهربائية. يتم تطبيق تحليل التباين (ANOVA) على تصميم Plackett-Burman للتجارب (DOE) لتحديد ظروف التصنيع التي تؤدي إلى تحسين أداء الجهاز.