JoVE Journal
Engineering
Engineering
需要订阅 JoVE 才能查看此 内容. 登录或开始免费试用。
章节
总结概括
Please note that all translations are automatically generated.
We demonstreren fabricage van nanohoogtekanalen met de integratie van oppervlakte akoestische golfactuatie-apparaten op lithium niobate voor akoestische nanofluidica via liftoff fotolithografie, nano-diepte reactieve ionets en kamertemperatuurplasma oppervlakte-geactiveerde meerlaagse binding van enkelkristallithium niobaat, een proces dat ook nuttig is voor het plakken van lithiumniobate aan oxiden.