Question 1

为什么SEM能够提供比光学显微镜更好的分辨率？

Accepted Answer

SEM 使用电子而不是光，避免了限制光学显微镜横向分辨率为 200 nm 和放大倍数为 1,000 倍的衍射限制。电子使 SEM 能够实现亚纳米分辨率和超过一百万倍的放大倍数，使其成为分析催化剂颗粒等纳米尺度结构的理想工具。

Question 2

在SEM中，用金属包覆非导电样品的目的是什么？

Accepted Answer

SEM 需要样品对于常规成像具有导电性。非导电样品会被涂覆一层薄金属层，通常是金，以实现电子导电。这种导电涂层允许电子束与样品表面正确地相互作用，并产生可检测的二次和背散射电子。

Question 3

在SEM成像中，二次电子和背散射电子有何不同？

Accepted Answer

二次电子从样品表面发射并根据表面角度的不同而在强度上有所变化，从而形成了3D外观，表现为垂直表面较暗且边缘较亮。回散电子与入射电子束方向相反，且其强度随原子序数的增加而增强，这使得样品表面的组成分析成为可能。

Question 4

什么是SEM中的散光以及如何纠正？

Accepted Answer

散光是一种不对称的光束畸变，即使样品已经精确聚焦，也会导致图像模糊。要纠正它，请将放大倍数增加到最大，使用精细聚焦进行调焦，然后调整 x 和 y 方向的像差校正控制，重塑电子束，直到图像达到最佳聚焦。

Question 5

SEM 的景深与光学显微镜如何比较？

Accepted Answer

SEM 提供的景深比光学显微镜高达 300 倍，因为它不仅限于成像焦点平面内的特征。SEM 能够分辨出焦点平面之外的物体，而不是显得模糊，从而实现复杂样品结构的清晰三维可视化。

Question 6

在成像不同材料密度时，应调整哪些操作参数？

Accepted Answer

根据材料密度选择加速电压：高密度材料最高可达 30 kV 的高电压，低密度材料从 1 kV 开始的低电压。电子束能量决定了穿透深度，因此电压选择直接影响图像质量和从样品获得的成分信息。

Question 7

SEM 如何用于分析表征的样品制备？

Accepted Answer

SEM 能够对准备好的样品进行详细成像 用于分析 分析，允许在进一步特性表征之前，对表面形态、孔隙度和三维结构进行可视化。这种成像能力有助于验证样品质量并识别后续分析测量或组成研究的感兴趣区域。

扫描电子显微镜（SEM） - 评估测验