Focused Ion Beams in Microfabrication

Focused ion beams are used in microfabrication and nano-fabrication. A focused ion beam, or FIB, is an instrument that can fabricate, trim, analyze, and characterize materials on micro- and nano-scales. These tools are used in many fields, from nano-electronics to medicine.

FIB systems work with ...

聚焦离子束是一种可用于在微米和纳米尺度上进行材料制备、修整、分析和表征的仪器。聚焦离子束被广泛应用于从电子学到医学的众多领域。

聚焦离子束系统在真空中加速液态金属离子以形成离子束。通过一系列电磁透镜，可将该离子束聚焦到直径约10纳米的区域上。当聚焦离子束中的离子撞击目标时，部分目标材料会被溅射出来。

在低初级电子束电流下，溅射作用极微弱，电子束可用于成像。在较高电流下，样品表面原子会被溅射出。这使得能够进行特定位置的溅射或大范围的样品铣削。

聚焦离子束系统在真空条件下产生一束液态金属离子，用于对样品进行材料刻蚀或成像。在聚焦离子束系统内部，液态金属离子（通常为镓）从灯丝中被提取出来。这些离子在电压作用下被加速，随后通过一系列电磁透镜将离子束聚焦到目标...