JoVE Journal
Engineering
Engineering
需要订阅 JoVE 才能查看此 内容. 登录或开始免费试用。
章节
总结概括
Please note that all translations are automatically generated.
Описан метод постоянного склеивания двух кремниевых пластин, чтобы реализовать единый корпус. Это включает в себя подготовку пластины, очистка, RT связи, и annealing процессов. Полученные кабальные (клетки) имеют однородность корпуса 1%1,2. Полученная геометрия позволяет измерять ограниченные жидкости и газы.