33.12
扫描电子显微镜(SEM)利用电子束扫描样品,以提供有关样品表面形貌和成分的信息。
扫描电子显微镜(SEM)利用电子枪产生带负电的电子束,该电子束被带正电的阳极向下吸引。电磁透镜随后会聚焦电子束并减小其直径。
接下来,扫描线圈沿 x 轴和 y 轴偏转该聚焦的电子束,使其能够扫描样品表面的矩形区域。
高能初级电子束激发样品原子中的电子,导致低能二次电子的释放。这些二次电子被探测器接收,并用于生成样品表面的三维图像。
电子束与样品的相互作用还会产生特征X射线,这些X射线可提供有关样品中存在元素(如铁和镍)的信息。