シリコン直接ウェハー接合による均一ナノスケールキャビティの作製

均一な筐体を実現するために2つのシリコンウェーハを永久に接着する方法が記載されている。これには、ウエハー製剤、洗浄、RTボンディング、およびアニーリングプロセスが含まれます。得られた結合されたウェーハ(細胞)は、エンクロージャ^〜1%1,2の均一性を有する。結果として得られる幾何学は限られた液体およびガスの測定を可能にする。