扫描电子显微镜

扫描电子显微镜（SEM）利用电子束扫描样品，以提供有关样品表面形貌和成分的信息。

扫描电子显微镜（SEM）利用电子枪产生带负电的电子束，该电子束被带正电的阳极向下吸引。电磁透镜随后会聚焦电子束并减小其直径。

接下来，扫描线圈沿 x 轴和 y 轴偏转该聚焦的电子束，使其能够扫描样品表面的矩形区域。

高能初级电子束激发样品原子中的电子，导致低能二次电子的释放。这些二次电子被探测器接收，并用于生成样品表面的三维图像。 

电子束与样品的相互作用还会产生特征X射线，这些X射线可提供有关样品中存在元素（如铁和镍）的信息。