تصنيع رقاقة ذات نقوش دقيقة بسماكة يتم التحكم فيها للفحص المجهري الإلكتروني المبرد عالي الإنتاجية

2.1K مشاهدات

07:20 د

أبريل 21, 2022

10.3791/63739-v

أبريل 21, 2022

2.1K مشاهدات

يتم تصنيع رقاقة صغيرة منقوشة تم تطويرها حديثا مع نوافذ أكسيد الجرافين من خلال تطبيق تقنيات النظام الكهروميكانيكي الدقيق ، مما يتيح التصوير المجهري الإلكتروني المبرد الفعال وعالي الإنتاجية لمختلف الجزيئات الحيوية والمواد النانوية.

استكشف المزيد من الفيديوهات

Chapters in this video

0:04

Introduction

0:55

Pattern the Photoresist and Silicon Nitride‐Deposited Si Wafer (SixNy)

2:31

Etching the Si and Eliminating the KOH Etching Residues

3:21

Prepare the Micro‐Patterned SixNy and Eliminate the PR

4:25

Transfer Graphene Oxide (GO) by the Drop‐Casting Method

5:30

Results: Analysis of the Micro‐Patterned Chip with GO Windows

6:35

Conclusion

Related Videos