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电子显微镜概述
33.11
光学显微镜利用可见光照射物体,其透镜可将图像放大至多2000倍。 电子显微镜则使用波长极短的电子束代替光线,可将物体放大200万至5000万倍。
电子发射灯丝产生电子束,静电和电磁透镜将电子束聚焦到样品上。电子显微镜内部环境保持真空状态,因为空气分子可能偏转电子束。
根据电子束与样品相互作用方式的不同,电子显微镜可分为两种类型——透射电子显微镜(TEM)和扫描电子显微镜(SEM)。
在透射电子显微镜(TEM)中,电子穿过薄样品后被用于生成二维图像。当电子束穿过样品时,可利用TEM获取样品内部成分和结构的信息。
在扫描电子显微镜(SEM)中,电子束扫描样品表面,然后利用反射的电子生成有关表面三维形貌和成分的信息。
可见光的波长最终限制了光学显微镜创建的图像的最大理论分辨率。大多数光学显微镜只能放大1000倍,少数可以放大到1500倍。电子与电磁辐射一样,可以像波一样运动,但电子的波长只有0.005 nm,因此与可见光的500 nm 相比,它们产生的分辨率明显更高,高达 0.05 nm。电子显微镜 (EM) 可…